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[发明专利]多桥路隧道磁阻双轴加速度计-CN201911088785.1有效
发明人：张瑞;李孟委;宫美梅;金丽;辛晨光 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种多桥路隧道磁阻双轴加速度计，包括支撑框架一、支撑框架二、X轴质量块、Y轴质量块、X轴隧道磁阻元件、Y轴隧道磁阻元件、X轴回折线圈、Y轴回折线圈，X轴质量块上固定设置相互正交的X轴回折线圈和Y轴回折线圈；X轴回折线圈的两端以及Y轴回折线圈的两端分别通过导线与支撑框架一上的相应电极连接；支撑框架二上固定设置X轴隧道磁阻元件和Y轴隧道磁阻元件；X轴隧道磁阻元件位于X轴回折线圈的正上方；Y轴隧道磁阻元件位于Y轴回折线圈的正上方，隧道磁阻元件内部设置多桥路结构。本发明提出的基于多桥路隧道磁阻的双轴MEMS加速度计极大提高了加速度计的极限检测能力和检测灵敏度。
多桥路隧道磁阻加速度计

[发明专利]磁性传感器、传感器单元、磁性检测装置、以及磁性测量装置-CN201680076140.4有效
发明人：藤原耕辅;大兼干彦;安藤康夫;城野纯一;寺内孝 -专利权人：柯尼卡美能达株式会社;国立大学法人东北大学
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G01R33/09 文献下载
摘要：包括：包含多个隧道磁阻元件(20)的元件阵列(10a)，所述多个隧道磁阻元件(20)分别具有固定磁性层(21)、自由磁性层(22)、以及被设置于固定磁性层及自由磁性层(22)之间的绝缘层(23)，且在外界磁场的影响下分别使绝缘层(23)的隧道电阻改变；以及对构成元件阵列(10a)的多个隧道磁阻元件(20)施加电压的电路(30)，施加于各隧道磁阻元件(20)的电压在0.1mV以上且50mV以下。
磁性传感器单元检测装置以及测量

[发明专利]柔性电流传感器及其制备方法和电流传感装置-CN202310680950.2在审
发明人：秦伟富;张洪源;关蒙萌;胡忠强;何玉金;黄文虎;周炳尧 -专利权人：珠海多创科技有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01R15/18 文献下载
摘要：该柔性电流传感器包括柔性条带；该柔性条带包括柔性电路板、多个隧道磁阻元件、多个偏磁体及信号处理单元，柔性电路板具有供待测导线贯穿的通道；多个隧道磁阻元件设置于柔性电路板，用于采集待测导线周围磁场的强度；多个偏磁体设置于多个隧道磁阻元件的周围，用于影响各隧道磁阻元件周围磁场的方向；信号处理单元设置于柔性电路板，与多个隧道磁阻元件电连接，用于依据多个隧道磁阻元件的输出信号输出待测导线的待测电流情况。
柔性电流传感器及其制备方法电流传感装置

[发明专利]用来测试隧道磁阻效应元件的方法和装置-CN200510067701.8无效
发明人：猿木俊司;稻毛健治;蜂须贺望;清野浩 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2005-04-22 - 公布日： 2005-11-02 - 主分类号： G11B5/455 文献下载
摘要：一种测试TMR元件的方法，包括：初始测量所述隧道磁阻效应元件的电阻值以将所测量的电阻值提供作为第一电阻值；在从反基片侧到基片侧连续馈送通过所述隧道磁阻效应元件的电流达预定时间间隔之后，测量所述隧道磁阻效应元件的电阻值以将所测量的电阻值提供作为第二电阻值；和，通过相互比较所述第一电阻值和所述第二电阻值来评价所述隧道磁阻效应元件。
用来测试隧道磁阻效应元件方法装置

