“靶材防”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果1185345个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]防开裂的旋转靶材总成-CN202111061198.0在审
发明人：周昭宇;周志宏;肖世洪;雷雨;汪政军 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及旋转靶材加工领域，具体涉及一种防开裂的旋转靶材总成。本发明提供一种防开裂的旋转靶材总成，包括背管和至少两段旋转靶材管，这些旋转靶材管轴向排列，套在背管外侧，随背管一同绕背管轴线旋转，旋转靶材管内径大于背管外径，相邻的两段旋转靶材管间隔有足够距离。该防开裂的旋转靶材总成，其旋转靶材管不容易开裂，旋转靶材总成使用寿命长，且无需为绑定工序耗费更多的时间，生产效率高。
开裂旋转总成

[实用新型]防开裂的旋转靶材总成-CN202122201582.8有效
发明人：周昭宇;周志宏;肖世洪;雷雨;汪政军 -专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及旋转靶材加工领域，具体涉及一种防开裂的旋转靶材总成。本实用新型提供一种防开裂的旋转靶材总成，包括背管和至少两段旋转靶材管，这些旋转靶材管轴向排列，套在背管外侧，随背管一同绕背管轴线旋转，旋转靶材管内径大于背管外径，相邻的两段旋转靶材管间隔有足够距离。该防开裂的旋转靶材总成，其旋转靶材管不容易开裂，旋转靶材总成使用寿命长，且无需为绑定工序耗费更多的时间，生产效率高。
开裂旋转总成

[实用新型]一种具有防脱落结构的靶材组件-CN202022261548.5有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-12 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有防脱落结构的靶材组件，所述具有防脱落结构的靶材组件包括靶材与背板；所述靶材的上表面边缘为第一防脱落区；所述靶材的侧面分为第二防脱落区与第三防脱落区；所述背板的上表面设置有第四防脱落区；所述第四防脱落区内设置有至少1个闭合凹槽；所述第一防脱落区、第二防脱落区、第三防脱落区与第四防脱落区的表面分别独立地设置有防脱落结构；所述防脱落结构包括滚花结构和/或喷砂结构；所述第一防脱落区、第二防脱落区、第三防脱落区与第四防脱落区中至少有1个防脱落区的表面设置有滚花结构。本实用新型能够长期且有效地防止靶材组件在使用过程中反溅射物脱落，从而延长靶材的使用寿命。
一种具有脱落结构组件

[实用新型]一种防打火靶材组件-CN202022382898.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种防打火靶材组件，所述防打火靶材组件包括层叠设置的靶材与背板；所述靶材与背板的结合部位设置有喷砂区；所述喷砂区至背板的边缘依次设置有密封槽和排气槽；所述喷砂区、密封槽与排气槽呈并列排布本实用新型提供的防打火靶材组件避免了靶材组件在磁控溅射过程中的打火现象，提升了镀膜质量的同时不额外增加操作繁琐度。
一种打火组件

[发明专利]一种靶材组件及其加工方法-CN202011133498.0在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;徐蔓 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种靶材组件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：(1)结合靶材与背板，得到第一靶材组件；(2)机加工步骤(1)所得第一靶材组件，得到第二靶材组件；(3)对步骤(2)所得第二靶材组件的靶材与背板连接处进行防脱落处理，得到靶材组件；步骤(3)所述防脱落处理包括滚花、喷砂与熔射。本发明在传统靶材组件只有喷砂的基础上增加了滚花与熔射，进一步增大了靶材组件边缘的粗糙度，使反溅射的金属原子吸附在靶材边缘表面，长期且有效地解决了溅射过程中发生反溅射物脱落的风险。
一种组件及其加工方法

[实用新型]一种防变形靶材-CN202022374932.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-22 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种防变形靶材，所述防变形靶材的非溅射面上设置有水冷却槽；所述水冷却槽的底面平面度≤0.05mm；所述水冷却槽的底面粗糙度≤0.8μm；所述水冷却槽的中央设置有凸起；所述凸起的中央设置有螺纹凹槽本实用新型提供的防变形靶材在传统靶材的基础上改进了水冷却槽的尺寸设计，提升了水冷却槽的冷却效果，防止了靶材在使用过程中变形和漏水现象的发生，延长了靶材的使用寿命，减少了更换频率。
一种变形

