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[发明专利]长晶炉-CN201911046376.5在审
发明人：赵然;李宪宾;张岩;邓少奎;鲍慧强;李龙远;赵子强;陈菲菲 -专利权人：中科钢研节能科技有限公司
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种长晶炉，该长晶炉包括炉体和炉盖，炉体具有腔室，炉体上部开设有与所述腔室连通的开口，所述开口处套设有法兰体；所述炉盖设置在所述开口的上方并配置为打开和关闭所述开口；所述长晶炉包括第一密封圈和第二密封圈，所述第一密封圈和所述第二密封圈沿所述开口的径向向外依次设置在所述法兰体上，所述第一密封圈和所述第二密封圈之间间隔设置；当所述炉盖关闭所述开口时，所述第一密封圈、所述第二密封圈、所述炉盖以及所述法兰体之间限定出密封腔本发明的长晶炉具有密封性好的优点。
密封圈开口长晶炉法兰体炉盖连通真空气路抽气口密封腔炉体腔室间隔设置径向向外炉盖关闭炉体上部密封性好依次设置真空源配置

[发明专利]长晶炉-CN202110024156.3在审
发明人：邓先亮 -专利权人：上海新昇半导体科技有限公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供一种长晶炉，长晶炉包括水冷套、水冷屏、水冷套流量控制装置、水冷屏流量控制装置及升降位置控制装置；本发明通过水冷套流量控制装置、水冷屏流量控制装置及升降位置控制装置，可实现对晶体冷却过程的精确控制，可有效控制晶体的冷却速度，精确调节晶体的温度分布，以增大热场的灵活性，在不改变热场的情况下，即可生产不同产品，极大的降低了生产及研发成本，且可在不同的长晶阶段进行流量和位置的控制，以实现整个晶棒的质量均匀性
长晶炉

[发明专利]长晶炉-CN202210119829.8在审
发明人：廖思涵 -专利权人：环球晶圆股份有限公司
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C30B15/14 文献下载
摘要：一种长晶炉，包括一炉体、一坩埚、一第一加热装置、一第二加热装置及一升降装置，所述坩埚设置于所述炉体中，用以容置待熔化的固态原料，所述坩埚具有一上开口；所述第一加热装置设置于所述坩埚的侧边外围，用以对所述坩埚加热
长晶炉

[发明专利]长晶炉-CN202210197342.1在审
发明人：廖思涵 -专利权人：环球晶圆股份有限公司
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：一种长晶炉，所述长晶炉的炉腔内具有位于坩埚上方的入气通道，上排气件具有相连通的流道及出气口，流道具有开放侧围绕入气通道，导流件与上排气件连接且设置于流道的开放侧，导流件上具有第一入气孔及至少两个第二入气孔
长晶炉

[发明专利]长晶炉-CN202110524237.X有效
发明人：黎志欣;逯占文;胡动力;李占贤 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： C30B15/20 文献下载
摘要：本发明的目的在于提出一种长晶炉，长晶炉包括坩埚，坩埚用于承载硅液，漏硅检测装置，漏硅检测装置设置在坩埚下方，漏硅检测装置包括：检测线，检测线为导电金属丝，检测线设置在坩埚正下方投影区域，并在坩埚的投影区域进行排布通过在坩埚正下方投影区域设置漏硅检测装置，当硅液从坩埚中漏出，会直接滴落在检测线上，检测单元感知到检测线的电性能参数的变化，及时反馈给长晶炉，从而使得漏硅被实时监控，进而避免危险的发生。
长晶炉

[实用新型]长晶炉-CN201820376250.9有效
发明人：陈旭光;张涛;韩晓敏;孙鹏;张鑫;陆昱文 -专利权人：扬州荣德新能源科技有限公司
申请日： 2018-03-19 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种长晶炉，包括：炉体；护板箱，其设置于所述炉体中；坩埚，其设置于所述护板箱中；进气管，其自所述炉体外伸入至所述炉体内并通过开设于所述护板箱上的进气孔与所述护板箱的内部连通；排气管，其自所述炉体外伸入至所述炉体内并通过开设于所述护板箱上的排气孔与所述护板箱的内部连通
板箱炉体排气管本实用新型内部连通长晶炉多晶硅真空泵外伸制备体内产生不利影响加工性能一端连接进气管进气孔排气孔坩埚抽取

