“分子激光器”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果9171098个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路-CN202011617779.3有效
发明人：游利兵;方晓东;王宏伟;杨礼昭 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01S3/097 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器产生等离子体的电路。包括用于触发准分子激光器的装置和用于驱动准分子激光器的脉冲电路；用于触发准分子激光器的装置包括信号采集模块和电信号处理模块；用于驱动准分子激光器的脉冲电路包括触发脉冲电路，触发脉冲电路包括用于给气体激光器的触发端供电的第一供电单元因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步。因此，本发明在晶体管和第十电容的相互配合作用下，能够产生快前沿低抖动的高压脉冲信号给准分子激光器，以保证准分子激光器的工作性能。
一种用于触发准分子激光产生等离子体电路

[发明专利]一种用于触发准分子激光器的装置-CN202011611089.7有效
发明人：游利兵;胡泽雄;方晓东;陶汝华 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01S3/09 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光器领域，具体是涉及一种用于触发准分子激光器的装置。该装置包括如下组成部分：信号采集模块，用于采集向气体激光器发送种子光的光束激光器的触发信号；电信号处理模块，用于接收和处理信号采集模块采集的光束激光器的触发信号，并将处理之后的触发信号输入至气体激光器的使能端，以使种子光到达气体激光器的时间与气体激光器放电时间同步；所述气体激光器的放电时间受气体激光器的使能端控制。因此，本发明能够保证种子光到达准分子激光器的时间与准分子激光器放电同步，以此使得准分子激光器可以作为激光放大器使用。
一种用于触发准分子激光装置

[实用新型]一种准分子激光器位置调节机构-CN202321433382.8有效
发明人：白雅苏拉 -专利权人：北京精亦光电科技有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本申请涉及一种准分子激光器位置调节机构，属于准分子激光器技术领域。包括:准分子激光器，该准分子激光器包括机架，机架内设有准分子激光腔室；位置调节机构，该位置调节机构设有两组，两组位置调节机构分别固定在准分子激光器底部的两端；位置调节机构包括驱动准分子激光器沿水平方向移动的水平调节器，以及驱动准分子激光器沿竖直方向移动的竖向调节器。本申请的两组位置调节机构的水平调节器和竖向调节器分别通过水平方向运动和竖直方向运动实现准分子激光器四个自由度方向运动。本申请解决了大质量准分子激光器的装配调节和光路对准问题，位置调节机构通过单人手动或自动即可使大质量准分子激光器与光路系统精确对准。
一种准分子激光位置调节机构

[发明专利]准分子激光器的能量控制方法、装置、计算机设备及介质-CN202110838032.9在审
发明人：韩晓泉;吴晓斌;孙泽旭;王魁波;罗艳;沙鹏飞;谢婉露;李慧;马赫 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： H01S3/102 文献下载
摘要：本发明公开了准分子激光器的能量控制方法、装置、计算机设备及介质，该方法包括：获取准分子激光器在第一设定时间段内的第一输出能量数据和第二设定时间段内的第二输出能量数据，构建第二输出能量数据与第一输出能量数据之间的非线性关系，通过非线性关系和准分子激光器当前输出能量数据预测出准分子激光器后续输出能量数据，根据预测出的准分子激光器后续输出能量数据对准分子激光器工作电压进行调节。基于对准分子激光器后续输出能量的预测，本发明能够对准分子激光器的工作电压进行有效控制，以显著提高准分子激光器能量输出稳定性的控制精度，提高准分子激光器能量稳定性和剂量稳定性，为用于半导体器件加工的光刻工艺提供稳定的光源
准分子激光能量控制方法装置计算机设备介质

[发明专利]一种激光器种子源系统及制备方法-CN201711019205.4在审
发明人：闫培光;陈浩 -专利权人：深圳市浩铼科技有限责任公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本发明提供一种激光器种子源系统及制备方法，涉及激光技术领域。系统包括高分子柔性外壳和激光器种子源，高分子柔性外壳包裹激光器种子源，并保留激光器种子源的输入光纤和输出光纤在高分子柔性外壳的外部。采用高分子柔性材料的外壳包裹激光器种子源，不仅可以隔离外部环境，避免外部环境对激光器的影响，还可以达到抗震的目的，进而提高了激光器的使用寿命。此外，该激光器结构简单，体积较小，方便使用，可以扩大应用范围。
一种激光器种子系统制备方法

