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[发明专利]气体分配系统-CN202080005794.4有效
发明人： L·坦内里尔 -专利权人：凯斯纽荷兰(中国)管理有限公司
申请日： 2020-01-22 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： F17C5/06 文献下载
摘要：气体分配系统，用于将包含在第一气罐(3)和至少第二气罐(4)中的气体给送到由替代气体燃料(CNG、LNG)驱动的发动机，系统具有连接第一气罐(4)的气体出口(3a)的第一气体导管(12)和连接第二气罐(4)的气体出口(4a)的第二气体导管(14)。阀装置(7、8)设置在第一和第二气体导管(12、14)上以选择具有最高气压的气罐(3、4)，并且由所选择的气罐提供的气体被供应到发动机(2)。
气体分配系统

[发明专利]气体分配系统-CN00108549.2无效
发明人：劳伦斯·D·巴塞洛缪;苏恩·K·约汉;格里高里·M·斯图姆伯;马克·B·金;杰弗里·钱 -专利权人：硅谷集团热系统责任有限公司
申请日： 2000-05-17 - 公布日： 2004-07-14 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：将气体分配给到处理室的多个馈送管以处理衬底的设备和方法。系统包括处理气注入器和护罩组件，所说组件在处理气注入器附近具有多个护罩体，用于减少处理副产物在其上的淀积。
气体分配系统

[发明专利]气体分配系统-CN200480017290.5无效
发明人：杰伊·B·德唐特尼;杰克·C·尧 -专利权人：阿维扎技术公司
申请日： 2004-05-26 - 公布日： 2007-11-07 - 主分类号： C23C16/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用在半导体制造中的气体分配装置。该气体分配装置包括整体元件和形成在该整体元件内以将气体均匀送入加工区域的气体分配网络。该气体分配网络包括：入口通道，其向上延伸通过整体元件的上表面，以连接到气体源；多个第一通道，其会聚在一联结点处并在该联结点处与入口通道连接；与该多个第一通道连接的多个第二通道；以及多个出口通道，其与多个第二通道连接，以将气体送入加工区域。出口通道向下延伸通过整体元件的下表面，以将气体送入加工区域。
气体分配系统

[发明专利]气体分配系统和包括该气体分配系统的反应器系统-CN201910259925.0在审
发明人： S·斯里拉姆;苏俊威;L·V·特兰 -专利权人： ASMIP控股有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体分配系统、包括所述气体分配系统的反应器系统以及使用所述气体分配系统和反应器系统的方法。气体分配系统可以用于气相反应器系统中，以独立地监测和控制联接到反应室的气体分配系统的多个通道中的气体流速。
气体分配系统反应器系统监测和控制气相反应器气体流速反应室

[发明专利]用于饮料机的气体分配系统-CN201980029153.X有效
发明人：巴里·伍德;特拉维斯·内弗斯;恩里科·拉斐尔·卡法罗 -专利权人：贝德福德系统有限责任公司
申请日： 2019-03-22 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B67D1/04 文献下载
摘要：在这里公开了一种用于饮料系统的气体分配系统。气体分配系统能够可释放地固定气体罐或其它气体源，以将其中的加压气体释放到饮料系统。在一个实施例中，气体分配系统包括能够在装载位置和分配位置之间铰接的分配主体。在装载位置，气体罐能够可释放地固定在系统内。当分配主体移动到分配位置时，穿刺机构可以进一步移动到分配主体中，从而穿刺气体罐以释放加压气体。分配主体可以与饮料机的阀或其它流量控制元件流体联接，从而允许加压气体受控地进入到系统中。
用于饮料机气体分配系统

