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[发明专利]靶材的制造方法-CN201610854357.5有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;仝连海 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-09-27 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材的制造方法，包括：提供高纯铝原料和高纯铜原料；对所述高纯铝原料进行第一表面清理工艺；对所述高纯铜原料进行第二表面清理工艺；对完成所述第一表面清理工艺的高纯铝原料以及完成所述第二表面清理工艺的高纯铜原料进行加热熔化工艺；形成高纯铝铜合金。本发明在对高纯铝原料和高纯铜原料进行加热熔化之前，先对高纯铝原料进行第一表面清理工艺、对高纯铜原料进行第二表面清理工艺，因此可以减少杂质的引入，从而可以减少所形成高纯铝铜合金中的杂质含量，使所述高纯铝铜合金可以满足半导体用靶材的材料质量要求
制造方法

[发明专利]一种高纯铝硅合金溅射靶材坯料及其制备方法-CN201811484894.0在审
发明人：徐亚军;马小红;努力古·依明;张博;刘江滨 -专利权人：新疆众和股份有限公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明为一种高纯铝硅合金溅射靶材坯料及其制备方法。一种高纯铝硅合金溅射靶材坯料的制备方法，包括：(1)将超纯铝与高纯硅真空熔融，配置成硅含量为7‑13wt％的中间合金熔体；(2)将中间合金熔体铸造成中间合金；(3)将超纯铝与中间合金真空熔融，配置成硅含量为0.9‑1.1wt％的高纯铝硅合金熔体；(4)将高纯铝硅合金熔体在线精炼，得精炼后的高纯铝硅合金熔体；(5)将精炼后的高纯铝硅合金熔体在线过滤，得铝液；(6)将铝液进行棒材坯料铸造，得所述的高纯铝硅合金溅射靶材坯料本发明所述的一种高纯铝硅合金溅射靶材坯料及其制备方法，采用真空熔炼炉自配高纯铝硅中间合金后配制AL‑1wt％Si合金，通过铸造参数控制制备高纯净度、成分均匀且表面质量优异的铝硅合金靶材坯料。
高纯铝硅合金熔体溅射靶材中间合金坯料制备真空熔融超纯铝铝液精炼铸造真空熔炼炉靶材坯料棒材坯料参数控制高纯净度铝硅合金在线过滤在线精炼高纯硅配置合金配制

[实用新型]工业纯铝高纯铝复合板带-CN201220008111.3有效
发明人：杨建臣;党建平;梁慧强;潘学民 -专利权人：山西关铝股份有限公司
申请日： 2012-01-10 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： B32B15/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及复合板带，具体为一种工业纯铝高纯铝复合板带，解决了现有灯饰的工业纯铝板带由于提高反射率进而提高其内铝的含量造成成本大幅攀升且反射率提升有限的问题。工业纯铝高纯铝复合板带，包括工业纯铝层，工业纯铝层上、下表面的任一表面上固定有高纯铝层。本实用新型通过合理的改进不仅提高了工业纯铝高纯铝复合板带的强度，而且在成本较低的情况下大幅提升了其反射率，同时具有结构简单、易加工等优点。
工业高纯复合板

[发明专利]一种5N高纯硝酸铝的制备方法-CN201710338983.3在审
发明人：郝承志;孔祥风;于明爱 -专利权人：天津市风船化学试剂科技有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： C01F7/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种5N高纯硝酸铝的制备方法，其步骤为⑴金属铝预处理；⑵分解；⑶浓缩；⑷结晶；⑸分离结晶。本发明提供的5N高纯硝酸铝(99.999％)的制备方法采用5N高纯金属铝片与30％～35％高纯硝酸回流加热反应生成高纯硝酸铝，在反应过程中不添加汞及汞化合催化剂，避免汞污染，直接制备高纯的硝酸铝，省去硝酸铝反复重结晶提纯过程
一种高纯硝酸制备方法

[发明专利]一种高纯铝靶材组件的钎焊方法及高纯铝靶材组件-CN202010895263.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种高纯铝靶材组件的钎焊方法及高纯铝靶材组件，所述高纯铝靶材组件的钎焊方法通过在高纯铝靶材中设置凹槽，在背板上设置凸台，同时选用材质为C18150或C18000的背板，不仅能够保障背板与高纯铝靶材的焊接结合率，而且能够有效表面焊接过程中的变形情况，且焊接后的高纯铝靶材组件无漏水现象，应用前景优良。
一种高纯铝靶材组件钎焊方法

