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[发明专利]钼铌靶坯的制造方法-CN201611045349.2在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;段高林 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-11-24 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种钼铌靶坯的制造方法，包括：提供钼、铌混合粉末；将所述钼、铌混合粉末装入模具后，对所述钼、铌混合粉末进行热压烧结工艺，形成钼铌合金；将所述钼铌合金从所述模具中取出，获得钼铌靶坯。本发明将提供的钼、铌混合粉末装入模具后，对所述钼、铌混合粉末进行热压烧结工艺，形成钼铌合金；将所述钼铌合金从所述模具中取出后，获得钼铌靶坯。通过本发明所述方案，可以提供一种适用于工业化大型生产的钼铌靶坯制造方法，从而不仅可以形成大尺寸的钼铌靶坯，且使所形成钼铌靶坯的致密度达到99％及以上，获得微观结构均匀且满足溅射靶材性能要求的钼铌靶坯。
铌靶混合粉末钼铌合金模具热压烧结装入取出制造溅射靶材微观结构性能要求生产

[发明专利]一种高压坯强度钨粉的制备方法-CN202210132908.2有效
发明人：张龙辉;周俊安;徐国钻;刘莉;傅雨;田承明;李重义 -专利权人：崇义章源钨业股份有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B22F9/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种高压坯强度钨粉的制备方法，为了进一步改进现有技术中钨粉的制备方法对特定原料的依赖，并进一步提高钨粉的压坯强度。本发明通过对钨粉制备过程中的具体还原工艺进行改进，通过控制氢气还原过程中第一还原过程、第二还原过程和第三还原过程的氢气流量和进出气流量比，并进一步控制还原温度和时间，从而制备得到更高压坯强度的钨粉。本发明的高压坯强度钨粉的制备方法，可适用于黄钨、蓝钨、紫钨等多种广泛的氧化钨原料，无需采用特殊种类的氧化钨原料，即可稳定制备出压坯强度≥4.7MPa钨粉，应用市场前景非常广阔。
一种高压强度制备方法

[发明专利]氧化镁氧化锌靶坯的制造方法-CN201611245666.9在审
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;王钜宝 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2016-12-29 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明提供一种氧化镁氧化锌靶坯的制造方法，包括：提供氧化锌、氧化镁混合粉末；将所述氧化锌、氧化镁混合粉末装入模具后，对所述氧化锌、氧化镁混合粉末进行热压烧结工艺，形成氧化镁氧化锌合金；将所述氧化镁氧化锌合金从所述模具中取出，获得氧化镁氧化锌靶坯。相比常压烧结或冷压成型工艺的方案，本发明所述方案可以提高所形成氧化镁氧化锌靶坯的致密度以及微观结构均匀性、降低所述氧化镁氧化锌靶坯出现裂纹的概率，使所述氧化镁氧化锌靶坯的致密度可以达到98％及以上，且使所述氧化镁氧化锌靶坯具有均匀的色泽，从而提高所形成氧化镁氧化锌靶坯的性能，使所述氧化镁氧化锌靶坯具有稳定的物理性能且满足溅射靶材性能要求。
氧化镁氧化锌靶混合粉末氧化锌氧化锌合金模具冷压成型工艺常压烧结溅射靶材热压烧结微观结构物理性能性能要求均匀性装入取出制造概率

[发明专利]一种金属旋转靶材及其制备方法和应用-CN201910690077.9有效
发明人：张科;陈钦忠;林志河;曹建亮 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种金属旋转靶材及其制备方法和应用，属于集成电路和平面显示制造技术领域。本发明提供的金属旋转靶材的制备方法，包括以下步骤：将金属板坯依次进行铣削、轧制、再结晶处理和车铣，得到金属靶坯；将所述金属靶坯依次进行弯曲变形和对焊，得到金属管状靶坯；将所述金属管状靶坯与不锈钢管绑定后，得到金属旋转靶材。本发明提供的制备方法能够有效地提高靶材的组织均匀性，极大地提高靶材利用率，且靶材致密度高，内部无缺陷，成品率高，制造成本低。
一种金属旋转及其制备方法应用

[发明专利]一种高能X射线靶-CN202310412034.0在审
发明人：王琦标;杨红超;谢波;邓超;庹先国;唐瑛鸿;梁国华 -专利权人：四川轻化工大学
申请日： 2023-04-18 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高能X射线靶，涉及X射线成像和检测设备技术领域，包括钨靶、水冷却系统和双层滤波片，钨靶的正面为用于接收电子束的接收面，背面为用于发射X射线束的发射面，水冷却系统包括冷却水管；冷却水管设置贴合于钨靶边缘的热传递面，热传递面沿冷却水管的长度方向为弧形面，宽度方向为平面，冷却水管的一端为用于通入冷却水的冷却水进口，另一端为用于排出热水的热水出口；双层滤波片正对钨靶的发射面。
一种高能射线

