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[发明专利]一种同向偏振态的多路激光干涉光刻系统和方法-CN201910440162.X在审
发明人：李永亮;张翼鹏;刘泓鑫;王驰 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：该系统包括依次排列的激光产生组件、光束整形组件和干涉组件，其中：激光产生组件用于产生多路相干的平行光束；光束整形组件包括依次排列的扩束准直单元和光束整形单元，扩束准直单元用于对多路相干的平行光束进行准直，光束整形单元用于对进行准直后的光束进行能量均匀化处理；干涉组件包括偏振态调制单元，该偏振态调制单元用于微量调整经能量均匀化处理之后光束之间的夹角和光束的偏振态，获得相交于一点的干涉光。利用本发明提供的系统和方法，能够较容易地获得光强分布均匀、对比度更明显的多光束干涉条纹。
多路偏振态激光干涉光刻系统光束整形单元光束整形组件均匀化处理偏振态调制干涉组件激光产生平行光束依次排列准直单元相干扩束同向光强分布均匀多光束干涉微量调整干涉光条纹准直相交

[发明专利]零级衍射可调的激光投影装置-CN201710788366.3有效
发明人：邓想全 -专利权人：深圳奥比中光科技有限公司
申请日： 2017-09-01 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种零级衍射可调的激光投影装置，包括：光源，向外发射光束；基底，用于固定所述光源；准直单元，汇聚所述光源发射的光束，并向外投射平行光束；衍射光学元件，接收及扩束所述平行光束，并向外投射图案化光束，所述图案化光束包括零级衍射光束和高阶衍射光束；可调零级抑制单元，用于接收并衰减所述零级衍生光束，并向外投射出强度可调的零级衍射光束。
衍射可调激光投影装置

[实用新型]一种同向偏振态的多路激光干涉光刻系统-CN201920759328.X有效
发明人：李永亮;张翼鹏;刘泓鑫;王驰 -专利权人：长春理工大学
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： B23K26/352 文献下载
摘要：该系统包括依次排列的激光产生组件、光束整形组件和干涉组件，其中：激光产生组件用于产生多路相干的平行光束；光束整形组件包括依次排列的扩束准直单元和光束整形单元，扩束准直单元用于对多路相干的平行光束进行准直，光束整形单元用于对进行准直后的光束进行能量均匀化处理；干涉组件包括偏振态调制单元，该偏振态调制单元用于微量调整经能量均匀化处理之后光束之间的夹角和光束的偏振态，获得相交于一点的干涉光。利用本实用新型提供的系统，能够较容易地获得光强分布均匀、对比度更明显的多光束干涉条纹。
一种同向偏振激光干涉光刻系统

[发明专利]一种激光光幕投影扫描方法及装置-CN201610239654.9在审
发明人：杜先鹏;谢创 -专利权人：青岛小优智能科技有限公司
申请日： 2016-04-18 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： G02B26/10 文献下载
摘要：其特征是将激光器产生散射激光光束，通过准直透镜整形后形成平行光束，由扫描振镜的反射镜反射成为比较窄的扫描光束，这些扫描光束通过曲面透镜被发散成宽的扫描光束，同时遮挡窗调整出射角度和形状进一步控制扫描光束本发明由于采用平行光束通过扫描振镜后再经过透镜将光束发散，同时解决了扫描模组光束均匀性和平行性两大能难题。相比一般投影系统有更小的体积和更低的功耗。
一种激光投影扫描方法装置

[发明专利]汽车发光组件、控制面板及汽车-CN202010441729.8在审
发明人：胡斌;顾丹;赵磊;金龚明;陈明敏;卢梦奇 -专利权人：华域视觉科技（上海）有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种汽车发光组件，包括：光源，用于发出初始光束；分光结构，用于接收初始光束，并将初始光束分散为平行光束；导光结构，导光结构包括出光面，用于引导平行光束从出光面射出。
汽车发光组件控制面板

