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[发明专利]微机电系统MEMS磁通门磁强计测试系统及其控制方法-CN201510528324.7有效
发明人：杨建中;刘幂;尤政;李滨;阮勇 -专利权人：清华大学
申请日： 2015-08-25 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： G01R35/00 文献下载
摘要：本发明提出一种微机电系统MEMS磁通门磁强计测试系统及其控制方法，包括激励信号源；基座；三轴微动平台，与基座固定相连，用于对微机电系统MEMS磁通门磁强计的位置进行调整；芯片固定装置，用于固定微机电系统MEMS磁通门磁强计，其设置在三轴微动平台的顶部，以跟随三轴微动平台移动；探针卡，分别与基座、激励信号源和微机电系统MEMS磁通门磁强计连接，用于在与微机电系统MEMS磁通门磁强计导通时，导出微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号；数据采集装置，与探针卡相连，用于采集输出信号；处理装置，与数据采集装置相连，用于接收微机电系统MEMS磁通门磁强计的输出信号，并对输出信号进行锁相放大，以得到测试结果。
微机系统 mems 磁通门磁强计测试及其控制方法

[发明专利]MEMS致动系统和方法-CN201780068595.6有效
发明人： M·伍;刘晓蕾;王桂芹 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H05K3/28 文献下载
摘要：一种制造微机电系统(MEMS)组件的方法包括将微机电系统(MEMS)致动器安装到一金属板。将图像传感器组件安装到微机电系统(MEMS)致动器。图像传感器组件电连接到微机电系统(MEMS)致动器，从而形成微机电系统(MEMS)子组件。
mems 系统方法

[发明专利]MEMS致动系统和方法-CN201780068620.0有效
发明人： M·伍;刘晓蕾;王桂芹 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G02B27/64 文献下载
摘要：微机电系统(MEMS)器件包括一个或多个可滑动连接组件，用于可释放地将微机电系统(MEMS)器件连接到制造微机电系统(MEMS)器件的晶片。
mems 系统方法

[发明专利]微机电系统装置结构及其形成方法-CN201810697127.1有效
发明人：张凯峯;蔡连尧;吕联沂 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-06-29 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：提供微机电系统(MEMS)装置结构的形成方法，微机电系统装置结构包含微机电系统(MEMS)基底以及基底形成于微机电系统基底上方，基底包含半导体导通孔通过基底。微机电系统装置结构包含介电层形成于基底上方以及聚合物层形成于介电层上。微机电系统装置结构也包含导电层形成于介电层和聚合物层中，导电层电性连接至半导体导通孔，且聚合物层位于导电层与介电层之间。
微机系统装置结构及其形成方法

[发明专利]移动终端的跌落保护方法、装置及移动终端-CN201610615790.3有效
发明人：唐城 -专利权人：广东欧珀移动通信有限公司
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2017-12-19 - 主分类号： H04M1/725 文献下载
摘要：本发明提出一种移动终端的跌落保护方法、装置及移动终端，该移动终端的跌落保护方法包括采集移动终端的加速度；判断加速度是否超过预设阈值，得到判断结果；根据判断结果控制微机电光学防抖系统MEMS OIS的梳状模块进行咬合，以对微机电光学防抖系统MEMS OIS进行跌落保护。通过本发明能够有效增加微机电光学防抖系统MEMS OIS的抗跌落能力，降低微机电光学防抖系统MEMS OIS损毁的概率。
移动终端跌落保护方法装置

[发明专利]MEMS致动系统-CN202011023508.5在审
发明人：王桂芹;马修·恩格;刘晓蕾 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。其中该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器；该平面内MEMS致动器包括电磁致动器部分。
mems 系统

[发明专利]MEMS致动系统-CN201980007529.7有效
发明人：王桂芹;刘晓蕾;马修·恩格 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G02B7/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和平面外MEMS致动器。该平面外MEMS致动器包括多形态压电致动器。
mems 系统

[发明专利]MEMS致动系统-CN202011026391.6在审
发明人：王桂芹;刘晓蕾 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G02B7/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种多轴MEMS组件。该多轴MEMS组件包括被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器以及连接到该微机电系统(MEMS)致动器的光电器件。该微机电系统(MEMS)致动器包括：平面内MEMS致动器和包括多形态压电致动器的平面外MEMS致动器；以及连接到该平面外MEMS致动器的镜筒组件。
mems 系统

