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[发明专利]晶片收纳装置和晶片盒收纳箱-CN201180038872.1有效
发明人：轰和久;荻村好友;渡辺英二;为则启 -专利权人：富士电机株式会社
申请日： 2011-09-14 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：提供一种能够抑制所收纳的晶片飞出和从晶片产生的灰尘的晶片收纳装置。晶片收纳装置（1）包括：晶片盒（100），其具有收纳晶片（W）的收纳部（110）；和收纳晶片盒（100）的收纳箱（200）。收纳箱（200）具有支承部（214），该支承部对晶片盒（100）进行支承，使得晶片盒（100）的收纳部（110）相对于收纳箱（200）的底面以37°至45°的角度（θa）倾斜。
晶片收纳装置

[发明专利]物品保管设备以及物品运送设备-CN201310099182.8有效
发明人：吉冈秀郎;菅野崇道 -专利权人：株式会社大福
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明的物品保管设备具备保管半导体晶片和标线片的保管架，以及入出库用运送装置。保管架具备收纳晶片收纳容器的第1收纳部，以及收纳标线片收纳容器的第2收纳部，晶片收纳容器收纳晶片，标线片收纳容器收纳标线片。入出库用运送装置具备把持部，把持形成在晶片收纳容器的上部的顶部凸缘，将晶片收纳容器支撑在悬吊状态，在标线片收纳容器的上部形成有凸缘部，用于容器运送装置以把持部把持，将标线片收纳容器支撑在悬吊状态。
物品保管设备以及运送

[发明专利]搬送机构-CN201910308914.7在审
发明人：田中万平;大河原聪 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供搬送机构，减少晶片处理装置的无用的待机时间，并且防止污染物对晶片的附着。该搬送机构在晶片处理装置之间对晶片单元进行搬送，该晶片单元是借助保持带将晶片支承于环状框架而构成的，其中，该搬送机构包含：收纳托盘，其对晶片单元进行收纳；以及移送构件，其在晶片处理装置之间对收纳托盘进行移送，收纳托盘按照在侧方形成开口部的方式利用一对侧面板将顶板和底板连结，在顶板上设置有产生从收纳托盘内的顶板侧向开口部散发的下降气流的气流产生部，该搬送机构在晶片处理装置之间一张一张地搬送收纳于收纳托盘的晶片单元
搬送机构收纳托盘晶片处理装置晶片单元收纳底板侧向开口环状框架晶片支承气流产生下降气流移送构件侧面板开口部侧方待机附着晶片连结污染物散发

[发明专利]半导体晶片加工装置-CN200910179458.7无效
发明人：津野贵彦 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2009-10-13 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种半导体晶片加工装置，其能缩短晶片的搬出时间，并能防止半导体晶片在半导体晶片搬出时破损。半导体晶片加工装置包括：收纳半导体晶片的盒；载置盒的盒载置台；和将收纳在盒内的半导体晶片搬入和搬出的搬送装置，其中，盒具有开口部和多个晶片收纳部，晶片收纳部以半导体晶片的表面和背面处于大致水平方向的朝向收纳一块半导体晶片，开口部与将半导体晶片相对于盒搬入和搬出的搬送装置对置，半导体晶片加工装置还包括：摄像装置，其与开口部对置地配设，用于对盒的多个晶片收纳部进行拍摄；移动装置，其使盒载置台和摄像装置在垂直方向上相对移动；判断装置，其对利用摄像装置拍摄到的摄像图像进行解析，来判断半导体晶片的收纳状态；和存储装置，其存储利用判断装置判断出的判断结果。
半导体晶片加工装置

[发明专利]气相生长装置-CN02829134.4有效
发明人：清水英一;牧野修仁 -专利权人：株式会社日矿材料
申请日： 2002-10-16 - 公布日： 2005-06-22 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种气相生长装置，至少备有：可密闭的反应炉、设置在该反应炉内并用于将晶片配置在规定位置上的晶片收纳部、用于向晶片供给原料气体的气体供给机构、用于加热前述晶片的加热机构，在前述反应炉内，通过利用前述加热机构经由前述晶片收纳部加热晶片、并且在高温状态下供给原料气体，来在前述晶片的表面上形成生长膜，在前述晶片收纳部由单一的原材料或者部件构成的情况下，从前述晶片收纳体的内面朝向前述晶片的表面的热传递路径中的热阻R₁与从前述晶片收纳体的内面朝向前述晶片收纳体的表面的热传递路径中的热阻R₂之比R₂/R₁为0.4以上、1.0以下。
相生装置