[发明专利]一种带有氧化铝涂层的高纯石墨工具及其制备方法和用途-CN202010421598.7在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;钟伟攀;罗明浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： C04B41/87 文献下载
摘要：本发明涉及一种带有氧化铝涂层的高纯石墨工具及其制备方法和用途，所述高纯石墨工具包括高纯石墨基体和氧化铝涂层，所述氧化铝涂层涂覆在所述高纯石墨基体的表面，所述高纯石墨基体的石墨纯度≥4N，其中所述氧化铝涂层采用喷涂方法进行制备，尤其适用于纯度≥5N的高纯铝的熔炼铸造。本发明所述高纯石墨工具中氧化铝涂层和高纯石墨基体的结合强度高，氧化铝涂层不易剥落，有效防止了高纯石墨基体和高纯铝液的接触，保证了高纯铝液的纯度始终在5N以上；此外，即使长时间使用导致高纯石墨基体和高纯铝液发生了接触，高纯石墨基体本身的杂质元素十分微量，进一步保证了高纯铝液的纯度。
一种带有氧化铝涂层高纯石墨工具及其制备方法用途

[发明专利]不污染高纯铝熔液的六铝酸钙基浇注料-CN201010141976.2无效
发明人：宋学斌;罗晨泽;张宝奎 -专利权人：常州瑞复达高温新材料有限公司
申请日： 2010-04-08 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： C04B35/66 文献下载
摘要：本发明公开了高纯铝精炼、熔解、保温过程中的一种虽然与高纯铝熔液接触但对高纯铝的成分不会构成污染的六铝酸钙基内衬浇注料，用于制备此浇注料的原料组成为：合成六铝酸钙材料、辅助材料、微粉、水泥和外加剂。此发明主要克服了现有不粘铝材料虽然对于通常的铝合金具有一定的抗铝侵蚀效果，但是对于铝液成分的影响和污染达不到高纯铝的高纯净要求，解决了在高纯铝精炼、熔解、保温过程中炉衬材料对高纯铝熔液的污染问题。
污染高纯铝熔液六铝酸钙基浇注

[发明专利]用工业硫酸铝和工业硫酸铵生产高纯硫酸铝铵的方法-CN201110431609.0有效
发明人：张滨;张军 -专利权人：淄博鑫美宇氧化铝有限公司
申请日： 2011-12-21 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： C01F7/76 文献下载
摘要：本发明涉及一种生产高纯硫酸铝铵的方法，具体涉及一种用工业硫酸铝和工业硫酸铵生产高纯硫酸铝铵的方法。本发明采用工业硫酸铝和工业硫酸铵生产高纯硫酸铝铵，在高纯硫酸铝铵溶液过滤时采用微孔钛过滤器，过滤后的高纯硫酸铝铵溶液纯度比用其他工艺过滤的有明显提高，另外，本发明对结晶工艺进行改造，缩短了生产时间，降低生产成本利用本发明的生产方法制备得到的高纯硫酸铝铵的纯度达到99.999％。
用工硫酸铝工业硫酸铵生产高纯方法

[发明专利]一种区分高纯铝与铝合金的方法-CN202010140460.X在审
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;钟伟攀;罗明浩 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明提供一种区分高纯铝与铝合金的方法，所述方法通过采用电导率仪对高纯铝和铝合金进行区分，无需测量高纯铝或铝合金中的铝含量，即可鉴别出高纯铝，较现有区分高纯铝和铝合金的光谱方法，制样简单，操作流程简便，
一种区分高纯铝合金方法

[发明专利]自催化一步合成高纯异丙醇铝的方法-CN201410631616.9有效
发明人：殷剑龙;范光磊 -专利权人：山东恒通晶体材料有限公司
申请日： 2014-11-12 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： C07C31/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种自催化一步合成高纯异丙醇铝的方法，采用高纯异丙醇铝作为催化剂自催化合成高纯异丙醇铝。使用高纯异丙醇铝作为催化剂，实现异丙醇铝合成过程的自催化，替代了HgCl₂、AlCl₃、I₂、CuCl₂等，不引进杂质元素，提高异丙醇铝的纯度，对后续利用异丙醇铝生产相关高纯材料，提供了可靠的原料保证。
催化一步合成高纯异丙醇方法