[发明专利]细长的气体分配系统-CN200580034637.1有效
发明人： A·布隆迪尔;W·德博斯谢尔;P·戈德里斯;I·范德皮特 -专利权人：贝卡尔特先进涂层公司
申请日： 2005-10-04 - 公布日： 2007-09-19 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：描述一种用于等离子沉积或等离子清洁设备中的细长的气体分配系统。该系统以堆叠细长板条的形式设备。所述板条中铣有凹槽，这些凹槽在板条彼此上下堆叠后便形成通道。这种设置是特别灵活的设计，可供精细分叉的气体分配树状结构之用。还可以在气体分配系统内部或其上装有气流控制装置，比如阀或叶片。通过根据等离子体、沉积层或清洁的基片反馈参数的输入对气流控制装置的驱动，实现气体分配系统的快速反应。此外，某些板条可用于结合冷却回路，以便冷却细长的气体分配系统。
细长气体分配系统

[发明专利]测定气体泄漏的方法与装置-CN200780006520.1无效
发明人：德·哈蒂格·雨格;安德烈·保罗 -专利权人：柯莱瓦格斯私人责任有限公司
申请日： 2007-02-22 - 公布日： 2009-03-18 - 主分类号： F17D5/02 文献下载
摘要：一种测定连接到一个气体源或供应件的分配系统中的气体泄漏的方法，其中检测从气体源到所述分配系统的气体流速，该方法的特征在于所述分配系统连接到一个动态器件，该动态器件包括至少一个缓冲室和一个控制装置，当该缓冲室填充大于或者等于一个预定的第一量的气体量时，该控制装置能够中断到该器件的气体供应。
测定气体泄漏方法装置

[发明专利]具有高纯度输送气体的吸附型储运容器和相关方法-CN202180072113.0在审
发明人： J·R·德斯普雷斯;J·斯威尼;E·A·斯特姆 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F17C11/00 文献下载
摘要：描述储存和分配系统和相关方法，其用于储存和从容器选择性分配试剂气体锗烷，在所述容器中所述试剂气体保持与储存容器的内部的固体吸附介质呈吸附关系，且其中所述方法和分配系统提供所述试剂气体从所述储存容器的分配，其中在所分配试剂气体中含有含量减少的大气杂质。
具有纯度输送气体吸附储运容器相关方法

[实用新型]氢气纯化装置-CN201821885579.4有效
发明人：张新胜;欧阳剑;陈凯家;王桂星 -专利权人：深圳市凯豪达氢能源有限公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2019-07-30 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：一种氢气纯化装置，用于纯化原料氢气，所述氢气纯化装置包括脱氧塔、四通阀、第一纯化系统、第二纯化系统、气体分配系统、压力调节输出系统和排污系统，所述四通阀分别与脱氧塔、第一纯化系统、第二纯化系统及排污系统连接，所述气体分配系统设置于第一纯化系统和第二纯化系统之间，所述压力调节输出系统连接至所述气体分配系统，所述原料氢气进入所述脱氧塔脱氧后，通过所述四通阀进入第一纯化系统和第二纯化系统中的一方纯化后得到产品气体，再通过所述气体分配系统，产品气体分成主要气体和再生气体，所述主要气体通过压力调节输出系统进入用户单元，所述再生气体进入第一纯化系统和第二纯化系统中的另一方，并通过四通阀中的由排污系统排出。
纯化系统气体分配系统四通阀氢气纯化装置排污系统输出系统压力调节脱氧塔产品气体原料氢气再生气体气体通过用户单元脱氧排出

[发明专利]用于处理系统的多区域气体分配系统-CN200880004235.0有效
发明人：乔则夫·布卡 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2008-01-04 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： C23F1/00 文献下载
摘要：本发明描述了一种用于将衬底暴露在各种工序中的处理系统。此外，提供了一种构造为连接并使用该处理系统以便于将处理材料分配到衬底上的气体分配系统。该处理系统包括处理室，连接到该处理室的基团产生系统，连接到基团产生系统并被构造为将活性基团分配到衬底上的气体分配系统，以及控制温度的基座，该基座连接到真空室并被构造为支撑衬底。气体分配系统被构造为有效地将基团传输到衬底上并且将所述基团分配在衬底上。
用于处理系统区域气体分配

