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[发明专利]高钪铝钪合金靶及其靶材绑定方法-CN202010987309.X在审
发明人：陈力学 -专利权人：长沙神弧离子镀膜有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种高钪铝钪合金靶的靶材与铜背板的绑定结构及绑定方法。它的结构特点是，铜背板连接高钪铝钪合金靶材，限位元件通过连接元件同铜背板固定圈相连接，且该限位元件同所述高钪铝钪合金靶材的前表面外周相连而使钪铝钪合金靶材保持同铜背板连接。所述绑定方法的技术特点是，连接元件对铜背板固定圈的紧固程度为：能使高钪铝钪合金靶材与铜背板保持良好接触以使靶材与铜背板之间具有导电与热传导性能，并使高钪铝钪合金靶材在镀膜过程中不会因连接元件的紧固作用而产生脆性开裂本发明有效克服了高脆性的高钪铝钪合金靶绑定难题，使高钪铝钪合金靶能够实际用于镀膜生产；所述绑定结构与方法使靶材在作业中整体结构稳定、可靠。
高钪铝钪合金及其绑定方法

[发明专利]一种用于提高芯片制造良品率的AlSc靶材的制造方法-CN202110225754.7在审
发明人：何建进;何凌男;陈江伟 -专利权人：苏州精美科光电材料有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： G16C60/00 文献下载
摘要：本发明涉及靶材领域，具体是一种用于提高芯片制造良品率的AlSc靶材的制造方法，利用超声波探伤仪获得铝钪靶材的内部图像，可以明确的得知铝钪靶材的内部是否具有缺陷，并采用获得缺陷处的尺寸信息和预设尺寸信息对比，可以明确的获得铝钪靶材是合格品、不合格品但满足修复标准和不合格品且不满足修复标准的三种结果；通过后续的修复靶材步骤，可以对满足修复标准的不合格的铝钪靶材去除缺陷处，使得原本不合格的铝钪靶材可转变为合格品；铝钪靶材的良品率获得提高，而铝钪靶材的制造成本下降；此外，在保证了铝钪靶材的良品率的同时，相应的减少了铝钪靶材实际应用于制造芯片的工艺流程中出现打弧等现象。
一种用于提高芯片制造良品率 alsc 方法

[发明专利]一种铝钪合金靶材的制备方法-CN202010492396.1有效
发明人：童培云;蔡新志;朱刘;赵佳;白向钰;谢小林;郑双明 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明揭示了一种铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝原料和钪原料通过冷坩埚悬浮熔炼，得到铝钪合金熔体；将铝钪合金熔体浇铸到模具上冷却成型，得到铝钪合金铸锭；将铝钪合金铸锭置于真空坩埚炉内，升温使铸锭熔融成为铝钪合金液；将铝钪合金液进行雾化后得到铝钪合金粉末；将铝钪合金粉末进行烧结后得到铝钪合金靶坯；将铝钪合金靶坯进行机加工得到铝钪合金靶材。本发明提供的一种铝钪合金靶材的制备方法，根据铝和钪的金属熔点相差悬殊特点，将铝原料分批次加入钪原料中进行熔炼，可以使合金靶材熔炼至完全合金化，而且采用熔化雾化的方式，制备出产品纯度高的铝钪合金粉，解决了现有技术制备铝钪合金靶材会造成合金分相的技术问题
一种合金制备方法