[发明专利]自旋扭矩磁阻存储元件及其制造方法-CN201710077081.9有效
发明人： R·韦格;J·斯劳特;N·里佐;孙吉军;F·曼考夫;D·豪撒梅迪恩 -专利权人：艾沃思宾技术公司
申请日： 2012-06-07 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： H01L43/08 文献下载
摘要：本发明公开了自旋扭矩磁阻存储元件及其制造方法。一种自旋扭矩磁阻存储元件具有高磁阻和低电流密度。自由磁层位于第一自旋极化器与第二自旋极化器之间。第一隧道势垒位于第一自旋极化器与自由磁层之间，第二隧道势垒位于第二自旋极化器与自由磁层之间。第二隧道势垒的磁阻比率具有比第一隧道势垒的磁阻的两倍大的值。
自旋扭矩磁阻存储元件及其制造方法

[发明专利]隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置-CN201710695579.1在审
发明人：李孟委;丁希聪;李秀源 -专利权人：中北大学
申请日： 2017-08-15 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、质量块、驱动梁、检测梁、连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在基板上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由驱动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在检测质量块上设置检测磁体并与基板上的隧道磁阻元件相对应，隧道磁阻元件为多层膜结构
隧道磁阻检测式微陀螺装置

[实用新型]隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置-CN201721017192.2有效
发明人：李孟委;丁希聪;李秀源 -专利权人：中北大学
申请日： 2017-08-15 - 公布日： 2018-04-06 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种隧道磁阻面内检测的解耦式微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、质量块、驱动梁、检测梁、连接块、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在基板上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，在支撑框架上设置质量块、驱动组合梁、检测组合梁，质量块由驱动质量块、检测质量块、中心质量块组成，驱动组合梁由驱动梁、连接块组成，检测组合梁由检测梁、连接块组成，在检测质量块上设置检测磁体并与基板上的隧道磁阻元件相对应，隧道磁阻元件为多层膜结构
隧道磁阻检测式微陀螺装置

[发明专利]一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置-CN201911278616.4在审
发明人：李孟委;王旭虎 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁组件、检测组合梁组件、驱动质量块、检测质量块、检测磁体、隧道磁阻元件、压电薄膜驱动电极组件、导线、电极组成。隧道磁阻元件放置在检测质量块上表面中心与键合基板中心凹槽内沉积的检测磁体相对应。本发明采用压电效应驱动，驱动位移大，功耗低；隧道磁阻效应检测，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，使用方便，适合微型化。
一种压电驱动隧道磁阻检测陀螺装置

[实用新型]一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置-CN201922228620.1有效
发明人：李孟委;王旭虎 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-10-20 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置，主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁组件、检测组合梁组件、驱动质量块、检测质量块、检测磁体、隧道磁阻元件、压电薄膜驱动电极组件、导线、电极组成。隧道磁阻元件放置在检测质量块上表面中心与键合基板中心凹槽内沉积的检测磁体相对应。本实用新型采用压电效应驱动，驱动位移大，功耗低；隧道磁阻效应检测，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理、简单，使用方便，适合微型化。
一种压电驱动隧道磁阻检测陀螺装置

[发明专利]在多个存储单元间共有存取元件的薄膜磁性体存储器-CN02142748.8有效
发明人：大石司;日高秀人;石川正敏 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2002-09-20 - 公布日： 2003-04-16 - 主分类号： G11C11/15 文献下载
摘要：构成MTJ存储单元的隧道磁阻元件连接在位线与条带之间。条带为同一子阵列内的在行方向上相邻的多个隧道磁阻元件所共有。存取晶体管连接在条带和接地电压之间，响应于对应的字线而导通或关断。由于无需与各隧道磁阻元件对应地设置存取晶体管就能进行数据读出，所以可以使阵列面积小型化。
存储单元共有存取元件薄膜磁性存储器