[发明专利]晶片生成装置-CN202110387862.4在审
发明人：饭塚健太吕;山本凉兵 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2021-04-12 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种晶片生成装置，即使发生停电或故障，半导体锭与晶片的父子关系也不会被破坏而始终明确。晶片生成装置包含：搬送托盘，其具有收纳半导体锭的锭收纳部和收纳从半导体锭生成的晶片的晶片收纳部；带式搬送机单元，其将搬送托盘搬送至各加工机；盒架，其与搬送托盘对应地载置收纳晶片的盒；以及转移单元，其将晶片从搬送托盘的晶片收纳部转移至载置在盒架上的盒中
晶片生成装置

[发明专利]加工装置-CN201810562027.8在审
发明人：关家一马 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2018-06-04 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供加工装置，能够简单地选择适合各种种类的晶片的晶片保持垫。进行晶片的搬送的搬送单元包含第一晶片保持垫，该第一晶片保持垫与移动单元的前端装卸自如地连结，对晶片进行保持，进行晶片的搬出和搬入的搬出单元包含第二晶片保持垫，该第二晶片保持垫对晶片进行保持，与移动机器人的前端装卸自如地连结加工装置还具有晶片保持垫收纳单元，该晶片保持垫收纳单元对多个按照晶片的种类而不同的多种各晶片保持垫进行收纳，在将晶片从盒中搬出之前，搬出单元和搬送单元安装与该晶片对应的第一晶片保持垫和第二晶片保持垫。
晶片保持晶片搬出加工装置搬送单元收纳单元装卸自如连结移动机器人收纳移动单元搬入

[发明专利]表面检测装置-CN02142907.3无效
发明人：矶崎久;松田正则 -专利权人：株式会社拓普康
申请日： 2002-08-10 - 公布日： 2003-04-02 - 主分类号： G01N21/47 文献下载
摘要：一种表面检测装置，具有附着了已知微粒的校正用晶片、具有自动搬运装置的晶片搬运部、表面检测部、收纳前述校正用晶片的校正用晶片收纳部。
表面检测装置

[发明专利]向半导体晶片收纳容器内填充干燥空气或氮气的填充装置以及使用了该装置的晶片除静电装置-CN200780053696.2无效
发明人：木崎原稔郎;冈田诚;饭田尚司;本田康 -专利权人：近藤工业株式会社;日本剑桥过滤器株式会社
申请日： 2007-07-09 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：在不打开半导体晶片收纳容器的盖的情况下，除去该半导体晶片收纳容器内的化学气体，并且阻止酸生成。在收纳半导体晶片(9)的半导体晶片收纳容器(1)的底板(5)设有多个呼吸口(8)，干燥空气或氮气的填充装置(A)与上述呼吸口(8)中的供给侧的呼吸口(8a)和排出侧的呼吸口(8b)连结固定，上述各呼吸口(8a、8b)通过具备PTFE过滤器(7)而形成，且上述填充装置(A)具备：向半导体晶片收纳容器(1)内供给干燥空气或氮气的干燥空气/氮气供给部(11)、和使用完干燥空气/氮气排出部(12)，该使用完干燥空气/氮气排出部(12)通过被提供到半导体晶片收纳容器(1)内的上述干燥空气或氮气，除去半导体晶片收纳容器(1)内的化学气体，并且除去水分而阻止在半导体晶片表面生成酸，而后排出使用完干燥空气/氮气。
半导体晶片收纳容器填充干燥空气氮气装置以及使用静电

[发明专利]半导体晶片收纳容器内空气净化装置-CN200510009205.7无效
发明人：木崎原稔郎;冈田诚;堀部泰德 -专利权人：近藤工业株式会社;日本剑桥过滤器株式会社
申请日： 2005-01-28 - 公布日： 2005-12-14 - 主分类号： F24F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种将半导体晶片收纳容器内的空气净化的半导体晶片收纳容器内空气净化装置。该空气净化装置是这样工作的：从半导体晶片收纳容器(51)的底板(60)上设的一个呼吸口(58a)排出的、半导体晶片收纳容器(51)内的空气，被吸入备有鼓风机驱动部(1)、除尘用过滤部(2)以及除去水分和化学气体用过滤部(3)的空气净化装置(M)内，通过该空气净化装置(M)除去水分、化学气体和尘埃后的洁净空气(63)，被强行从另一个呼吸口(58b)送入半导体晶片收纳容器(51)，使半导体晶片收纳容器(51)中空气的不断循环净化，从而使半导体晶片收纳容器(51)内保持了洁净状态。
半导体晶片收纳容器空气净化装置