[实用新型]一种激光器种子源系统-CN201721399253.6有效
发明人：闫培光;陈浩 -专利权人：深圳市浩铼科技有限责任公司
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：本实用新型提供一种激光器种子源系统，涉及激光技术领域。系统包括：高分子柔性外壳和激光器种子源，高分子柔性外壳包裹激光器种子源，并保留激光器种子源的输入光纤和输出光纤在高分子柔性外壳的外部。采用高分子柔性材料的外壳包裹激光器种子源，不仅可以隔离外部环境，避免外部环境对激光器的影响，还可以达到抗震的目的，进而提高了激光器的使用寿命。此外，该激光器结构简单，体积较小，方便使用，可以扩大应用范围。
激光器种子高分子柔性外部环境外壳包裹激光器源系统高分子柔性材料激光技术领域本实用新型激光器结构使用寿命输出光纤输入光纤抗震隔离保留外部应用

[发明专利]一种准分子激光器腔体光路的准直调谐方法-CN201010300508.5无效
发明人：连贵君 -专利权人：北京大学
申请日： 2010-01-21 - 公布日： 2010-08-04 - 主分类号： H01S3/105 文献下载
摘要：本发明提供了一种调谐准分子激光器腔体光路准直的方法，属于准分子激光器设备技术领域。该方法采用一带有光源和十字图形的调光靶，将调光靶置于准分子激光器的前反射镜一端，分别调整准分子激光器腔体前、后两个反射镜位置，使所述调光靶的十字图形在腔体前、后两个反射镜的成像相互重合及其衍射像对称，从而实现准分子激光器腔体光路准直本发明操作简单，不需要占用准分子激光器空间，且调谐后的激光器腔体光路可达到最高能量值，不必再用能量标准进行调整。
一种准分子激光器腔体光路调谐方法

[发明专利]一种准分子激光器电极结构及准分子激光器-CN201811439648.3在审
发明人：沙鹏飞;杨军红;熊光亮;祝桂鹏;陈刚;李祖友;贺跃坡;刘海东;李一鸣;刘斌;冯泽斌;韩晓泉 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01S3/038 文献下载
摘要：本发明提供的准分子激光器电极结构及准分子激光器，可以通过阳极高度的精确调节来抵消激光器长期工作后因阳极消耗而导致放电间距增大的问题，从而保证放电区间不产生改变。支持受损阳极的反复维修，在保证激光器输出性能一致的前提下，大大提高的阳极的使用寿命，节约了激光器的运行成本，并且阳极高度是可调的，因此可以精确控制电极间距，可以适用于不同注入能量的电源，通过调整阳极的高度，获得不同的放电体积，使激光器工作在准分子激光器最佳注入功率密度的条件下，从而获得更高效率的激光输出。同样，本发明可以用于研究准分子激光器的最佳功率密度，以及确认准分子激光器最佳电极间距的研究。
准分子激光器阳极激光器电极结构放电放电区间间距增大控制电极使用寿命输出性能阳极消耗运行成本注入能量最佳功率高效率可调的电极抵消电源激光保证受损输出节约维修研究

[发明专利]一种种子注入式ArF准分子激光装置-CN200910089797.6无效
发明人：许祖彦;薄勇;彭钦军;王志敏;许家林;高宏伟 -专利权人：中国科学院理化技术研究所
申请日： 2009-07-24 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： H01S3/225 文献下载
摘要：本发明提供一种种子注入式ArF准分子激光装置，包括全固态种子激光器，ArF准分子激光器，所述全固态种子激光器包括全固态激光器、非线性光学晶体变频器和KBe2BO3F2晶体倍频器，所述全固态激光器用于产生基频激光，所述非线性光学晶体变频器用于接收所述基频激光将其变频至波长为386.8nm，所述KBe2BO3F2晶体倍频器用于接收所述386.8nm的激光并将其倍频成为波长193.4nm的种子激光，所述全固态种子激光器将所述种子激光注入到所述ArF准分子激光器中；所述ArF准分子激光器接收并放大所述种子激光。根据本发明的种子注入式ArF准分子激光装置结构简单，更易于实用化、工程化，并且能够同时实现高功率、高光束质量与窄线宽的193.4nm激光输出。
一种种子注入 arf 准分子激光装置

[发明专利]一种准分子激光器能量模型辨识方法及装置-CN202110224539.5在审
发明人：冯泽斌;梁赛;徐向宇;江锐;刘广义;刘斌;曹沛 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种准分子激光器能量模型辨识方法及装置。该方法包括如下步骤：建立用于准分子激光器能量模型辨识的门控循环网络；在多个预设时间内，以单个激光脉冲方式设置能量采集条件，采集用于准分子激光器能量模型辨识的训练数据集；采用训练数据集对已建立的门控循环网络进行训练，达到终止训练条件时，结束训练并得到准分子激光器能量模型。利用本发明所提供的方法，所辨识的准分子激光器能量模型产生的脉冲能量与实际脉冲能量的最大误差小于1.5％，可以满足准分子激光器能量特性控制的仿真需求。
一种准分子激光能量模型辨识方法装置