[实用新型]长晶炉-CN201320841034.4有效
发明人：钟绍华;王禄堡 -专利权人：镇江环太硅科技有限公司
申请日： 2013-12-19 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： C30B28/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种长晶炉，包括：炉体；位于所述炉体内的坩埚；形成于所述炉体内壁上的保温板，所述的保温板包括水平设置于所述坩埚顶端的上保温内侧板，以及竖直分布于所述坩埚四周的下保温板，所述下保温板贴近所述坩埚底端边缘处的厚度小于下保温内板其他位置的厚度本实用新型还公开了一种长晶炉均匀散热的控制方法。本实用新型通过长晶炉下保温内侧板几何形状的变更设计，我们就可利用保温板厚度变薄，保温效果变差的原理，将固有硅碇底侧边散热较慢的情形加以改善，而达到整体硅碇底部均匀散热的目的。避免定向垂直长晶时局部区域晶体结构错位(Dislocation)缺陷的增加，使硅碇整体转换效率得以提升。
长晶炉

[实用新型]长晶炉-CN202220815943.X有效
发明人：徐进 -专利权人：新疆蓝晶新材料科技有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请日： 2022-04-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C30B17/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种长晶炉，包括坩埚、籽晶杆、加热结构和第一冷却结构，籽晶杆的一端伸入坩埚内，加热机构和第一冷却结构均位于坩埚的外部，第一冷却结构位于坩埚的上方，加热结构位于第一冷却结构的下方。
长晶炉

[实用新型]长晶炉-CN202320161478.7有效
发明人：简征程;卫元元;王奇缘;吕芳栋;罗鸿;叶水全;张哲;徐江;李建;李书文;卿成;张旭;张建 -专利权人：通威微电子有限公司
申请日： 2023-01-19 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种长晶炉，属于碳化硅生产领域，长晶炉包括炉体、冷却管路以及接地结构，冷却管路设置于炉体，用于冷却炉体，接地结构与冷却管路电连接，用于使冷却管路接地。通过设置接地结构，将冷却管路接地，从而可以有效地将冷却管路以及流经冷却管路的水中的电荷引入大地，一方面可以排除长晶炉的冷却管路内的电荷，另一方面可以排除流经冷却管路的水中的电荷，避免带电的水回到PCW，
长晶炉

[实用新型]一种液压式坩埚长晶炉-CN201620670756.1有效
发明人：于国建;王希杰;刘家朋;梁庆瑞 -专利权人：山东天岳先进材料科技有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及长晶炉技术领域，具体为一种液压式坩埚长晶炉，包括长晶炉本体，所述长晶炉本体内腔中设有坩埚；所述长晶炉本体的上端铰接有炉盖；所述长晶炉本体的外侧壁设有控制器；所述长晶炉本体的内腔底端设有加热板，且加热板的上端接触坩埚的下端；所述长晶炉本体内设有保温层；所述长晶炉本体的底端设有液压缸，且液压缸放置在保温层内；所述液压缸通过连杆连接坩埚；所述控制器分别电性连接液压缸和加热板；此液压式坩埚长晶炉结构简单，通过加入液压缸和连杆，实现坩埚在长晶炉内的上下移动，方便坩埚内物体的轻拿轻放，防止物料破坏，进而影响籽晶的培育效率，此结构方便操作。
一种液压式坩埚长晶炉

[发明专利]一种碳化硅长晶装置、方法及电子设备-CN202210799850.7在审
发明人：李健;宋亚滨;王小刚 -专利权人：江苏吉星新材料有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本申请提供一种碳化硅长晶装置、方法及电子设备。碳化硅长晶装置包括：长晶炉、坩埚、保温层及加热结构，长晶炉具有彼此相背的第一表面和第二表面，长晶炉设置有自第一表面向第二表面延伸的第一腔室，坩埚设置于长晶炉的第一腔室内，坩埚设置有自第一表面向第二表面延伸的第二腔室，第二腔室内用于盛放原料，保温层覆盖于坩埚朝向长晶炉内表面的表面，保温层对应长晶炉第二表面一端的厚度大于对应长晶炉第一表面一端的厚度，加热结构设置于长晶炉临近第二表面的位置，且部分加热结构位于长晶炉的外侧
一种碳化硅装置方法电子设备

