“预处理气体”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果4579771个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]用于利用羰基金属前驱体沉积金属层的方法-CN200580040101.0无效
发明人：铃木健二 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2005-10-03 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： C23C16/16 文献下载
摘要：该方法(300)包括在处理系统(1、100)的处理室(10、110)中提供衬底(25、125、400、402)，形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体，在处理室(10、110)中稀释处理气体，以及将衬底(25、125、400、402)暴露于经稀释的处理气体以通过热化学气相沉积工艺在衬底(25、125、400、402)上沉积金属层(440、460)。沉积系统(1、100)包含衬底夹持器(20、120)、前驱体传输系统(105)、稀释气体源(37、137)和控制器(165)，其中衬底夹持器(20、120)被配置用于在具有蒸汽分配系统(30、130)的处理室(10、110)中支撑并加热衬底(25、125、400、402)，前驱体传输系统(105)被配置用于形成包含羰基金属前驱体蒸汽和CO气体的处理气体并将处理气体引入蒸汽分配系统(30、130)，稀释气体源(37、137)被配置用于在处理室(10、110)中向处理气体添加稀释气体，控制器(165)被配置用于在将衬底(25、125、400、402)暴露于经稀释的处理气体以通过热化学气相沉积工艺在衬底(25、
用于利用羰基金属前驱沉积方法

[实用新型]一种油田废水处理设备-CN201320840676.2有效
发明人：陈阳波;翁欲晓;王显超;柯青松 -专利权人：武汉尚远环保股份有限公司
申请日： 2013-12-19 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： C02F9/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种油田废水处理设备，包括：与原水联通的预处理气浮装置、反应装置、循环装置、增压泵、分离主机；所述的预处理气浮装置包括曝气装置和接触容器，利用气体浮力进行上浮分离，并将分离出的油收集回收；
一种油田废水处理设备

[发明专利]基板处理装置、半导体装置的制造方法及程序-CN201980057746.7在审
发明人：竹田刚 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2019-03-11 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明提供一种技术，具有：处理室，其对基板进行处理；气体供给系统，其对处理室内供给处理气体；第一等离子体单元，其设置为卷绕在处理室的外周，并在处理室内生成处理气体的等离子体；以及第二等离子体单元，其设置为在处理室的上部向内部突出，并在处理室内生成处理气体的等离子体。
处理装置半导体制造方法程序

[发明专利]成膜装置和成膜方法-CN201310279578.0在审
发明人：加藤寿;三浦繁博 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-07-04 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：成膜装置在真空容器内利用旋转台使配置在该旋转台的一面侧的基板公转，多次重复依次供给相互不同的处理气体的循环来层叠反应产物的层而获得薄膜，其包括：第1处理气体供给部；第2处理气体供给部；分离区域；主加热机构，其隔着该旋转台从下方侧对基板进行加热；以及辅助加热机构，其由加热灯构成，用于向由上述主加热机构加热的基板照射基板的吸收波长区域的光而利用辐射热量将该基板直接加热到臭氧气体热分解的温度以上的处理温度，在装置的性能方面容许的旋转台的最高温度是比臭氧气体热分解的温度低的温度，在上述处理温度下，上述第1处理气体吸附于基板，所吸附的第1处理气体被第2处理气体氧化。
装置方法

[实用新型]一种废气处理系统-CN202220638459.4有效
发明人：尹向亚;胡天保 -专利权人：长兴化学（天津）有限公司
申请日： 2022-03-22 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B01D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及废气的处理技术领域，公开一种废气处理系统，包括罐体组件、冷却组件及废气炉，罐体组件能够产生待处理气体，冷却组件与罐体组件连通，温度低于‑18℃的冷却液和罐体组件产生的待处理气体能够分别进入冷却组件进行换热，降温后的待处理气体能够分离成液体和废气，液体能够返回罐体组件，废气炉与冷却组件连通，废气炉用于处理废气。本实施例提供的废气处理系统，冷却组件能够将待处理气体分离成液体和废气，分离出来的液体能够返回罐体组件进行再次利用，实现了原料的回收，减少了原料的浪费，增加了对待处理气体的处理速度，使得废气炉能够处理更多的废气，废气炉处理后的气体能够达到环保排放要求。
一种废气处理系统