[发明专利]一种钨铜材料及其制备方法与应用-CN202211643911.7在审
发明人：廖启顺;刘春佳;陈阿娇;柯良金 -专利权人：厦门钨业股份有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C22F1/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种钨铜材料及其制备方法与应用，所述制备方法包括如下步骤：对搭接摆放的钨压坯、铜镍合金与熔渗桥进行烧结熔渗处理，冷却后分离所述钨压坯与熔渗桥，得到所述钨铜材料；所述烧结熔渗处理包括至少3次热处理本发明采用铜镍合金与间接熔渗方式配合，以及至少3次热处理，实现了钨压坯烧结与熔渗的同步进行，且制备温度较低，所得钨铜材料中铜分布均匀，具有较高的密度。
一种材料及其制备方法应用

[发明专利]一种靶材的制作方法-CN201811146501.5有效
发明人：陈钦忠;陈宝忠;林志河;蔡小勇;邱树将 -专利权人：福建阿石创新材料股份有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开一种靶材的制作方法。所述制作方法包括：采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层；采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层；所述第二膜层与所述第一膜层材质相同；用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干；将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上；叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触；打开所述加热平台，调节温度范围，所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点，且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围；保温保压1小时后关闭所述加热平台；冷却后，完成所述靶坯与所述背板的结合，完成靶材的制作。采用本发明靶材的制作方法，可以提高靶材的结合率，提高靶材的质量。
一种制作方法

[发明专利]栅极电极及其形成方法-CN200610147870.7有效
发明人：向阳辉;荆学珍 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-12-25 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：一种栅极电极的形成方法，包括：提供半导体衬底，在半导体衬底上依次形成栅介质层、掺杂多晶硅层、金属钨层、氮化钨层及难熔金属层；对半导体衬底进行退火步骤，退火后，所述金属钨层及氮化钨层与掺杂多晶硅层反应生成硅化钨层、氮硅化钨层及残留的氮化钨层，采用本发明生成的栅极电极，由于生成的硅化钨及氮硅化钨具有较小的厚度，能够起到阻挡难熔金属层及氮化钨与向掺杂多晶硅层扩散，同时形成的栅极电极的界面电阻较小。
栅极电极及其形成方法

[发明专利]一种钨铜功能梯度材料的制备方法-CN202111267557.8有效
发明人：林基辉;赵娟;孙海霞;范文博;张腾;朱博 -专利权人：西安瑞福莱钨钼有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B22F3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种钨铜功能梯度材料的制备方法，该方法包括：一、将钨粉和诱导铜粉按照不同的质量比例混合配制得到一系列梯度钨粉质量含量的钨铜合金粉；二、装套密封后经冷等静压压制得到多层钨铜梯度材料压坯；三、将多层钨铜梯度材料压坯中钨粉含量最低的一端与铜块拼接后放进行熔渗‑焊接，得到钨铜功能梯度材料烧结坯；四、装套后经热等静压处理得到钨铜功能梯度材料。本发明通过控制钨铜合金粉的质量配比，使得钨铜梯度材料压坯中各压层中均预留孔隙且孔隙率不相同，然后与铜块拼接进行熔渗‑焊接，利用铜块熔渗依次进入各层孔隙中将不同的钨铜梯度材料连接，提高了钨铜功能梯度材料的层间结合强度以及整体强度
一种功能梯度材料制备方法

[发明专利]一种LCD钼靶材及其轧制方法与应用-CN202011458259.2有效
发明人：姚力军;郭红波;潘杰;王学泽;丁跃跃 -专利权人：宁波江丰钨钼材料有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种LCD钼靶材及其轧制方法与应用，所述轧制方法包括以下步骤：(1)在第一温度下加热钼靶坯并保温，进行第一火次轧制，得到第一钼靶坯；(2)在第二温度下加热步骤(1)所得第一钼靶坯并保温，进行第二火次轧制，得到第二钼靶坯；(3)在第三温度下加热步骤(2)所得第二钼靶坯并保温，进行第三火次轧制，校平后得到LCD钼靶材；其中，所述第一火次轧制、第二火次轧制与第三火次轧制分别独立地包括2‑4个道次。本发明提供的轧制方法避免了钼靶坯在轧制过程中发生板面绕曲及开裂现象，降低了操作难度，提高了成材率。
一种 lcd 钼靶材及其轧制方法应用