[发明专利]一种气体介质中分子扩散系数的测量装置及方法-CN201410171719.1有效
发明人：张振荣;李国华;叶景峰;胡志云;邵珺;刘晶儒;叶锡生 -专利权人：西北核技术研究所
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： G01N13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体介质中分子扩散系数的测量装置和方法，包括标记激光器、显示激光器、ICCD相机和延迟发生器；标记激光器的输出激光经整形为标记线状激光束，显示激光器的输出光束经整形为片状显示激光束，标记线状激光束处于片状显示激光束的所在的平面内，片状显示激光束处于待测气体介质中，ICCD相机正对片状显示激光束成像；延迟发生器的三路延时输出端分别接标记激光器、显示激光器和ICCD相机。本发明建立了一种新的分子扩散过程观测方法，这种观测方法能够实现非稳态条件下分子扩散过程的精确测量，可用来观测现有技术无法观测的部分分子的扩散过程，进而测量得到气体分子的扩散系数。
一种气体介质分子扩散系数测量装置方法

[发明专利]一种用于延长准分子激光器激光工作气体寿命的气体管理方法-CN201410608396.8有效
发明人：李斌成;王强;韩艳玲 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2014-11-02 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明提供一种用于延长准分子激光器激光工作气体寿命的气体管理方法，准分子激光器工作期间由于激光腔内卤素气体含量的减少和杂质含量的增加，激光器输出脉冲能量不断下降。通过激光腔内部分置换激光工作气体方式，可以有效补充激光腔内消耗的卤素气体，同时阻止杂质的积累。气体管理方法通过分析部分换气前后激光腔内卤素气体含量及杂质含量的变化，控制部分换气剂量和卤素气体注入剂量，使得每次部分换气后激光腔内卤素气体含量和杂质含量保持不变，维持恒脉冲能量输出模式下工作的准分子激光器在一定工作电压变化范围内或者恒工作电压模式下工作的准分子激光器在一定脉冲能量变化范围内长时间不间断工作本发明能够有效延长准分子激光器工作气体寿命，提高准分子激光器工作效率。
一种用于延长准分子激光激光工作气体寿命管理方法

[实用新型]一种准分子激光器虚焦点定位装置-CN202222177300.X有效
发明人：苏国兵;魏晓马 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01S3/101 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种准分子激光器虚焦点定位装置，该装置包括：沿准分子激光器发射的激光的传输方向依次包括衰减组件、聚焦透镜和接收器，所述准分子激光器发出的激光分别经衰减组件的衰减和所述聚焦透镜的成像后被所述接收器捕获，所述接收器沿着所述激光光轴方向靠近或远离所述聚焦透镜，以根据接收器的成像参数确定所述准分子激光器的虚焦点位置。本实用新型的装置，能够在氮气环境下精确地对激光器的虚焦点位置进行定位。
一种准分子激光焦点定位装置

[发明专利]一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法-CN201110132526.1有效
发明人：李斌成;王强;谢拉堂;余逸芳;文代彬 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2011-05-20 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：一种用于准分子激光器气体管理的装置及方法，所述装置包括准分子激光器、监测和控制模块、用于控制激光工作气体流向的可控电磁阀门、用于配比不同浓度激光工作气体的注气罐、用于排放激光工作气体的卤素气体处理装置和真空泵、用于监测激光工作气体压强的压力传感器。所述方法通过监测准分子激光器工作参数，如工作电压、脉冲能量、谱线线宽、波长，根据实验测得的准分子激光器工作参数与激光工作气体浓度的定量关系，估算激光工作气体的消耗量，采用压力监测和信号反馈的方法，控制激光腔内激光工作气体压强的变化以及可控电磁阀门的开启和关闭，完成向激光腔内注入精确量值的激光工作气体。本发明能够提高准分子激光器输出激光脉冲的稳定性，有效延长激光工作气体寿命，减少激光器换气次数。
一种用于准分子激光气体管理装置方法

[发明专利]准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置-CN202010610489.X在审
发明人：王香;冯泽斌;张华;张琴;廖密;牟迪;江锐;黄立杰;马天龙 -专利权人：北京科益虹源光电技术有限公司
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： G06F11/30 文献下载
摘要：本发明涉及准分子激光器领域，具体涉及一种准分子激光器环境监测和报警的控制方法及装置。该方法及装置首先对准分子激光器参数进行初始化，并对准分子激光器的配置表以及错误码表进行检查，确保配置表以及错误码表存在以及正确；启动两个线程分别对准分子激光器参数进行采集和监控，包括参数采集线程和参数监控线程；参数采集线程负责间隔固定时间从底层采集准分子激光器的参数，参数监控线程负责在准分子激光器运行的不同时刻，检查每一个参数是否都在特定工作范围之内；若出现有任一参数不在特定工作范围之内的情况，则进行报警输出
准分子激光环境监测报警控制方法装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条