[发明专利]一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法-CN201910956260.9在审
发明人：马小红;徐亚军;乔晶;努力古·依明;张博;郭永强;刘江滨 -专利权人：新疆众和股份有限公司
申请日： 2019-10-10 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： C22C1/03 文献下载
摘要：本发明为一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法。一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法，包括：S10：将99.999‑99.9995％纯度的高纯铝与99.999％以上纯度的高纯铜进行真空熔融，得中间合金液：S20：将99.9995wt％以上纯度的高纯铝锭与所述的中间合金液进行熔炼800℃，完全熔融后，控制合金液温度到达730±5℃，静置保温15min；S30：进行炉内精炼；S40：进行在线精炼；S50：进行双极过滤；S60：进行φ120‑164mm棒材坯料铸造，得所述的溅射用高纯铝铜合金靶材坯料本发明所述的一种溅射用高纯铝铜合金靶材坯料的制备方法，该方法该使用超高纯铝原料及高纯铝铜中间合金，通过半连续铸造，制备出杂质元素含量低、组织均匀的高纯铝铜合金棒材。
高纯铝铜合金靶材坯料溅射制备中间合金熔炼高纯铝半连续铸造合金液温度棒材坯料超高纯铝高纯铝锭静置保温炉内精炼杂质元素在线精炼真空熔融高纯铜棒材熔融双极过滤铸造

[发明专利]一种生产高纯硫酸铝铵的方法-CN201711074265.6在审
发明人：罗丽斌 -专利权人：罗丽斌
申请日： 2017-11-05 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： C01F7/76 文献下载
摘要：本发明涉及一种生产高纯硫酸铝铵的方法，本发明采用工业硫酸铝和工业硫酸铵生产高纯硫酸铝铵，在高纯硫酸铝铵溶液过滤时采用微孔钛过滤器，过滤后的高纯硫酸铝铵溶液纯度比用其他工艺过滤的有明显提高，另外，本发明对结晶工艺进行改造利用本发明的生产方法制备得到的高纯硫酸铝铵的纯度达到99.999％。
高纯硫酸铝过滤铵溶液生产工业硫酸铝工业硫酸铵结晶工艺钛过滤器微孔制备改造

[发明专利]一种铝铜靶材及其焊接方法-CN201810632976.9在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-06-19 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：一种铝铜靶材的焊接方法，涉及溅射靶材领域，其先在铜合金背板上镀上钛膜或镍膜，通过钛膜或镍膜与高纯铝之间的良好扩散性能，来增加铜合金背板与高纯铝靶材之间的结合强度，实现了高纯铝靶材与铜合金背板在较低温度下的焊接该焊接方法操作简单方便，在避免高纯铝靶材的晶粒异常长大的同时，得到高结合强度的铝铜靶材。一种铝铜靶材，其采用上述铝铜靶材的焊接方法焊接得到，与现有的锡焊靶材相比，该铝铜靶材的高纯铝靶材与铜合金背板之间的结合强度高，并且耐高温，能够更好地应用于高温下的溅射作业。
靶材铝铜焊接高纯铝铜合金背板镍膜钛膜溅射靶材扩散性能晶粒耐高温溅射锡焊应用

[发明专利]一种多熔区区域熔炼生产高纯铝的方法-CN201510669414.8在审
发明人：李运杰 -专利权人：洛阳翔瑞高纯材料有限公司
申请日： 2015-10-15 - 公布日： 2016-03-23 - 主分类号： C22B21/00 文献下载
摘要：一种多熔区区域熔炼生产高纯铝的方法，其工艺流程为：首先将原料精铝熔化铸成待提纯精铝锭；将待提纯精铝锭放入石墨舟中并推入多熔区区域熔炼炉中，通入惰性气体，然后接通电源，在多个冷却水管及多个感应加热线圈的作用下进行多熔区区域熔炼，制取≥5N高纯铝；化验检测确定前述≥5N高纯铝的质量等级和需要锯切的位置；根据化验检测确定锯切位置，将≥5N高纯铝与高杂质铝锯切分离；将≥5N高纯铝加入高纯石墨坩埚中进行熔化后铸锭；将≥5N高纯铝锭封装后销售借由上述技术方案，本发明多熔区区域熔炼法采用多熔区，循环二～四遍就可实现成倍次数的区域熔炼提纯，从而极大提高生产效率，降低生产成本，促使高纯铝实现规模化生产。
一种区区熔炼生产高纯方法

[实用新型]一种高纯铝铸锭均热支架-CN202020795958.5有效
发明人：李金桥;朱金钢 -专利权人：乳源瑶族自治县东阳光高纯新材料有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C21D9/70 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高纯铝铸锭均热支架，包括第一侧支架、第二侧支架、位于所述第一侧支架与第二侧支架之间的底部支架和若干用于支撑高纯铝铸锭的不锈钢方管隔条；所述不锈钢方管隔条顶部覆盖有工业纯铝缓冲板，所述工业纯铝缓冲板顶部平整本实用新型的高纯铝铸锭均热支架用于高纯铝铸锭均热炉内支撑高纯铝铸锭，高纯铝铸锭经过均热处理后，表面压痕深度显著降低，有效避免刮痕，高纯铝铸锭的外观品质好，且支架上的隔条不易变形，可重复多次使用，有利于节约成本
一种高纯铸锭均热支架

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