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- [发明专利]一种光学膜片结构及其制造软光刻印章母模-CN201110163930.5有效
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刘立林;王钢;杨建福
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中山大学
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2011-06-17
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2011-11-02
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G02B5/04
- 本发明公开了一种光学膜片结构及其制造软光刻印章母模,光学膜片结构,包括一基片和一聚光层,聚光层设于基片一表面内与基片一体成型,或者独立设于基片表面上,所述聚光层包含有复数个聚光微结构单元,所述聚光微结构单元呈六棱锥无规则排布于基片表面上,六棱锥底面与基片表面贴合;软光刻印章母模,由电镀工艺制备,在高峰值电流密度下的脉冲电镀金属厚膜,所述金属厚膜具有强面外{111}织构,织构度大于85%,所述金属厚膜包括有孪晶晶粒,孪晶的共格孪晶界面与金属厚膜表面的夹角为本发明通过六棱锥状的聚光微结构单元无规则随机分布,形成平滑起伏的结构,可有效消除Moire现象。
- 一种光学膜片结构及其制造光刻印章
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