[发明专利]蓝宝石晶体的生长方法及蓝宝石晶体生长用的长晶炉结构-CN201110133672.6无效
发明人：谢旭明;张新忠;曹俊辉 -专利权人：无锡斯达新能源科技有限公司
申请日： 2011-05-23 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种蓝宝石晶体的生长方法及蓝宝石晶体生长有的长晶炉结构，其包括如下步骤：a、将40%~60%的氧化铝晶体、20%~30%的氧化铝晶块及10%~30%的氧化铝晶粒按照重量百分比均匀混合后放入坩埚中；b、将具有氧化铝晶体的坩埚放入长晶炉中并抽真空，将长晶炉的温度加热至2200℃；c、坩埚中的氧化铝晶体加热至熔融状态时，使坩埚的温度降至2150℃~2200℃间；并当坩埚中出现固-液界面时，开始引晶；d、使坩埚的温度降至1900℃~2100℃，以便长晶；e、对长晶炉保温；f、对长晶炉进行退火，使长晶炉内的温度由2000℃逐渐降至1000℃；g、长晶炉的温度逐渐降至常温；h、对长晶炉内以氩气破真空，开启长晶炉并取出蓝宝石晶体
蓝宝石晶体生长方法晶体生长长晶炉结构

[发明专利]一种长晶炉控制机的恢复方法、系统、终端及存储介质-CN202311140896.9在审
发明人：史建伟;宋建;柴志强;杨振鲁;张俊;周敏;张长银;赵建国;滕永懂 -专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
申请日： 2023-09-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G06F8/71 文献下载
摘要：本发明属于长晶炉控制技术领域，具体提供一种长晶炉控制机的恢复方法、系统、终端及存储介质，包括：获取待恢复长晶炉控制机的操作系统版本，并与存储在移动存储器中的预存操作系统版本相比较，在版本正确后进入网络设置，与中控室服务器联机，进行参数交换，在交换的参数正确时配置待恢复长晶炉控制机关于每台长晶炉设备的多项参数；对待恢复长晶炉控制机上的浏览器进行自动配置；关闭待恢复长晶炉控制机上的所有界面，启动长晶炉控制界面进入待机状态；本发明能够在待恢复长晶炉控制机不停电的情况下，完成参数的自动批量输入，缩短恢复时间，且准确度较高。
一种长晶炉控制恢复方法系统终端存储介质

[发明专利]一种带有定位机构的长晶炉及装炉方法-CN202011419529.9在审
发明人：沈安宇;李钊;张耀文;张亮;湛希栋 -专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种带有定位机构的长晶炉及装炉方法，装炉方法包括下述步骤：提供原料组件和长晶炉，长晶炉包括定位机构和长晶炉体，定位机构包括调水平组件、光源组件和支撑件，调水平组件和光源组件分别与支撑件连接；根据调水平组件的结果调整支撑件水平安装在长晶炉体的开口上方，光源组件中的光源形成的光束自开口进入长晶炉体内并在目标位置形成光圈，原料组件经所述长晶炉体的底部开口移动至所述长晶炉体内的光圈形成的目标位置，装炉完成。本申请的装炉方法易于操作，提升了操作安全性，带有定位机构的长晶炉操作简便，提高了工作效率，工作精度高，进而提升了制备的晶体质量。
一种带有定位机构长晶炉方法

[实用新型]一种长晶炉-CN202120419394.X有效
发明人：薛传艺;张长银;马振华 -专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本申请公开了一种长晶炉，包括长晶炉炉体、冷却介质通道、过滤装置、储放装置和控制单元，所述冷却介质通道的一端穿入长晶炉炉体，所述过滤装置与设于所述长晶炉炉体外侧的冷却介质通道连通设置，所述过滤装置包括过流通道，所述过流通道上设有过滤单元，冷却介质流经所述过滤单元后对所述长晶炉炉体内部提供冷却介质；所述储放装置设于所述过滤装置的一侧，所述储放装置上设有备用过滤单元。本申请所公开的所述长晶炉的冷却系统具有实时监测、自动排障、确保长晶炉安全稳定工作等优点。
一种长晶炉

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