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- [发明专利]键合两个衬底的方法-CN200780051154.1有效
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塞巴斯蒂安·凯尔迪勒;维利·米歇尔;沃尔特·施瓦岑贝格;达尼埃尔·德尔普拉;纳迪娅·本默罕默德
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硅绝缘体技术有限公司
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2007-11-23
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2009-12-09
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H01L21/20
- 本发明提供了一种将两个衬底键合在一起的方法，在键合期间所述衬底的表面彼此接触，该方法包括至少一个清洁步骤，该清洁步骤在使得要键合的两个衬底或者其中一个衬底的表面彼此接触之前清洁所述表面，其特征在于，以使得所清洁的各个表面未被显著地粗糙化的方式执行所述清洁步骤，并且其中，在所述键合之前还对所述要键合的至少一个衬底进行加热，所述加热是在这些衬底的表面彼此接触之前开始的，并且所述加热至少持续到这些表面已经彼此接触为止。本发明还涉及一种形成包括半导体材料薄层的结构的方法，该半导体材料薄层是从供体衬底被转移到第二衬底的，该方法包括以下步骤：将两种原子物质共同注入到所述供体衬底中，以生成限定了要转移的薄层的削弱区域；将这些衬底键合在一起，该方法的特征在于，以使得所述两种原子物质的峰值在所述供体衬底的厚度中具有小于200的偏移的方式，注入所述两种原子物质；并且其中，根据前述方法执行所述键合。
- 两个衬底方法
- [发明专利]用于对准两个衬底的设备-CN201080042282.1有效
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D·菲古拉
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EV集团E·索尔纳有限责任公司
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2010-08-26
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2012-07-18
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H01L21/00
- 用于使可以接纳在第一平台（10）上的第一衬底（1）的第一接触面（1k）与可以接纳在第二平台（20）上的第二衬底（2）的第二接触面（2k）对准的设备和方法，具有以下特征：可以通过第一检测装置（7,7’）在与第一衬底（1）的移动无关的第一X-Y坐标系中的第一平面（5）中检测沿着第一接触面（1k）布置的第一对准键（3.1至3.n）的第一X-Y位置，可以通过第二检测装置（8,8’）在与第二衬底（2）的移动无关的第二X-Y坐标系中的与第一X-Y平面（5）平行的第二X-Y平面（6）中检测沿着第二接触面（2k）布置的与第一对准键（3.1至3.n）对应的第二对准键（4.1至4.n）的第二X-Y位置，可以基于第一X-Y位置在第一对准位置对准第一接触面（1k）并且可以基于第二X-Y位置在第二对准位置对准第二接触面（2k）。
- 用于对准两个衬底设备
- [发明专利]两个固定波束发射分集-CN02823775.7有效
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B·哈格尔曼;B·G·约汉尼松
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艾利森电话股份有限公司
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2002-11-01
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2005-03-16
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H01Q1/24
- 当在两个同步波束上辐射信息时，本发明用于维持小区覆盖图控制所利用的主要特性就是对两个波束使用正交极化状态。这两种正交极化状态可以例如构成分别倾斜了+45°和－45°的线性极化。全部小区覆盖区域通过两个固定窄波束的覆盖来匹配。广播信号发射被划分成两个信号流/路径，其中一个对应两个固定窄波束的每一个(在两个并行信号流/路径之间不存在任何相干性要求)。这两个广播信号流/路径被利用组合器单元与在两个分支每一个上的、专用组合信号组合起来，所述专用组合信号来自所有固定窄波束选定的用户。到两个天线的、具有正交极化的信号然后被发射。
- 两个固定波束发射分集
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