[发明专利]一种铝钪靶材的制备方法-CN202010348639.4有效
发明人：蔡新志;童培云;朱刘;何坤鹏;赵宇飞;邓瑞 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明揭示了一种铝钪靶材的制备方法，包括以下步骤：将铝钪合金块粉碎、筛分后得到铝钪合金粉末；将所述铝钪合金粉末与铝粉或钪粉按照一定比例进行混合，进行均质处理后得到混合粉末；将所述混合粉末进行烧结后得到铝钪靶坯；将所述铝钪靶坯进行机加工得到铝钪靶材。本发明提供的一种铝钪靶材的制备方法，通过采用铝钪合金粉末与铝粉或钪粉进行混合，制备低钪含量的铝钪靶材只需要添加铝粉混合，制备高钪含量的铝钪靶材只需要添加钪粉混合，不需要经过繁琐的熔炼过程，同时也能有效解决现有技术采用钪粉和铝粉混合后热压烧结，导致使用过多昂贵的金属钪粉而产生成分偏析、氧含量高和晶粒尺寸不均匀的技术问题。
一种铝钪靶材制备方法

[发明专利]铝钪合金靶材及其制备方法-CN201910728796.5有效
发明人：黄培;黄美松;王志坚;刘华;邓月华;马小波;文康;刘维 -专利权人：湖南稀土金属材料研究院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： C22C21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝钪合金靶材及其制备方法。其中制备方法包括：选取纯度在99.99％以上的金属铝和金属钪；按金属钪的质量百分比含量为5％～40％，金属铝的质量百分比含量为60％～95％配料，将所述金属铝分多次对掺到所述金属钪中，反复熔炼，得到预期的铝钪合金；将所述铝钪合金浇铸到模具中，得到铝钪合金靶坯；将所述铝钪合金靶坯进行机加工得到所述铝钪合金靶材。采用本发明可以解决现有技术中靶材成分的均匀化难以实现，钪分布不均匀，靶材氧含量高，致密度低，合金纯度低，无法用来制备溅射镀膜的问题。
合金及其制备方法

[发明专利]一种铝钪合金靶材组分的检测方法及其应用-CN202211186911.9在审
发明人：蔡新志;童培云;冉成义;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01N25/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝钪合金靶材组分的检测方法及其应用，属于合金检测技术领域。所述检测方法包括以下步骤：将铝钪合金靶材置于悬浮熔炼炉内，并以200～300kw/min的速度调节功率至350～550kw进行熔炼，待合金熔体全熔后20s～50s内测试并记录对应熔体温度，并与铝钪合金靶材理论熔点进行对比，得铝钪合金靶材组分信息；本发明提供的检测方法能够无损、快速、低成本的得到铝钪合金靶材中的组分信息；并且本发明的铝钪合金靶材中组分的检测方法能够应用于实际的铝钪靶坯生产过程中，从而能够帮助快速、准确、高效且低成本的生产出特定钪含量的铝钪靶坯
一种合金组分检测方法及其应用

[发明专利]一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法-CN202210677383.0在审
发明人：张俊飞;蔡新志;童培云;朱刘 -专利权人：先导薄膜材料（广东）有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种环形高钪铝钪合金靶材及其制备方法，属于靶材技术领域，环形高钪铝钪合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将铝钪靶材用胶带保护；(2)将靶材准备腐蚀穿孔的位置的胶带去除，露出需要穿孔的圆形靶材表面，将腐蚀容器垂直于圆形靶材表面，并固定，将圆形靶材表面的背面与腐蚀容器对应的位置的胶带去除，并将背面露出部分与胶带的接触处密封；(3)将靶材放置于容器中，冰水混合物没过靶材，将酸液加入到腐蚀容器中，隔0.5～2小时将酸液吸出，用水清洗腐蚀位置并吸出，再加入酸液，重复操作，直至靶材腐蚀穿孔。本发明用酸液对靶材进行定向腐蚀，能够制备出完整性好、不存在碎裂风险的环形高钪铝钪合金靶材。
一种环形高钪铝钪合金及其制备方法

