专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]氮化膜的制造方法-CN98124326.6无效
  • 高松勇吉;米山岳夫;石滨义康 - 日本派欧尼股份株式会社
  • 1998-09-29 - 2000-04-05 - C01B21/00
  • 公开一种用化学汽相淀积法制造氮化膜的方法,其中所用氮源材料气毒性较小,有足够高的汽化压力,能在较低温度分解,因而能制成高质量薄膜,生长温度降低,提高了生长速度。用包含以叔-丁基联氨为氮源主要成分的材料气与有机金属化合物,金属卤化物或金属氢化物的材料气反应在衬底上制成氮化膜。而且可用包含叔-丁基联氨作为氮源主要成份的材料气使包含金属或金属氧化物的衬底表面氮化而制造氮化膜。
  • 氮化制造方法

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