[实用新型]一种用于金相显微镜暗场观察的照明系统-CN201320273674.X有效
发明人：张宁博;李晞;姚晨 -专利权人：南京江南永新光学有限公司
申请日： 2013-05-16 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： G02B21/10 文献下载
摘要：其优点是采用柯勒照明中心光束作为暗场照明光束，可极大限度的利用光源能量；采用小透镜组将汇聚光束转换为平行光束，使平行光束得到更好的校正，同时因小透镜组更靠近45度环形反光镜，更容易作为一体，便于明暗场的转换
一种用于金相显微镜暗场观察照明系统

[实用新型]汽车发光组件、控制面板及汽车-CN202020885243.9有效
发明人：胡斌;顾丹;赵磊;金龚明;陈明敏;卢梦奇 -专利权人：华域视觉科技（上海）有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： F21S8/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种汽车发光组件，包括：光源，用于发出初始光束；分光结构，用于接收初始光束，并将初始光束分散为平行光束；导光结构，导光结构包括出光面，用于引导平行光束从出光面射出。
汽车发光组件控制面板

[发明专利]一种用于光刻设备的对准装置和对准方法-CN201110204005.2有效
发明人：杜聚有;朱婧怡;徐荣伟 -专利权人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
申请日： 2011-07-20 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：一种对准装置，包括光源、传输光纤、整形透镜组、积分器、扩束透镜组、对准光纤、光电探测器以及信号处理系统；从光源发出的光经过传输光纤、整形透镜组，转变为平行光束，平行光束经过积分器，转变为能量平均分布的光束，扩束透镜组将光束直径改变为与对准光纤芯径相当，将光束耦合到对准光纤中，从对准光纤出射的光束照射在对准标记上，从对准标记出射的光经过光电探测器将光信号转换为电信号，经过信号处理系统计算得到对准标记的位置信息
一种用于光刻设备对准装置方法

[实用新型]一种SLM双光斑成形装置-CN201922392434.1有效
发明人：杨东辉;李洋;薛蕾 -专利权人：西安铂力特增材技术股份有限公司
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种SLM双光斑成形装置，包括依次设置的激光器a、半透镜和准直扩束镜，半透镜上方安装有激光器b，激光器a发出的光束a和激光器b发出的光束b通过半透镜透射到准直扩束镜，准直扩束镜将光束a和光束b合束为平行光束，平行光束依次通过振镜、静态聚焦镜到达金属粉末，金属粉末位于成形平面；本实用新型还公开了另一种SLM双光斑成形装置；解决了现有的SLM设备加工零件时，热效应高，零件易开裂、变形的问题。
一种 slm 光斑成形装置

[发明专利]一种大口径便携式光轴平行性校准方法-CN201811499210.4有效
发明人：孔小辉;张进;肖均强 -专利权人：中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所
申请日： 2018-12-08 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明提出一种大口径便携式光轴平行性校准方法，通过两组夹角相同的反射镜沿出射光路放置不同的位置，产生不同距离的平行光束，且不需要导轨和精密的光学元件，产生的光束平行度由两组反射镜夹角一致性保证，反射镜夹角可通过自准直仪严格校准本发明实现了设备便携、精度高的要求，更重要的是突破了平行光束口径限制，可产生几米到几十米距离内的相互平行的光束，为大口径和远距离传感器光轴校准提供了解决方案。
一种口径便携式光轴平行校准方法

[实用新型]红外分光光度计-CN201721309755.5有效
发明人：黄武进 -专利权人：福建创投环境检测有限公司
申请日： 2017-10-12 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： G01N21/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了红外分光光度计，包括依次排列的BAR条、聚焦透镜组、波导片、以及校直透镜组；所述BAR条用于提供平行光束；所述聚焦透镜组用于对所述平行光束进行聚焦；所述波导片位于所述聚焦透镜组聚焦的位置，并且用于对光束进行匀化后输出上下分层的上光束和下光束；所述校直透镜组包括上下分布的上校直透镜和下校直透镜，所述上校直透镜和所述下校直透镜分别位于所述上光束和所述下光束的传输路径上，并且分别对所述上光束和所述下光束进行校直
透镜校直红外分光光度计聚焦透镜组本实用新型平行光束透镜组波导聚焦传输路径上下分布上下分层依次排列分光匀化激光输出