[发明专利]MEMS致动系统和方法-CN201780068608.X有效
发明人：刘晓蕾;M·伍;王桂芹;G·莫拉比托 -专利权人：麦斯卓有限公司
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01H51/22 文献下载
摘要：微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。
mems 系统方法

[发明专利]平面腔体微机电系统及相关结构、制造和设计结构的方法-CN201180025546.7有效
发明人： D.丹格;T.多安;G.A.邓巴;何忠祥;R.T.赫林;C.V.扬斯;J.C.马林;W.J.墨菲;A.K.斯坦珀;J.G.通布利;E.J.怀特 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2011-06-08 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明提供了平面腔体微机电系统（MEMS）结构、制造和设计结构的方法。该方法包括：采用反向镶嵌工艺形成至少一个微机电系统（MEMS）腔体（60a，60b），该至少一个微机电系统腔体具有平面表面。
平面微机系统相关结构制造设计方法

[发明专利]具有增大后腔的MEMS装置-CN201410191389.2在审
发明人： W·康克林 -专利权人：美商楼氏电子有限公司
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有增大后腔的微机电系统(MEMS)装置。微机电系统(MEMS)麦克风组件包括基底和盖件，该盖件联接至所述基底并且与所述基底一起限定空腔。所述基底形成有凹部，该凹部的尺寸和形状能够容纳MEMS管芯。该MEMS管芯包括振动膜和背板。
具有增大 mems 装置

[实用新型]一种微机电系统的动态温度补偿装置-CN201520658632.7有效
发明人：梁明亮 -专利权人：广州长天航空科技有限公司
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2016-01-20 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种微机电系统的动态温度补偿装置，包括印刷电路薄板、设于所述印刷电路薄板正面的微机电系统以及设于所述印刷电路薄板反面的大型贴片电阻，所述微机电系统与贴片电阻位置相互对应，所述贴片电阻与驱动电路连接，用于产热，所述微机电系统连接有单片机，用于将读取到的微机电系统的实时温度与单片机设定的工作温度比较后，控制与贴片电阻连接的驱动电路的通断。本实用新型根据监测到的MEMS芯片的实时温度控制贴片电阻的电流通断，可以达到MEMS芯片恒温效果。通过设置MEMS器件的恒温工作环境，得到了更高精度的数据输出。
一种微机系统动态温度补偿装置

[发明专利]供热通风空调系统中的基于微机电系统的开关-CN200780053377.1有效
发明人： K·苏布拉马尼安;D·T·纳卡诺;W·J·普雷默拉尼 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2007-06-20 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： F24F11/00 文献下载
摘要：采用基于微机电系统的开关装置的HVAC系统。示例性实施例包括HVAC系统，其包括负载马达；主断路器微机电系统(MEMS)开关；和变频驱动器(VFD)，其布置在负载马达和主断路器MEMS开关之间，并电气地联接到负载马达和主断路器MEMS开关。
供热通风空调系统中的基于微机开关

[发明专利]一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器-CN202110039134.4在审
发明人：秦毅;胡耀华;姜鸣;任斌;王福杰;郭芳;姚智伟 -专利权人：东莞理工学院
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机电系统MEMS环境压力和声学传感器，包括：壳体,所述壳体包括封装盖和封装衬底，在封装衬底上开有用于接收声波的开口；压力传感器，其设置在所述壳体内部，内部包括压力感应部分和压力输入部分；MEMS微机电系统，其设置在所述壳体内封装衬底上并与声学传感装置连接，用以处理声学传感装置中传递的声学信号，和处理一些压力传感器接收和反馈的信号；声学传感装置，设置在壳体内部，与所述MEMS微机电系统连接；集成电路，其设置在壳体内部，所述集成电路用以给压力传感器、MEMS微机电系统和声学传感装置供电和确定声学输出和环境压力输出。
一种微机系统 mems 环境压力声学传感器

[发明专利]MEMS致动系统-CN201880081365.8有效
发明人：王桂芹;刘晓蕾 -专利权人：麦斯卓微电子（南京）有限公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种多轴MEMS组件，包括：被配置为提供三轴直线移动的微机电系统(MEMS)致动器，以及与该微机电系统(MEMS)致动器连接的光电器件。
mems 系统

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