[发明专利]一种供电公司用六氟化硫全流程追溯系统-CN202011459563.9在审
发明人：王诚;杨奚诚;熊瑛;潘慧;方辉祥;吴真中;蔡鹏飞 -专利权人：合肥大多数信息科技有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种供电公司用六氟化硫全流程追溯系统，本发明涉及六氟化硫全流程追溯技术领域，解决了现有技术中，不能够对供电设备进行合理气体分配，导致出现气体缺乏或者过于充足的现象的技术问题，通过使用分配单元分析供电设备的工作信息，从而对供电设备进行合理分配六氟化硫气体，获取供电设备的工作信息，通过公式获取到供电设备的分配系数Xk，若供电设备的分配系数Xk＜分配系数阈值，则将该供电设备分配系数对应的供电设备标记为优先分配设备，并将优先分配设备按照分配系数的顺序进行排序；对供电设备进行合理气体分配，避免出现气体缺乏或者过于充足的现象，提高了工作效率。
一种供电公司六氟化硫流程追溯系统

[发明专利]工艺气体分配系统和工艺气体分配系统的使用-CN202180039247.2在审
发明人： F·奥伦多夫;A·泰维斯;L·弗里德里希;M·雅各布 -专利权人：顺利工程技术有限责任公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B01J4/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种包括工艺气体分配设备(2)的工艺气体分配系统(1)以及涉及根据前述权利要求中任一项所述的工艺气体分配系统(1)在用于制造和/或处理在振荡工艺气流、尤其脉冲反应器中的颗粒(P)的反应器系统(
工艺气体分配系统使用

[发明专利]气体分配系统和应用该气体分配系统的半导体处理设备-CN200710179336.9有效
发明人：南建辉;宋巧丽 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2007-12-12 - 公布日： 2009-06-17 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于向反应区域输送工艺气体的气体分配系统，其包括顺序连接的气体供应部分、切换部分以及流量控制部分。气体供应部分用于提供工艺气体，并将其向切换部分输送；切换部分用于在前后工序转换时，停止向流量控制部分输送当前工序所需的工艺气体，转而向其输送下一道工序所需的工艺气体；流量控制部分为集成流量控制器，用于根据工艺要求控制工艺气体的流量，并将所述工艺气体向反应区域输送。此外，本发明还提供一种应用上述气体分配系统的半导体处理设备。本发明提供的气体分配系统及半导体处理设备具有体积小、便于安装和维护、应用成本低等特点；同时，应用该气体分配系统的半导体处理设备还具有产品产出率较高等特点。
气体分配系统应用半导体处理设备

[实用新型]一种BOG回收加气系统-CN201720279553.4有效
发明人：孟启 -专利权人：江苏鼎程新能源科技有限公司
申请日： 2017-03-21 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： F17C7/04 文献下载
摘要：一种BOG回收加气系统，其包括LNG分配系统，所述LNG分配系统至少包括向所述加气系统提供BOG的BOG卸气装置；CNG分配系统，所述CNG分配系统至少有一个输出端口以输出高压CNG；还包括BOG回收系统，所述BOG回收系统设置在所述LNG分配系统与所述CNG分配系统之间，所述BOG回收系统与所述BOG卸气装置连接，所述BOG回收系统至少包括依次连接的BOG加热器、天然气缓冲罐和压缩机。本实用新型的BOG回收加气系统，设备简单，成本低，能够实现对BOG的回收利用，减少温室气体的排放。
一种 bog 回收系统

[发明专利]装配有烧结金属过滤器的喷嘴气体分配系统-CN202280013408.5在审
发明人： R·A·鲁道夫;崔哲 -专利权人：国际壳牌研究有限公司
申请日： 2022-02-01 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B01J8/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种气体分配系统，该气体分配系统包括与气体源流体地连通的多个流动通道，每个流动通道具有设置在其中的多个喷嘴，其中所述喷嘴的至少一部分装配有烧结金属过滤器。
装配烧结金属过滤器喷嘴气体分配系统

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