[发明专利]一种榴弹用钨珠垫的制造方法-CN201610605670.5有效
发明人：康俊;张越;赵国明;罗君;康会;康义;林炽余 -专利权人：深圳市注成科技有限公司
申请日： 2016-07-28 - 公布日： 2018-11-20 - 主分类号： B22F5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种榴弹用钨珠垫的制造方法，该方法包括：将预定重量的混合料置于高速混合机中，并加入成型剂，混合以形成喂料；将喂料置于双螺杆机中反复挤出预定次数；将挤出的喂料加入注塑机料斗中以进行电加热形成熔融状态，并将熔融状态的喂料注射入第一模腔，得到预定形状的钨珠注塑坯；对钨珠注塑坯脱脂处理；对钨珠注塑坯进行烧结处理形成钨珠合金；对钨珠合金进行精磨处理；对钨珠合金进行热处理，从而形成钨珠产品；将钨珠产品置于第二模腔，并在第二模腔注入熔融状态的成型剂，在对钨珠产品和成型剂进行注塑，以形成钨珠垫。通过以上方式，本发明提供了一种钨珠垫制备方法，可准确控制钨珠尺寸，并能进一步提高钨珠磨削合格率。
一种榴弹用钨珠垫制造方法

[发明专利]一种管状靶材的内旋转高温烧结方法-CN201810466234.3在审
发明人：舒永春;陈杰;孙本双;曾学云;刘洋 -专利权人：郑州大学
申请日： 2018-05-16 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： C04B35/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种管状靶材的内旋转高温烧结方法，包括管状靶材素坯成型、加热烧结管状靶材素坯，加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态，以及，降温直至室温、得到烧结好的管状靶材。本发明实施例公开的管状靶材的内旋转高温烧结方法，能够制备出收缩均匀、无开裂、无烧结变形的管状靶材，制备方法简单，易于工业化应用。
管状靶材高温烧结内旋转烧结素坯制备工业化应用加热过程烧结变形素坯成型旋转状态加热收缩

[发明专利]一种溅射钽靶材的回收利用方法-CN202310634519.4在审
发明人：姚力军;潘杰;李桂鹏;袁玉博 -专利权人：同创（丽水）特种材料有限公司
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种溅射钽靶材的回收利用方法，所述方法包括：去除所述溅射钽靶材的背板，得到钽靶坯；对所述钽靶坯进行平整处理和轧制处理；对所述钽靶坯进行酸洗热处理，冷却后进行机加工得到成品钽靶材。所述方法对回收的钽靶进行二次加工，生产周期短，无需增加额外的加工设备；提高材料利用率，降低生产成本。
一种溅射钽靶材回收利用方法

[发明专利]一种一体型大尺寸钛靶材的焊接方法-CN202211154098.7在审
发明人：姚力军;潘杰;宋阳阳;周鹏飞;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B23K31/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种一体型大尺寸钛靶材的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)将钛靶坯依次进行第一局部加压处理、第一热处理、第二热处理和第三热处理，得到第一靶坯；(2)将背板进行第四热处理，得到第一背板；(3)将步骤(1)得到的所述第一靶坯和步骤(2)得到的所述第二背板的焊接面涂覆铟焊料，然后进行浸润处理，得到第二靶坯和第二背板；(4)将步骤(3)得到的所述第二靶坯和第二背板进行组装，得到靶材组件，然后依次进行第二局部加压处理和冷却，得到钛靶材。本发明提供的焊接方法能够有效解决大尺寸钛靶材的温度区域差异问题和浸润困难问题，有效提高靶材组件的焊接结合率。
一种体型尺寸钛靶材焊接方法

[发明专利]钨钛管靶的制造方法-CN201510351156.9有效
发明人：姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李力平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2015-06-19 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： B22F3/16 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛管靶的制造方法，其中所述方法包括：提供钨、钛混合粉末和不锈钢；对所述钨、钛混合粉末和不锈钢进行冷等静压工艺，形成钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料；将所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料装入真空包套并对所述真空包抽真空后，对所述钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料进行热等静压工艺；去除所述真空包套，获得钨钛管靶。通过所述冷等静压工艺，使所述钨、钛混合粉末和不锈钢预成型化，形成半致密性的钨、钛混合粉末和不锈钢初始坯料，并使后续的热等静压工艺可以进行更好的致密；再通过热等静压工艺，向所述真空包套施加各向均等且全方位的气体压力，最终获得高致密度的、组织结构更均匀的半导体用钨钛管靶。
钨钛管靶制造方法