[发明专利]旋风集尘装置及使用旋风集尘装置的集尘方法-CN202280013530.2在审
发明人：川岛知之;小林祥大;小泽典子 -专利权人：杰富意钢铁株式会社
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B04C3/00 文献下载
摘要：旋风集尘装置1从包含粉尘DT的被处理气体TG对粉尘DT进行集尘，前述旋风集尘装置具备：以横向为回旋轴使被处理气体TG回旋，将粉尘从被处理气体TG分离的粉尘分离部3；连结于粉尘分离部3的出口侧，对通过由粉尘分离部3引起的被处理气体TG的回旋而分离的粉尘DT进行回收的粉尘回收部4；和入口设置于粉尘回收部4内，对分离粉尘DT后的被处理气体TG进行回收的气体回收部5，从粉尘分离部3的出口至气体回收部5的入口的距离L与粉尘分离部
旋风集尘装置使用方法

[发明专利]基板处理用密闭型热处理装置及方法-CN202110887653.6在审
发明人：许埈诱 -专利权人：韩华株式会社
申请日： 2021-08-03 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明作为热处理装置，可以包括：热处理炉，用于对基板进行热处理；冷却器，用于对供应到热处理炉内部并排出的处理气体进行冷却；气体提纯器，用于对通过冷却器的处理气体进行提纯；以及，加热器，用于对通过气体提纯器的处理气体进行加热升温之后供应到上述热处理炉本发明的热处理方法，可以包括：净化步骤、提纯步骤、正常运行步骤以及急净化步骤。
处理密闭热处理装置方法

[发明专利]用于微重力环境的衣物处理装置及其气体处理系统-CN201510862533.5有效
发明人：章松发;刘少轩;周福昌;熊明 -专利权人：无锡小天鹅电器有限公司
申请日： 2015-11-30 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： D06F35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微重力环境的衣物处理装置及其气体处理系统，用于微重力环境的衣物处理装置的气体处理系统包括：有处理气进口和处理气出口，其特征在于，气体处理系统还包括：用于对气体进行冷凝的冷凝装置，处理气进口形成在冷凝装置上；用于对气体进行杀菌的杀菌装置，杀菌装置的进口与冷凝装置的出口连通；用于对气体进行加热的加热装置，加热装置的进口与杀菌装置的出口连通，处理气出口形成在加热装置上。根据本发明实施例的用于微重力环境的衣物处理装置的气体处理系统具有能够在微重力环境下对衣物进行干燥杀菌，节约航天器的空间和气体资源，降低航天飞行成本，提高航天飞行的可靠性等优点。
气体处理系统微重力环境衣物处理装置加热装置冷凝装置杀菌装置处理气进口航天飞行处理气出口连通杀菌气体资源冷凝航天器加热进口衣物节约

[发明专利]衬底处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质-CN201580082519.1有效
发明人：立野秀人;原大介;奥野正久;定田拓也;塚本刚史;田中昭典;角田彻;堀井贞义 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2015-09-30 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：提供衬底处理装置，具有：收容衬底的处理室；气化器，其具备将液体原料气化的气化容器、将液体原料导入气化容器内的液体原料导入部、将载气导入气化容器内的载气导入部、和加热液体原料的加热器；载气供给控制部，其被构成为控制载气的供给量；液体原料供给控制部，其被构成为控制向气化器供给的液体原料的供给量；处理气体供给管，其将从气化器送出的处理气体导入处理室内；及气体浓度传感器，其对从气化器被送出至处理气体供给管内的处理气体所包含的反应气体的气体浓度进行检测
衬底处理装置半导体器件制造方法记录介质

[发明专利]气体处理方法和气体处理装置-CN201380039113.6有效
发明人：神原信志;菱沼宣是;增井芽 -专利权人：优志旺电机株式会社;阿克特里股份有限公司
申请日： 2013-07-16 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B01D53/56 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以较高的脱硝率对温度远低于900℃的被处理气体中的一氧化氮进行还原处理的气体处理方法和气体处理装置。本发明的气体处理方法是对含有氮氧化物的被处理气体进行处理的气体处理方法，其特征在于，该气体处理方法具有向在所述被处理气体中混合氨而成的混合气体照射紫外线的工序，所述混合气体中的氨相对于一氧化氮的比率按摩尔比计为
气体处理方法装置