[实用新型]具有光束监测单元的投影模组-CN201721650020.9有效
发明人：黄杰凡;王兆民;邓想全 -专利权人：深圳奥比中光科技有限公司
申请日： 2017-11-30 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种具有光束监测单元的投影模组，包括：底座，用于安装光源以及承载镜筒，其中所述光源用于发射光束，所述镜筒设置有凹槽和监测窗；透镜系统，安装在镜筒内，用于汇聚、准直所述光源发射的光束，投射平行光束；衍射光学元件，安装在镜筒的上方，用于接收、分束所述平行光束，以投射图案化光束。光束监测单元，安装在所述镜筒开设的监测窗处，靠近所述衍射光学元件的监测端面，用于接收从所述衍射光学元件监测端面出射的反射光束和/或衍射光束，以判断衍射光学元件的完整性及通过相关控制电路改变所述光源的发光状态
镜筒衍射光学元件监测单元投影模组光源本实用新型平行光束监测窗发光状态发射光束反射光束光源发射激光安全控制电路投射图案透镜系统衍射光束监测投射出射底座分束准直承载汇聚

[实用新型]铭牌装置-CN201120051496.7无效
发明人：朱衍君;易祖冲 -专利权人：深圳创维数字技术股份有限公司
申请日： 2011-03-01 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G09F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铭牌装置，包括平行光束转换部件、定位架以及扩散部件；所述平行光束转换部件包括一个散射光接收面和一个平行光发射面，所述定位架主体结构为两端贯通结构，所述贯通结构包括第一开口和第二开口，所述平行光束转换部件安装在所述贯通结构里面，使所述散射光接收面与所述贯通结构的第一开口相对，所述平行光发射面与所述贯通结构的第二开口相对；所述扩散部件安装于所述贯通结构的第二开口处，所述扩散部件可透光。
铭牌装置

[发明专利]投影显示系统-CN200410082036.5有效
发明人：廖洽成;康尹豪;郑竹明 -专利权人：扬明光学股份有限公司
申请日： 2004-12-17 - 公布日： 2006-06-21 - 主分类号： G02B27/10 文献下载
摘要：一种投影显示系统，包括：一照明装置、一反射式光阀、一设置于该照明装置与该反射式光阀之间的棱镜组，及一准直装置，是设于该棱镜组与该反射式光阀间，可将入射于该棱镜组的非平行光束转换为平行光束；该光束是入射该棱镜组，透过棱镜组的光束选择面反射后穿过该准直装置，再入射于该反射式光阀上，经该反射式光阀处理后产生该调变光束，最后，该调变光束穿过该准直装置及该光束选择面而投射至一投影镜头内。
投影显示系统

[发明专利]改进的顺序扫描的波阵面测量和视网膜地形图测量-CN02824953.4有效
发明人：波兰德·汉斯－约阿希姆 -专利权人：医疗技术开发技术创新有限公司
申请日： 2002-12-13 - 公布日： 2005-04-06 - 主分类号： A61B3/00 文献下载
摘要：一种用于测量波阵面像差的改进的顺序扫描方法和设备，涉及相对于平行光束有角度地偏移一测量光束，该测量光束在所期望位置射到角膜表面上，并使用有角度地偏移的光束和参考光束之间的检测器上的图像的偏移量，与常规用于这种波阵面像差测量的通过平行光束和参考光束之间的偏移量所提供的波阵面测量相比
改进顺序扫描波阵面测量视网膜地形图