[实用新型]用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置-CN202121823484.1有效
发明人：柯尚文;周传水;李隽;余永强 -专利权人：广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于ITO管状靶材清洗防碰撞装置，包括吊篮箱、防碰架，吊篮箱的底板上均匀分布列有进水孔；防碰架装入吊篮箱内，防碰架内均匀分布有固定管腔，固定管腔纵向贯穿过防碰架，固定管腔两端开口于防碰架的上顶面和下底面；固定管腔的内径大于管状靶材外径；使用时，将防碰架放入吊篮箱内，将待清洗ITO管状靶材插入防碰架的固定管腔中，用电动葫芦起重机将吊篮起吊转移进超声波清洗池中进行清洗；完成超声清洗后，靶材没有发生碰撞而崩角或开裂现象，靶材表面洁净。
用于 ito 管状清洗碰撞装置

[发明专利]一种镀制PVD防菌膜的方法-CN201610078676.1在审
发明人：黎剑文 -专利权人：东莞沙头朝日五金电子制品有限公司
申请日： 2016-02-04 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：一种镀制PVD防菌膜的方法，采用真空磁控溅射技术，并采用含纳米银的靶材，使纳米银均匀的分布在防菌膜上，能够起到全面防菌的目的，另外将纳米银裹在靶材中镀膜，靶材可以起到保护纳米银的作用，保护了纳米银，增加了防菌膜的耐磨性，可以长时间持续防菌。
一种 pvd 防菌膜方法

[实用新型]一种新型靶材固定装置-CN201922254086.1有效
发明人：吴伟亮;冯刚;邓永琪;汪毅;梁海洋 -专利权人：苏州星蓝纳米技术有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：为了解决现有的通过螺丝将靶材锁死在铜块上引起的靶材散热效果差的问题，本实用新型提出一种新型靶材固定装置，其特征在于：其包括：靶材固定装置主体1、防呆螺旋纹2和内圈凸起固定环3，其中，靶材固定装置主体1为圆环形结构，在圆环形结构的侧壁外部设有一个或多个防呆螺旋纹2，内圈凸起固定环3位于圆环形结构的侧壁内部，内圈凸起固定环3沿着圆环形结构的内侧壁向外延伸并超出靶材固定装置主体1，靶材主体4穿过靶材固定装置主体1的圆环形结构的内部
一种新型固定装置

[实用新型]一种平面靶整组保护固定包装装置-CN201922466355.0有效
发明人：郭文明 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种平面靶整组保护固定包装装置，包括包装盒体，包装盒体内设置有用于放置平面靶的包装内腔，包装内腔设置有整组保护工装，整组保护工装的其中相对两侧的长度大于或等于平面靶的长度，整组保护工装另一相对两侧的长度大于所有需要安装的平面靶的宽度之和，整组保护工装设置有至少两个靶材安装位置，相邻的靶材安装位置之间设置有设定距离，每个靶材安装位置设置有靶材固定部，平面靶固定安装于靶材固定部。本实用新型的整组保护工装，在运输过程中防颠簸，防变形，对靶材的固定保护效果好，包装方式简单，包装效率高，便于安装溅射设备。
一种平面靶整组保护固定包装装置

[实用新型]一种靶材的防变形结构及具有防变形结构的离子镀膜靶材-CN202120556708.0有效
发明人：赵毅红;王锴;陈荣发;陈倩钰;王笃雄;周晓进;史敏杰 -专利权人：扬州大学;扬州攀峰网络科技有限公司
申请日： 2021-03-16 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材的防变形结构，此结构为在靶材的周向侧壁中开设有盲孔；盲孔的数量不少于2个，且均匀分布；一种具有防变形结构的离子镀膜靶材，此离子镀膜靶材呈圆形，其径向外侧壁中开设有盲孔；盲孔的数量为4组，每组之间间隔90度分布；盲孔呈阶梯状，沿离子镀膜靶材的半径方向分布，其包括大孔和小孔，大孔位于远离离子镀膜靶材的中心轴线一端；大孔的直径为2mm，而小孔的直径为1mm，二者同轴相通；本实用新型中通过在靶材的侧壁中开设盲孔，使得温差引起的变形能够有效得到补偿，能够有效提高镀膜的稳定性和一致性，并进一步提高靶材的利用率，并使得靶材在薄膜沉积过程中表面的电弧轨迹更加稳定。
一种变形结构具有离子镀膜

