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[发明专利]一种晶圆片翘曲度的测试方法-CN202010003641.8有效
发明人：陈跃华;彭从峰;卜志超;陈时兴 -专利权人：浙江百盛光电股份有限公司
申请日： 2020-01-03 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆片翘曲度的测试方法，包括以下步骤：(1)呈竖直设置一标准平镜，使所述标准平镜平行于重力方向；(2)加载晶圆片；(3)调整所述晶圆片与所述标准平镜之间的间距；(4)调整所述晶圆片与所述标准平镜呈面与面平行；(5)启动测试模组，使所述测试模组相对于所述标准平镜作平行移动扫描，通过设置在所述测试模组上的传感器分别对所述传感器的探头至所述晶圆片的距离进行采样和所述传感器的探头至所述标准平镜的距离进行采样；(6)将获得的所述距离采样值进行数据处理程序处理，得出所述晶圆片的翘曲度参数；本发明的优点是：当晶圆竖直放置测试，晶圆面内刚度大，可大幅度减小重力的影响，减小形变，测试方法便捷简单。
一种晶圆片翘曲度测试方法

[发明专利]一种平面平晶检定装置及检定方法-CN202210311984.X有效
发明人：张志庭;郑剑峰;刘晓峰;黄晓川;李黎明;刘苗;谢贤梅 -专利权人：深圳众庭联合科技有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面平晶检定装置及检定方法，包括被测平晶，被测平晶的底部设置有标准平晶，被测平晶的顶部设置有准直物镜，准直物镜的左上方设置有挡板，挡板上开设有小孔，挡板的侧面设置有光纤激光，挡板的右侧设置有第一反射镜，准直物镜的正上方设置有第二反射镜，光纤激光的激光前方设置有分光镜，分光镜的右侧设置有CCD相机；本发明通过采用了平面等厚干涉的方法，通过相机采集被测平晶与标准平晶的干涉图样，以及采用自行搭建的平面度算法，完成被测平晶的检定，同时可并行检定多个被测平晶的平面度，提高检定效率。
一种平面检定装置方法

[发明专利]一种转台摆角精密测量方法-CN201510974369.7有效
发明人：苗二龙;武东城;苏东奇;高松涛;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-23 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明一种基于平面干涉仪的转台摆角精密测量方法，属于光学检测领域，解决了现有技术中测量转台摆角精度严重依赖标准件的质量的技术问题；本发明利用了干涉仪和标准平晶建立标准的平面干涉腔，并测量标准平晶在不同转动角度下的干涉图利用Zernike多项式提取出标准平晶的倾斜量，统计倾斜量的变化就可以得到转台的转动摆角；该方法简便易行，测量精度高，能够满足精密转台摆角测量要求。
一种转台精密测量方法

[发明专利]一种平面度检测装置及方法-CN201410514042.7在审
发明人：杨文志;吴时彬;景洪伟;张鹏 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2014-09-29 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明是一种平面度检测装置及方法，该装置由标准平晶、调整座、基座、第一测长仪、第一调整座、联接板、一维移动台、二维移动台、第二调整座、第二测长仪、被测件、第三调整座组成；用标准平晶的标准面与被测件的理论平面之间距离作为基准；将两测长仪的测头反向安装，一测头与标准平晶的平面接触，另一测头与被测件被测平面接触；对标准平晶的平面和被测件的被测平面进行二维扫描测量，对两测长仪记录的数据处理，获得被测件被测平面的平面度；本发明旨在用于消除二维移动台的直线性对测量的影响，能对各连续平面及非连续平面平面度的测量，能测量二维移动台的直线性，可测量微透镜焦点的共面性，拓展标准平晶的高精度平面度检测方法功能。
一种平面检测装置方法

[发明专利]一种针对标准长平晶的倾斜测试的测试平台及其标定方法-CN201610261465.1有效
发明人：王青;齐思璐;周泉仙;孟令强;石慧;王晓烨 -专利权人：南京英特飞光电技术有限公司
申请日： 2016-04-25 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明提出一种针对标准长平晶的倾斜测试的标定方法和测试平台，从首先根据长平晶型号确定测量时的倾斜角度，使测量布置方式最优；再根据测试长平晶位置确定反射镜位置，利用激光自动准直系统找到反射镜垂直反射光线的位置；使用干涉仪测量时根据不同型号的长平晶对照标定图像，从而确定该长平晶的面型信息。本发明在标定时无需测量全部面型参数，增加了简易性，且在测量时节省空间，有统一的标准，精度高，易于实现。
一种针对标准长平晶倾斜测试标定方法平台