[发明专利]用于使基材干燥的方法、用于执行该方法的干燥器模块及干燥器系统-CN201880079295.2有效
发明人： B·格拉齐尔;M·蒂特曼;V·克拉夫特;L·范里韦尔 -专利权人：贺利氏特种光源有限公司
申请日： 2018-12-03 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B41F23/04 文献下载
摘要：用于使基材干燥的方法，包括以下步骤：(a)使用包括至少一个红外发射器的发射器单元向沿传送路径并在传送方向上移动穿过处理空间的基材发射红外辐射，(b)产生指向基材的处理气体的至少两个处理气体流，(c)通过红外辐射和处理气体在基材上的作用使基材干燥，并经由抽取导管从处理空间中抽取出含有水分的处理气体，从而形成从基材引出的废气流。根据本发明，该目的这样实现：在至少两个处理气体流作用于基材上之前将它们引导至红外发射器，并向指向基材的每个处理气体流在空间上分配从基材引出的废气流。
用于基材干燥方法执行干燥器模块系统

[发明专利]一种喷淋流化分离氮氧化物的设备及方法-CN201910529881.9在审
发明人：钟富优;曹丹青;陈永亮 -专利权人：众一阿美科福斯特惠勒工程有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷淋流化分离氮氧化物的设备及方法，该设备包括：壳体，侧边设有待处理气入口，含氮氧化物的待处理气体通过所述待处理气入口沿切向进入所述壳体内，底部设有吸收液喷口以及进气口，顶部设有气体出口，经净化后的气体从所述气体出口排出；吸收液罐，通过输送泵经所述吸收液喷口将强碱性吸收液自下而上地喷淋进入所述壳体内，以与待处理气体反应，纵向喷入的强碱性吸附液在重力影响下散开形成无数吸附液雾滴并落至壳体底部；风机，通过进气口将空气吹入壳体内，以将落下的吸附液雾滴向上吹起，形成循环，使吸附液雾滴密布壳体，吸附液雾滴被切向高速旋转所述待处理气体持续切割，使吸附液雾滴破碎重组，充分与待处理气体反应。
吸附液雾滴处理气体吸收液壳体喷淋进气口氮氧化物气体出口体内处理气强碱性流化喷口切向含氮氧化物吸收液罐重力影响散开输送泵风机侧边吹入落下排出喷入密布破碎切割净化

[发明专利]基板处理装置、半导体装置的制造方法以及程序-CN202080103019.2在审
发明人：稻田哲明;佐藤崇之 -专利权人：株式会社国际电气
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置，具备：处理容器，其构成处理室；第一气体供给系统，其具有将第一处理气体供给至处理室内的第一供给口；第二气体供给系统，其具有将组成与第一处理气体不同的第二处理气体供给至处理室内的第二供给口；等离子体生成部，其构成为沿着处理容器的外周设置，且由被供给高频电力的电极构成，并对供给至处理室内的第一处理气体及第二处理气体进行等离子体激发；以及基板保持台，其保持基板，第二供给口设置于供给管，并且设置于比第一供给口靠下方，该供给管设置为从处理室的顶面且比第一供给口靠处理容器的径向上的中央侧的位置向下方延伸。
处理装置半导体制造方法以及程序

[外观设计]生活垃圾预处理气化炉-CN202230299997.0有效
发明人：吴美玲;曾德选;刘刚;张震;张丽梅;郎小月;张虓;左洪川;张睿;娄亮 -专利权人：唐山冀东装备工程股份有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： 23-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：生活垃圾预处理气化炉。2.本外观设计产品的用途：用于生活垃圾预处理气化炉。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
生活垃圾预处理气化

[发明专利]含有含氟化合物的气体的处理方法及设备-CN200510080106.8无效
发明人：李秋煌;黄建良;卢敏彦;张美元 -专利权人：财团法人工业技术研究院;成泰科技股份有限公司
申请日： 2005-06-29 - 公布日： 2007-01-03 - 主分类号： B01D53/68 文献下载
摘要：本发明是关于含氟化合物的触媒分解处理技术，尤其有关半导体产业所产生的含全氟碳化物，氢氟碳化物，NF₃，或SF₆的废气的触媒分解处理技术。一种含有含氟化合物的气体的处理方法，包含下列步骤：a)于水气或水气及氧的存在下，将一含有含氟化合物的气体于300～800℃与触媒接触，使该含氟化合物被分解，而形成含有氟化氢的第一处理气体产物；b)将该第一处理气体产物与一固态吸附剂接触，使该第一处理气体产物中的氟化氢为该吸附剂所吸附，而形成一实质上不含有氟化氢的第二处理气体产物。由于第二处理气体产物不含有强腐蚀性氟化氢，于是本发明可使用一热交换器使其加热该含有含氟化合物的气体，而回收该第二处理气体产物的热。
含有氟化气体处理方法设备