[发明专利]探测装置和晶片装载器-CN201410060208.2无效
发明人：秋山收司;雨宫浩 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-02-21 - 公布日： 2014-08-27 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种探测装置和晶片装载器。其能够使晶片收纳容器的载置高度应对由搬运机械手进行的自动搬运，且能够与大型的测试头等对应。进行形成于半导体晶片的半导体器件的电检查的探测装置，具备探测器部，其具有载置台、驱动载置台使其上所载置的半导体晶片的半导体器件与探测器接触的载置台驱动机构、容纳载置台和载置台驱动机构的探测器壳体；和晶片装载器，其具备装载器壳体、载置晶片收纳容器的收纳容器载置部、使该收纳容器载置部移动至装载器壳体外的第一位置和在装载器壳体内比第一位置低的第二位置的收纳容器载置部驱动机构、容纳于装载器壳体内且能够在晶片收纳容器与载置台之间搬运半导体晶片的晶片搬运机构
探测装置晶片装载

[发明专利]基板搬送处理装置-CN200710101348.X有效
发明人：田上光广;榎木田卓 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-04-19 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种尽可能缩小基板收纳部的基板的收纳空间，以实现装置的小型化、增大基板的收纳数量，并且提高生产率的基板搬送处理装置。该基板搬送处理装置包括：配置收容晶片的载体的载体块；具有晶片的处理单元的处理块；将晶片交接至处理单元的主臂；配置在载体块和处理块之间，能够收纳晶片的架单元；以及将晶片交接至架单元的交接臂。架单元具有能够从主臂与交接臂交叉的两个方向进行晶片交接的开口部，并且，将支撑晶片的多个载置架相互隔开间隔而叠层，将主臂和交接臂形成为以在截面方向上与载置架的厚度重叠的位置关系相对于基板收纳部进退。
基板搬送处理装置

[发明专利]晶片收纳方法-CN201310096181.8在审
发明人：中村胜 -专利权人：株式会社迪思科
申请日： 2013-03-25 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种晶片收纳方法，在将沿着分割预定线在内部形成有改性层的晶片收纳到盒中并进行搬送时，避免了晶片破裂。在将沿着交叉的分割预定线（L）形成有改性层（8）的晶片收纳到盒（9）中时，通过以分割预定线（L）的方向与支撑搁板（92）交叉的方式收纳晶片（W），来避免晶片（W）的自重集中到分割预定线（L），防止晶片（W）在盒（9）的搬送中等破裂，该盒（9）至少具有：开口部（90），其容许晶片的进出；一对侧壁（91），其设置于该开口部（90）的两侧部；以及支撑搁板（92），其对置地形成于一对侧壁（91）的内侧的面，且从开口部
晶片收纳方法

[发明专利]气相生长装置以及气相生长方法-CN02829135.2有效
发明人：清水英一;牧野修仁 -专利权人：株式会社日矿材料
申请日： 2002-10-10 - 公布日： 2005-06-15 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明提供一种气相生长装置以及气相生长方法，所述气相生长装置至少备有：可密闭的反应炉、设置在该反应炉内并用于将晶片配置在规定位置上的晶片收纳体、用于向晶片供给原料气体的气体供给机构、用于加热前述晶片的加热机构，在前述反应炉内，通过利用前述加热机构经由前述晶片收纳体加热晶片、并且在高温状态下供给原料气体，在前述晶片的表面上形成生长膜，前述晶片收纳体包括：形成有用于收纳前述晶片的空部的热流控制部、与该热流控制部接合并用于将热量传递到收纳在前述空部中的晶片的热流传导部使前述热流控制部和前述热流传导部的接触热阻为1.0×10^－6m²K/W以上、5.0×10^－3m²K/W以下，并且用具有配置在前述热流传导部上的晶片的热传导率的
相生装置以及方法

[发明专利]晶片装载皿-CN201480074104.5在审
发明人：安德利斯·里查;安德利斯·凯勒 -专利权人：山特森光伏AG
申请日： 2014-12-19 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种用于收纳晶片的晶片装载皿及用于处理半导体晶片的设备。晶片装载皿包括：由石英制成的至少两个细长收纳元件，每一收纳元件具有多个平行收纳槽，收纳槽横切于收纳元件的纵向延伸而延伸；以及两个端板，收纳元件配置并附接于两个端板之间，使得收纳元件的收纳槽彼此对准。为增加晶片装载皿的稳定性，晶片装载皿包括多个附接零件，收纳元件经由附接零件附接至端板，其中每一附接零件的圆周为包括接收槽的收纳元件的收纳区段的圆周的至少1.5倍，且其中每一附接零件经焊接或接合至以下各物中的至少一个：端板及收纳元件。在可与以上实施例组合的另外实施例中，收纳元件各自具有邻近于端板的至少一个松弛槽、较佳具有至少两个松弛槽，所述松弛槽的深度小于收纳槽的深度，其中当提供至少两个松弛槽时，松弛槽的深度随距端板的距离增加而增加
晶片装载

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