专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]湿法刻蚀方法、装置、系统、计算机设备以及介质-CN202310065109.2有效
  • 涂程林;郝利兰 - 合肥新晶集成电路有限公司
  • 2023-02-06 - 2023-05-12 - H01L21/306
  • 本申请涉及一种湿法刻蚀方法、装置、系统、计算机设备以及介质,方法包括:获取当前批次的晶圆的片数,判断其是否等于批片数;若是:在存在另一批片数晶圆的情况下,则控制晶圆匹配模块将两批批片数晶圆匹配处理,使得其中一批批片数晶圆中任一个的刻蚀面与另一批片数晶圆中一片的刻蚀面相对且相邻设置;在不存在另一批片数晶圆的情况下,则控制控片匹配模块将批片数晶圆与批片数控片匹配处理;反之:则控制控片匹配模块将非批片数晶圆与批片数控片匹配处理上述湿法刻蚀方法能够改善刻蚀系统整体的刻蚀速率以及刻蚀均匀性,提高半导体产品的良并降低重工
  • 湿法刻蚀方法装置系统计算机设备以及介质
  • [实用新型]流管外置的喷淋式饱和器-CN201920888974.6有效
  • 杨中贵;杜浩;廖义文;黄飞平;韦宏来;陈优;唐炜 - 柳州钢铁股份有限公司
  • 2019-06-13 - 2020-04-03 - C01C1/24
  • 本实用新型公开了一种流管外置的喷淋式饱和器,包括内外相嵌的的内筒和外筒,所述内筒设有连接饱和器洗涤室流口的流管,所述外筒设有母液出口,所述母液出口连接有小母液泵,所述小母液泵连接所述饱和器洗涤室,所述的内筒底部与所述外筒的底部重合并设有连接所述内筒内部和所述外筒外部的开口,所述流管连接所述的内筒和外筒的底部重合的开口;所述母液出口设于所述的外筒的筒壁上,并与所述小母液泵相连本实用新型可以解决现有流管结构不合理,导致容易被母液腐蚀,而存在煤气泄漏风险的问题。
  • 流管外置喷淋饱和器满流槽

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