[发明专利]在平面度地形图中修正标准平晶平面度的测量方法-CN202111174773.8有效
发明人：张成悌;薛靓;冉庆;汤江文;付天坤;龚柯安;徐德宇;杨桩;蒋丽 -专利权人：中国测试技术研究院机械研究所
申请日： 2021-10-09 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明涉及平晶测量领域，具体涉及一种在平面度地形图中修正标准平晶平面度的测量方法，用于在卧式干涉仪中对平晶组进行多点测量，平晶组包括四块以上平晶，每个平晶沿中心点均匀划分为N个待测截面，每个待测截面上选取除中心点外的M个测量点，按以下步骤进行测量：步骤S1，取平晶组中的任意两块平晶分别标记为平晶A和平晶B，将平晶A和平晶B放置于卧式干涉仪上，且工作面相对放置，将平晶A上的N个待测截面中离中心点最远的测量点按顺时针方向进行编号……步骤S6，在平晶组多块块平晶分别取得各截面直线度平均结果和各截面端点的共面度平均值后，将各截面直线度偏差叠加在共面度的相应点上，即可得到每块平晶的多截面平面度偏差。
平面地形图修正标准测量方法

[发明专利]用于检测空心圆柱内表面的光学干涉仪-CN201310585701.1在审
发明人：韩森;李雪园 -专利权人：苏州慧利仪器有限责任公司;韩森;李雪园
申请日： 2013-11-19 - 公布日： 2014-03-05 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：所述内表面沿空心圆柱周向且位于内侧或外侧，其聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合；分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间，用于将来自准直凸透镜的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶位于准直凸透镜与分束镜相背的一侧，该标准平晶与准直凸透镜相对的表面为凸面，此标准平晶与凸面相背的表面为标准参考面；所述圆锥反射镜位于待检测所述空心圆柱内，且圆锥反射镜的旋转轴与空心圆柱与标准平晶各自的轴线重合。
用于检测空心圆柱表面光学干涉仪

[实用新型]空心圆柱内表面的光学检测装置-CN201320733413.1有效
发明人：李雪园;韩森;孙昊 -专利权人：苏州慧利仪器有限责任公司;韩森
申请日： 2013-11-19 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：所述内表面沿空心圆柱周向且位于内侧或外侧，其聚光凸透镜位于激光器和准直凸透镜之间且聚光凸透镜的焦点与准直凸透镜的焦点重合；分束镜位于聚光凸透镜和准直凸透镜之间，用于将来自准直凸透镜的光线分为第一光束和第二光束；所述标准平晶位于准直凸透镜与分束镜相背的一侧，该标准平晶与准直凸透镜相对的表面为凸面，此标准平晶与凸面相背的表面为标准参考面；所述圆锥反射镜位于待检测所述空心圆柱内，且圆锥反射镜的旋转轴与空心圆柱与标准平晶各自的轴线重合。
空心圆柱表面光学检测装置

[发明专利]一种基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法-CN202210466601.6在审
发明人：赖涛;彭小强;戴一帆;刘俊峰;胡皓;关朝亮 -专利权人：中国人民解放军国防科技大学
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于标准平晶与自准值仪的导轨角误差测量方法，主要步骤包括首先将标准平晶固定于导轨的运动滑块上，并随滑块一起运动；调整平晶面与导轨运动方向平行或垂直；将自准直仪的光束对准平晶平面中心经反射进入自准直仪，自准直仪固定不动，调整自准直仪至工作状态；静置自准直仪与平晶至自准直仪示数产生微小跳动开始测量；记录自准直仪两个方向的角度误差。
一种基于标准准值仪导轨误差测量方法