[发明专利]一种铝钪合金靶材的制备工艺-CN202211291263.3在审
发明人：程银兵;顾宗慧;庄志杰;诸斌 -专利权人：基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种铝钪合金靶材的制备工艺，涉及半导体靶材制备领域，旨在解决目前钪合金靶材的制备质量不够高的问题，其技术方案要点是：选用纯度为99.999％的金属铝和纯度为99.99％的金属钪，将铝钪原料投入真空熔炼炉中，将真空熔炼炉加热，使熔炼炉中的铝钪合金原料熔化；向真空熔炼炉中通入惰性气体，去除气体杂质最终得到合金；在真空状态下进行浇铸，冷却定型得到合金铸锭，使用热轧机进行轧制操作；在300℃～500℃条件下对校平后的高纯铝钪合金靶材进行退火处理；使用扩散焊接法使其贴合于背板上，获得高纯低氧铝钪合金靶材。本发明的一种铝钪合金靶材的制备工艺其工艺简单成熟，最终制品钪含量高、参数可控。
一种合金制备工艺

[发明专利]高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法-CN201910728801.2有效
发明人：刘华;黄美松;樊玉川;王志坚;贾帅广;傅臻;姚茂海;杨露辉 -专利权人：湖南稀土金属材料研究院
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种高钪含量铝钪合金靶材及其制备方法。其中方法包括：选取金属铝和金属钪，并配料；将金属钪熔化，然后将金属铝分多次逐步加入到金属钪中熔炼，多次熔炼后冷却得到铝钪合金；将所述铝钪合金进行球磨，真空干燥得到合金粉，然后经预压制和真空烧结得到铝钪合金靶坯；将得到的铝钪合金靶坯进行热变形加工，得到铝钪合金靶材，所述热变形加工包括热锻、热轧、以及精加工。采用本发明使得铝钪合金靶材组织和化学成分更均匀，相对密度更高，达到99.0％以上，晶粒尺寸更细小，延展性更高；采用本发明还减少了缩孔、疏松缺陷；节省了原料成本；解决了合金脆性大，不能加工靶材的难题；可满足大规模集成电路用配线材料的需求
含量合金及其制备方法

[发明专利]一种铝钪靶材的制备方法-CN202210574325.5在审
发明人：李安军 -专利权人：湖南金坤新材料有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B22F9/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝钪靶材的制备方法，将金属铝和金属钪按一定比例进行混合熔炼，得铝钪合金，铝钪合金中钪含量为2at％或43at％；将铝钪合金进行粉碎处理，得铝钪合金粉末；将铝钪合金粉末按一定比例进行混合，得混合铝钪合金粉末；在氩气气氛保护下，将混合铝钪合金粉末进行热压处理，得铝钪模锭；将铝钪模锭进行加工，得铝钪靶材。其中，铝钪合金粉末相对于纯钪粉末和纯铝粉末，不易氧化，也不用考虑铝钪合金本身的偏析，大幅提高了铝钪靶材的品质。同时，通过只生产钪含量为43at％和钪含量为2at％的铝钪合金，再将两种钪含量不同的铝钪合金进行混合，就可以得到钪含量在2‑43at％的铝钪靶材，可以缩短生产时间，提高效益。
一种铝钪靶材制备方法

[发明专利]铝钪合金靶材及其制备方法、应用-CN202310169272.3在审
发明人：陈卫平;申庆飞;聂东红 -专利权人：湖南东方钪业股份有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B22F3/115 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝钪合金靶材及其制备方法、应用，涉及铝合金靶材加工的技术领域，包括以下步骤：铝钪合金锭经喷射沉积后得到铝钪合金靶坯，再进行致密化处理，机加工，得到铝钪合金靶材。本发明解决了现有技术以铸造方式生产高钪含量的铝钪合金靶材时Al3Sc粒子大、分布不均匀、裂纹以及孔洞缺陷多的技术问题，同时也避免了粉末冶金法生产时的工艺复杂、氧含量高以及价格高的问题，达到了铝钪合金靶材的Al3Sc粒子细小、含氧低、成分均匀以及无裂纹的技术效果。
合金及其制备方法应用

