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- [实用新型]一种改进型真空镀膜机-CN201520872357.9有效
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杨志民;王军
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江苏星浪光学仪器有限公司
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2015-11-04
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2016-05-04
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C23C14/22
- 本实用新型公开了一种改进型真空镀膜机，属于滤光片镀膜制造技术领域，解决了传统镀膜机洁净度不稳定，基片在真空镀膜过程中因油蒸汽返流污染所造成的成品率下降，不能满足现代公司科技生产品质要求的问题。主要包括真空镀膜室、油扩散泵、机械真空泵、热交换器，真空镀膜室经放气阀、高真空阀、冷阱与油扩散泵相连接。本实用新型提高了产品镀膜的真空洁净度，使真空镀膜机在生产技术精准度要求较高的电子镀膜产品质量方面有了明显提高，保障了公司科研生产的发展需要，本实用新型应用广泛，可广泛应用于滤光片镀膜制造技术领域。
- 一种改进型真空镀膜
- [发明专利]一种高效镀超硬膜的方法-CN202010606524.0在审
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刘双良;左洪波;雷志钵;张学军;刘贺
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哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司
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2020-06-29
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2020-09-18
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C23C14/06
- 采用连续式磁控溅射镀膜装置，设备主要包括进料仓、过渡仓、镀膜仓和出料仓，仓与仓之间通过轨道相连，进行载台的传送，实现一站式镀膜；具体工艺路线为：将玻璃基体在超声波中清洗后烘干，按顺序排布在载台上；抽真空并加热；载台在机械传动的作用下，依次通过进料仓、过渡仓，进入镀膜仓；根据所镀膜层材质与厚度要求，调节电流、电压值与镀膜时间，开始镀膜；镀膜完成后，传动系统将载台经过渡仓送进出料仓，完成镀膜过程。本发明可以根据膜层的材质要求，灵活更换靶材，实现多层、不同材质的一站式镀膜；可以根据所需镀膜的层数，增加或减少腔体数量，操作更简便；可以减少中间环节与等待时间，提高生产效率，降低成本。
- 一种高效镀超硬膜方法
- [发明专利]一种真空蒸发镀膜方法-CN202110417433.7在审
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李成林;郝明;杜雪峰
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辽宁分子流科技有限公司
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2021-04-19
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2021-07-09
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C23C14/24
- 本发明公开一种真空蒸发镀膜方法，包括：将基膜放置在放卷辊上，启动真空系统抽真空；当镀膜腔室的真空度达到工艺要求时，启动卷绕系统、条形蒸发源、智能屏蔽系统和控制系统；控制系统控制智能屏蔽系统及条形蒸发源的智能材料控制系统和滑动式电极系统，根据工艺要求在蒸发镀膜基底下方形成1个或多个蒸发镀膜区域，通过真空蒸发镀膜在连续走膜的蒸发镀膜基底上形成膜层；在真空蒸发镀膜过程中，控制系统可控制智能屏蔽系统以及条形蒸发源的智能材料控制系统和滑动式电极系统之间的互相配合，在线连续地调控蒸发镀膜基底下方的蒸发镀膜区域，在蒸发镀膜基底表面形成在线可调控的膜层。该真空蒸发镀膜方法可应用于制备新能源动力电池。
- 一种真空蒸发镀膜方法
- [实用新型]连续式平面磁控溅射镀膜设备-CN200920037425.4无效
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冯新伟
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江苏津通先锋光电显示技术有限公司
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2009-02-13
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2009-11-11
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种连续式平面磁控溅射镀膜设备，具有顺序排列连接的进片室、前过渡室、镀膜室、后过渡室和出片室，进片室和前过渡室、前过渡室和镀膜室、镀膜室和后过渡室以及后过渡室和出片室之间分别设置有隔离阀门，进片室和出片室上分别管道连接有第一真空机组，前过渡室和后过渡室上分别管道连接有第二真空机组，镀膜室上管道连接有第三真空机组。本实用新型可按工艺要求，分别在玻璃上镀上增透介质层和导电层，同时选用的不同真空机组以满足镀膜过程中对真空度的不同要求，从而确保镀膜过程的一致性、连续性和可控性以及镀膜层的均匀，保证了触摸屏用导电玻璃的质量，满足了大批量生产的要求。
- 连续平面磁控溅射镀膜设备
- [发明专利]蓝玻璃镀膜方法及系统-CN201210113754.9有效
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郭咏;刘涛
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深圳欧菲光科技股份有限公司
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2012-04-18
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2013-10-30
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C03C17/34
- 一种蓝玻璃镀膜方法包括以下步骤：测量所述蓝玻璃对于不同波长的光线的透过率：根据所述不同波长的透过率构成所述蓝玻璃的分光曲线；根据所述分光曲线选择膜系；根据所述膜系对所述蓝玻璃镀膜。测量不同波长的光线相对于蓝玻璃的透过率，根据测得的透过率构成一条曲线，该曲线即为蓝玻璃固有的分光曲线，根据蓝玻璃的分光曲线选择膜系，再根据膜系对蓝玻璃镀膜。根据蓝玻璃的分光曲线选择的膜系，能够满足不同波长光线的透过率的要求。上述蓝玻璃镀膜方法能够控制对于不同波长光线相对于镀膜蓝玻璃的透过率，以满足不同波长光线相对于镀膜蓝玻璃的不同透光要求。还提供一种蓝玻璃镀膜系统。
- 玻璃镀膜方法系统
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