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- [发明专利]物料称重方法及装置-CN201310027145.6在审
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张轶淳
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北京马克西姆网络科技有限公司
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2013-01-24
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2013-05-22
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G01G19/22
- 本发明公开了一种物料称重方法及装置,其中物料称重方法,基于物料称重装置会预先存储目标产品的配方,配方包括生产目标产品的全部物料及每种物料的单份标定重量,上述方法包括以下步骤:物料称重装置接收配料人员输入的目标产品并获取目标产品的配方作为目标配方;物料称重装置接收配料人员在目标配方中选定的物料作为需称重物料,或者,自动选择目标配方中的物料作为需称重物料;物料称重装置对需称重物料进行称重;对需称重物料进行称重具体包括:获取目标配方中需称重物料的单份标定重量a;获取需称重物料当前已经投放的重量b;计算b/an的百分比c并显示,其中n为目标产品的份数。
- 物料称重方法装置
- [发明专利]热处理方法及热处理装置-CN201911043743.6在审
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池田真一
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株式会社斯库林集团
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2019-10-30
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2020-05-12
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H01L21/67
- 本发明提供一种能够一边将产品晶圆的处理效率的降低抑制为最小限度一边执行虚设处理的热处理方法及热处理装置。在本发明中,在适当的时点制作规定对产品晶圆的热处理的处理顺序及处理条件的产品制程配方。另外,也制作规定对虚设晶圆的热处理的处理顺序及处理条件的虚设制程配方。将产品制程配方与对应的虚设制程配方建立关联而存储。控制部接收到意在产品晶圆到达热处理装置的事前预告信号时,开始对虚设晶圆的虚设处理。虚设晶圆收容于始终设置在专用负载埠上的虚设载具。虚设处理根据与和预计到达的产品晶圆对应的产品制程配方建立关联的虚设制程配方而执行。
- 热处理方法装置
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