[发明专利]一种扫描电子显微镜能谱仪用测试夹具及测试方法在审
| 申请号： | 202010257508.5 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN113495080A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 李嘉琳;李玲;阎海亮;吴军民;金锐;潘艳;邱宇峰;汤广福;滕乐天 | 申请（专利权）人： | 全球能源互联网研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2206 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种扫描电子显微镜能谱仪用测试夹具，所述测试夹具包括多个夹口，所述各夹口的两边包括不同金属，所述扫描电子显微镜能谱仪包括扫描电子显微镜和能谱分析仪，所述扫描电子显微镜包括扫描电子显微镜舱室，所述夹具设置于所述扫描电子显微镜舱室内，所述能谱分析仪用于：对待测样品截面元素分布进行测试，本发明夹具上的各夹口两边采用不同的金属制造，用来避免夹具与测试样品中含有同一种金属所造成的测试结果干扰，以及测量元素分布不准确的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子显微镜 能谱仪用 测试 夹具 方法 | ||
【主权项】：
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