[实用新型]一种基于环形隧道磁阻阵列的电流传感器-CN202220347511.0有效
发明人：于浩;毕建刚;袁帅;杜非;邵明鑫;许渊;弓艳朋;付德慧;常文治;王广真 -专利权人：中国电力科学研究院有限公司
申请日： 2022-02-21 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于隧道磁阻阵列的电流传感器，其包括：测量通过待测载流导线的电流信号的N个隧道磁阻元件，容纳N个隧道磁阻元件的环形母板，承载环形母板壳体和安装于壳体上，一端与N个隧道磁阻元件连接的电缆插头所述电流传感器壳体通过合页和搭扣来开合，便于安装；传感器的环形结构与载流导线之间的非接触状态，实现了对电流的非侵入式测量；运用多个隧道磁阻元件，扩大了电流测量范围，实现了电流传感器量程的拓展，能够同时测量直流
一种基于环形隧道磁阻阵列电流传感器

[发明专利]一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置-CN201911292883.7在审
发明人：李孟委;王旭虎 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置，由键合基板，驱动组合梳齿，Y轴质量块，X轴质量块；Z轴检测质量块，第一驱动连接组合梁，第二驱动连接组合梁，第三驱动连接组合梁，Z轴检测组合梁组件，支撑锚点组件、检测磁阻组件本发明的有益效果在于，采用隧道磁阻检测方式，解决了现有微机械陀螺检测方向单一，微弱柯氏力难以检测的问题，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理，使用方便，检测精度高,可实现X、Y、当隧道磁阻元件敏感到的磁场发生变化,在微弱的磁场变化下隧道磁阻元件的阻值会发生剧烈变化，该变化可将所微陀螺的检测精度提高一至两个数量级。
一种基于隧道磁阻检测三轴微陀螺装置

[实用新型]一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置-CN201922252234.6有效
发明人：李孟委;王旭虎 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置，由键合基板，驱动组合梳齿，Y轴质量块，X轴质量块；Z轴检测质量块，第一驱动连接组合梁，第二驱动连接组合梁，第三驱动连接组合梁，Z轴检测组合梁组件，支撑锚点组件、检测磁阻组件本实用新型的有益效果在于，采用隧道磁阻检测方式，解决了现有微机械陀螺检测方向单一，微弱柯氏力难以检测的问题，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理，使用方便，检测精度高,可实现X、当隧道磁阻元件敏感到的磁场发生变化,在微弱的磁场变化下隧道磁阻元件的阻值会发生剧烈变化，该变化可将所微陀螺的检测精度提高一至两个数量级。
一种基于隧道磁阻检测三轴微陀螺装置

[发明专利]一种基于杠杆机构的差动质量块式隧道磁阻加速度计装置-CN201811049038.2有效
发明人：杨波;李成;高小勇;王斌龙 -专利权人：东南大学
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于杠杆机构的差动质量块式隧道磁阻微加速度计装置，包括上层隧道磁阻传感元件结构、中层硅微传感器结构、下层布有电极引线的玻璃衬底结构；上层结构和中层结构分别通过两组锚点键合在下层结构上。本发明结合了MEMS技术与量子力学中的隧道磁阻效应，结构合理简单、易于加工、体积小、测量精度高、灵敏度高；利用磁场强度改变实现隧道磁阻效应，通过磁片位移使隧道磁阻元件周围磁场强度变化，线性度好、性能优；采用杠杆机构连接质量块与外部框架，当有加速度信号输入时，质量块与外部框架形成差动；两个隧道磁阻敏感元件反向对称布置，输出值反向偏离初始值，实现差分检测，有效抑制干扰引起的共模误差、增强装置可靠性。
一种基于杠杆机构差动质量隧道磁阻加速度计装置

[发明专利]一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺-CN201911281791.9在审
发明人：李孟委;秦世洋;张瑞;金丽 -专利权人：中北大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： G01C19/5656 文献下载
摘要：一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、正交梁、驱动梁、检测梁、连接块、悬臂梁、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成；在键合基板凹槽上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方的检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺中X轴陀螺和Y轴陀螺采用离面检测，Z轴陀螺采用面内检测，此陀螺结构设计合理、简单，体积小，集成度高
一种基于隧道磁阻检测单片集成陀螺

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