专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]制备由锆铅制成的薄膜的方法-CN201280018356.7有效
  • 卡斯顿·吉伯乐;尼尔·康威 - 派洛斯有限公司
  • 2012-02-13 - 2014-01-29 - C23C14/08
  • 本发明涉及一种制备由呈111取向的钙矿结构的锆铅制成的薄膜的方法,其包含以下步骤:提供衬底温度高于450℃的衬底以及靶材、锆靶材和靶材;通过将来自相应靶材的、锆和溅射到所述衬底上来施加所述薄膜,其中、锆和的总沉积速率大于10nm/min,选择锆的沉积速率以使得所述薄膜中锆的原子浓度相对于锆和的原子浓度在0.2与0.3之间,且视衬底温度以及、锆和的总沉积速率而定,选择足够低的的沉积速率以使得111取向的锆的X射线衍射图在33°到35.5°的衍射角范围内具有显著峰值(19);以及完成所述薄膜。
  • 制备锆钛酸铅制薄膜方法

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