[实用新型]一种TFT旋转溅射靶材防跌落平台-CN201922268069.3有效
发明人：郭文明 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： B25H3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种TFT旋转溅射靶材防跌落平台，包括有主架，主架的顶部凸起设置有多个靶材置放部，靶材置放部包括有多个用于承托靶材工件的承托掐口，承托掐口开口向上设置，承托掐口的掐口大小不小于靶材工件的径宽同一靶材置放部的各承托掐口分别沿直线方向排列设置，同一靶材置放部的相邻的两个承托掐口之间分别间隔设置有悬空吊装间距，靶材工件的相应部分分别嵌入于同一靶材置放部的各个承托掐口内，各个承托掐口的内侧面分别与靶材工件的外表面进行间隙配合与现有技术相比，本实用新型通过多个与靶材工件的轮廓相匹配的承托掐口对靶材工件进行多点承托支撑，避免靶材工件发生意外侧滚，放置靶材工件意外跌落。
一种 tft 旋转溅射靶材防跌落平台

[实用新型]一种靶材固定装置-CN201920728904.4有效
发明人：张小军 -专利权人：咸阳彩虹光电科技有限公司
申请日： 2019-05-20 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材固定装置，所述绝缘固定装置包括：包括若干绝缘固定块，其中，所述绝缘固定块上设置有若干贯穿于所述绝缘固定块上下表面的第一固定通孔，且每个所述第一固定通孔和靶材冲击位置之间还设置有一防导通凹槽结构本实用新型提供的靶材固定装置，因为防导通凹槽结构使其避免了靶材溅射过程中薄膜落入固定通孔而导致绝缘性差的问题。
一种固定装置

[发明专利]一种靶材绑定检测系统、靶材绑定检测装置及方法-CN201910675532.8有效
发明人：郭宜煌;陈维;郭经军;李丹 -专利权人：安捷睿（厦门）机器人有限公司
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶材绑定检测系统、装置及方法，其中，该装置包括控制单元、与控制单元连接的输送控制单元和防溢出单元；输送控制单元响应控制单元发出的绑定控制指令控制输送装置由下至上输送液态绑定材料至填充腔中；防溢出单元检测填充至填充腔中的液态绑定材料的液面是否升至最高靶材的平面，并当液面升至最高靶材平面时产生一防溢出信号，使控制单元响应防溢出信号控制输送控制单元停止驱动输送装置向填充腔中输送液态绑定材料。通过本发明，由下至上导入绑定材料使得填充均匀，同时能够确保绑定充分的同时防止绑定填充材料的浪费、以及填充液溢出造成的靶材污染。
一种绑定检测系统装置方法

[实用新型]一种靶材绑定检测系统以及靶材绑定检测装置-CN201921178857.7有效
发明人：郭宜煌;陈维;郭经军;李丹 -专利权人：安捷睿（厦门）机器人有限公司
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种靶材绑定检测系统以及装置，其中，该装置包括控制单元、与控制单元连接的输送控制单元和防溢出单元；输送控制单元响应控制单元发出的绑定控制指令控制输送装置由下至上输送液态绑定材料至填充腔中；防溢出单元检测填充至填充腔中的液态绑定材料的液面是否升至最高靶材的平面，并当液面升至最高靶材平面时产生一防溢出信号，使控制单元响应防溢出信号控制输送控制单元停止驱动输送装置向填充腔中输送液态绑定材料。通过本实用新型，由下至上导入绑定材料使得填充均匀，同时能够确保绑定充分的同时防止绑定填充材料的浪费、以及填充液溢出造成的靶材污染。
一种绑定检测系统以及装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条