[实用新型]法布里－珀罗标准具-CN200320112509.2无效
发明人：孙桂香 -专利权人：长春第一光学有限公司
申请日： 2003-10-08 - 公布日： 2004-12-15 - 主分类号： G01J3/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种法布里—珀罗标准具，属于物理实验仪器。平行平晶P17、隔圈6、平行平晶P28放置在标准具框11中，保护盖1与标准具框11螺钉连接，压圈5位于保护盖1内，压片2、弹簧保护隔圈3、压簧4位于压圈5内，干涉滤光片9放置在标准具框11中，外面压圈10与该标准具框螺纹连接，标准具框通过托架12与支杆13连接。
法布里标准

[实用新型]一种测量工件平行度的装置-CN03219409.9无效
发明人：倪厚坤;章海鹰 -专利权人：中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
申请日： 2003-01-17 - 公布日： 2004-01-07 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：一种测量工件平行度的装置，包括光源、反射镜、透镜、置于两块标准平晶之间的被测工件及平面干涉仪，其特征是工件的两被测面与平晶之间为点接触。在两平晶的夹持工件面上分别固定三个形状、尺寸完全一致的钢球夹持点，工件两面的夹持钢球点位置一一对应。也可将钢球置于保持架上，钢球直径大于保持架厚度，钢球直径两点分别与工件及平晶接触，保持架与平晶固定。
一种测量工件平行装置

[发明专利]基于激光动态干涉仪的静压主轴运动精度在线测试方法-CN201510391148.7有效
发明人：付鹏强;张德伟;葛江华;张飞虎;张龙江;任博远;张强 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2018-01-23 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光动态干涉仪的静压主轴运动精度在线测试方法，在直驱式超精密静压主轴转子的上端面安装高精度标准平晶作为测量基准，高精度标准平晶随主轴转子一起回转，反映主轴的实际回转状态，利用激光动态干涉仪对振动不敏感的特性，实时获取主轴转子回转时端部的高精度标准平晶表面的三维图像，然后将动态干涉仪所采集的图像传输到计算机进行图像分析与处理，并进行运动误差评价，从而实现主轴运动精度的在线测量。
基于激光动态干涉仪静压主轴运动精度在线测试方法

[实用新型]一种全息光栅的制作装置-CN201020233097.8无效
发明人：陈映纯;黄婉华;赖演萍;黄佐华 -专利权人：华南师范大学
申请日： 2010-06-21 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： G03H1/04 文献下载
摘要：该制作装置包含光源、扩束镜、空间滤波器、平面平晶和用于记录经平面平晶两个光学表面反射形成平行干涉条纹的全息干版；其中，光源、扩束镜、空间滤波器和平面平晶沿光束前进的方向依次共轴排列，平面平晶与光轴形成的夹角可调，用于记录经平面平晶两个光学表面反射形成平行干涉条纹的全息干版位于干涉场。本实用新型元件少，不需使用标准光栅，调节灵活方便，而且由于属分波幅干涉，光程短，本实用新型产生的干涉条纹稳定，衬比度高，抗干扰能力强。
一种全息光栅制作装置

[发明专利]共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置-CN201210263270.2有效
发明人：沈华;朱日宏;陈磊;何勇;王青;荣四海;李建欣 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2012-07-27 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种共光路型多重倾斜波面补偿非零位干涉测量装置，包括菲索干涉仪、标准平晶、自由曲面梯度补偿模块和待测自由曲面，自由曲面梯度补偿模块的主光轴与干涉测试装置主光轴重合，菲索干涉仪的发出的平行光束经过标准平晶后分成两束光，一束光从标准平晶表面反射回菲索干涉仪形成参考光，另一束光进入自由曲面梯度补偿模块，并从自由曲面梯度补偿模块出射，形成不同倾斜角度的测试光束入射到待测自由曲面，经过待测自由曲面反射回到自由曲面梯度补偿模块
共光路型多重倾斜补偿零位干涉测量装置

[实用新型]对柱面进行干涉检测的镜头-CN201220432403.X有效
发明人：孙玉娟;蔡燕华;薛海燕;潘宝珠;钱煜;胡建军;王伟 -专利权人：江苏宇迪光学股份有限公司
申请日： 2012-08-28 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种对柱面进行干涉检测的镜头，包括标准平晶，标准平晶后设置平凸柱面镜；平凸柱面镜的柱面在前，平面在后，且柱面为环形面。
柱面进行干涉检测镜头

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