[发明专利]一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法和应用-CN201910439319.7有效
发明人：张科;陈钦忠;蔡小勇;池铭浩;吴荣祯 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2020-03-27 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及磁控溅射靶材制造技术领域，提供了一种细晶粒铝钪合金靶材及其制备方法。本发明首先将分散剂、粘结剂和水混合，得到预混液；然后将纳米级铝粉、纳米级钪粉和所述预混液混合后进行湿法球磨，得到铝钪合金靶材浆料；将所述铝钪合金靶材浆料注浆成型后，再将得到铝钪合金坯体依次进行脱脂和烧结，即得到本发明的细晶粒铝钪合金靶材。本发明提供的方法步骤简单，成本低，容易操作，所得铝钪合金靶材晶粒细小均匀，且氧含量低、密度大，适合用于微波通信系统相关器件的制备。
一种晶粒合金及其制备方法应用

[发明专利]铝钪靶材的制备方法-CN202010680008.2有效
发明人：樊玉川;傅臻;刘华;黄美松;李剑;王志坚;文康;周煌;邓月华 -专利权人：湖南稀土金属材料研究院
申请日： 2020-07-15 - 公布日： 2022-10-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种铝钪靶材的制备方法，包括如下步骤：将金属铝原料和金属钪原料混合熔炼，得到铝钪中间合金；以酒精为介质，将铝钪中间合金进行湿法球磨，通过真空干燥后得到合金粉；将合金粉与金属铝粉混匀，且压制成型，得到铝钪生坯；将铝钪生坯在800℃～1200℃，真空或惰性气氛保护下烧结1h～4h，得到铝钪合金靶坯；按照预设工艺对铝钪合金靶坯进行精加工，得到与预设工艺对应规格的铝钪靶材。利用本发明，能够解决现有技术中的由于高钪含量铝钪合金脆性大，熔炼铸锭后难以后续加工，以及制备得到的靶材成膜均匀性差等问题。
铝钪靶材制备方法

[发明专利]一种掺氮的铝钪合金靶材及其制造方法-CN201811048555.8有效
发明人：丁照崇;王兴权;张晓娜;何金江;李勇军;雷继锋;庞欣;贺昕 -专利权人：有研新材料股份有限公司
申请日： 2018-09-10 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了属于磁控溅射靶材制造技术领域的一种掺氮的铝钪合金靶材及其制造方法。铝氮钪合金靶材化学成分为(AlxSc(1‑x))(1‑y)(AlN)y，其中以AlN形式对铝钪合金进行掺氮，掺氮的铝钪合金靶材以AlSc合金粉、AlN粉为原料，通过压力烧结工艺成型后由机加工制造出掺氮的铝钪合金单体成品靶材，或与背板焊接为复合成品靶材。采用该合金靶材溅射沉积氮化物膜，可降低膜层内氮原子缺失，确保薄膜合金成分比例。
一种合金及其制造方法

[发明专利]高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法-CN202010992890.4在审
发明人：陈力学 -专利权人：长沙神弧离子镀膜有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：高含钪量铝钪合金靶材及靶材前级材料制备方法，步骤包括（1）制取自耗熔炼的坯棒：将铝颗粒与块状钪混合后压坯，获得坯棒；该坯棒的密度是60%—70%，铝颗粒与块状钪的用量为坯棒合金化后合金中钪含量为30at%—45at%；（2）自耗熔炼：将坯棒置入自耗真空电弧熔炼炉进行自耗熔炼，获得粗坯；（3）电子轰击熔炼炉熔炼：将所述粗坯置入电子轰击熔炼炉进行熔炼，获得高钪铝钪合金靶材或粉末冶金制靶前级材料。本发明通过集成创新工艺，克服了现有技术工艺存在的诸多缺陷，利用各相关工艺的优点实现协同作用，可以制备出高品质的高钪铝钪合金靶材，或为粉末冶金法制备高钪铝钪合金靶材提供优质前级材料。
高含钪量铝钪合金靶材前级材料制备方法

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