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[发明专利]一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品-CN201510050629.1在审
发明人：吕继磊;江南;马付根;朱金凤;白华;戴丹 -专利权人：宁波晨鑫维克工业科技有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2016-10-05 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件表面镀金刚石膜装置及使用该装置制得的产品，所述工件表面镀金刚石膜装置包括：镀膜模块、气控模块、温控模块。本发明还公开了一种用所述的工件表面镀金刚石膜装置调控反应腔温度的方法和一种使用所述工件表面镀金刚石膜装置沉积金刚石膜的方法以及使用所述方法制得的表面镀金刚石膜的工件。使用所述装置制得的表面镀金刚石膜的工件表面的金刚石膜厚度均匀，且金刚石膜与工件表面的结合性能优异。
一种工件表面镀金刚石装置使用产品

[发明专利]金刚石自支撑膜-金刚石颗粒-金属复合材料的制备方法-CN201310231261.X有效
发明人：李成明;魏俊俊;黑立富;刘金龙;陈良贤;朱瑞华;郭建超;化称意;吕反修 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2013-06-09 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： C22C26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种金刚石自支撑膜-金刚石颗粒-金属复合材料的制备方法，首先将金刚石自支撑膜激光切割成形，对金刚石颗粒和金刚石自支撑膜条表面镀覆金属过渡层，其后将铜粉和金刚石颗粒进行混合均匀，在所需的散热体形状的模具中将金刚石自支撑膜条规则埋放铜粉和金刚石颗粒的混料中，然后进行热压成型和表面加工；得到所述复合材料。本发明的主要优点在于在金刚石自支撑膜条的方向热导率增加显著，同时金刚石颗粒和金刚石自支撑膜条表面的金属过渡层，通过烧结后改善了金刚石颗粒和金刚石自支撑膜条与铜的浸润性，减小铜与金刚石颗粒和金刚石自支撑膜条之间的界面热阻
金刚石支撑颗粒金属复合材料制备方法

[发明专利]金刚石膜被覆工具及其制造方法-CN200380110412.0有效
发明人：风早克夫;河合成宜;松本宁;石桥惠二;今井贵浩 -专利权人：联合材料公司;住友电气工业株式会社
申请日： 2003-11-12 - 公布日： 2006-08-16 - 主分类号： B23B27/14 文献下载
摘要：本发明提供一种切削性能、耐磨性、耐溶敷性、加工表面粗糙度良好的金刚石膜被覆工具及其制造方法。金刚石膜被覆工具，是在基材的表面上覆盖金刚石的膜的金刚石膜被覆工具，其中，所述基材是超硬合金或金属陶瓷，构成所述金刚石膜的成长表面的金刚石结晶颗粒的平均颗粒直径在1.5μm以下，所述金刚石膜的厚度在0.1μm以上20μm以下，所述金刚石膜的平均表面粗糙度用Ra表示在0.01μm以上0.2μm以下。通过对由超硬合金或金属陶瓷构成的基材进行渗碳处理，使金刚石膜成长来得到这样的金刚石膜被覆工具。
金刚石被覆工具及其制造方法

[发明专利]金刚石膜穿孔加工的方法和系统-CN202011621656.7在审
发明人：魏潇赟;王俊友;杨勇;邓抄军;汪波 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： B23K26/382 文献下载
摘要：本申请公开了一种金刚石膜穿孔加工的方法和系统，属于激光穿孔领域。所述方法包括：将待穿孔的金刚石膜固定于加工台的表面；使用喷液器，在所述金刚石膜的远离所述加工台的表面，持续喷射液体，以形成流动的液膜；使用激光器，在所述液膜的远离所述金刚石膜的表面，辐射激光束，得到具有通孔的金刚石膜采用本申请，喷射的飞溅物漂浮在液膜的表面，并随着液膜的流动，脱离金刚石膜，能够减少甚至避免飞溅物对金刚石膜的表面的烧灼，进而提升金刚石膜的表面平整度。
金刚石穿孔加工方法系统

[发明专利]一种超高导热连续金刚石骨架增强复合材料及制备方法-CN201610162488.7有效
发明人：马莉;魏秋平;周科朝;余志明;李志友;张龙;叶文涛 -专利权人：中南大学
申请日： 2016-03-21 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： C22C26/00 文献下载
摘要：一种超高导热连续金刚石骨架增强复合材料及制备方法，所述复合材料由连续的金刚石增强体与基体材料组成，其中连续金刚石增强体由金刚石颗粒预制体通过CVD方法沉积金刚石膜或金刚石复合膜组成，金刚石复合膜为石墨烯包覆金刚石膜、碳纳米管包覆金刚石膜，基体材料为金属或聚合物；本发明将金刚石粉末制成预坯体，再通过化学气相沉积技术在金刚石预坯体表面沉积金刚石膜，在相邻金刚石颗粒接触位置形成金刚石膜，使孤立的金刚石颗粒之间形成连续导热通道沉积的金刚石膜可作为金刚石颗粒之间的导热桥梁，使本身弥散的金刚石颗粒形成联通结构，从而使复合材料充分利用金刚石的高导热性能，极大提高复合材料的热导率。
一种超高导热连续金刚石骨架增强复合材料制备方法

[实用新型]一种聚晶金刚石复合片-CN201721579432.8有效
发明人：唐永炳;谷继腾;杨扬 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种聚晶金刚石复合片，包括硬质合金基体和设于所述硬质合金基体上的聚晶金刚石层，所述聚晶金刚石层包括自支撑金刚石膜和金刚石颗粒，所述自支撑金刚石膜包括一第一柱状自支撑金刚石膜和分布于所述第一柱状自支撑金刚石膜周围的多个第二柱状自支撑金刚石膜，所述第一柱状自支撑金刚石膜和所述第二柱状自支撑金刚石膜均垂直设置于所述硬质合金基体的表面，所述第一柱状自支撑金刚石膜横截面的面积大于所述第二柱状自支撑金刚石膜横截面的面积，所述金刚石颗粒均匀地分散于所述第一柱状自支撑金刚石膜和所述第二柱状自支撑金刚石膜周围本实用新型提供的聚晶金刚石复合片具有优异的导热性能，抗冲击性能。
自支撑金刚石膜柱状聚晶金刚石复合片硬质合金基体聚晶金刚石层本实用新型金刚石颗粒抗冲击性能垂直设置导热性能

[发明专利]高比表面金刚石电极的制备方法-CN200810048453.6无效
发明人：满卫东;汪建华;谢鹏;孙蕾;陈朋;余学超 -专利权人：武汉工程大学
申请日： 2008-07-18 - 公布日： 2009-02-04 - 主分类号： C25B11/04 文献下载
摘要：本发明属于金刚石电极制备领域。高比表面金刚石电极的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)金属电极的清洗；2)导电金刚石膜的制备；3)在导电的金刚石膜表面制备固体刻蚀材料；4)等离子体辅助固体接触法腐蚀金刚石膜表面；5)用酸溶液溶解金刚石膜表面的残留固体刻蚀材料，得高比表面金刚石电极。
比表面金刚石电极制备方法

[发明专利]金刚石自支撑膜的制备方法和金刚石自支撑膜-CN202111592333.4在审
发明人：何斌;黄江涛;陈文婷;韩培刚;马莞杰;龙宇豪;李兴宇;张宗雁 -专利权人：深圳技术大学
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本发明涉及金刚石技术领域，具体公开一种金刚石自支撑膜的制备方法和金刚石自支撑膜，其中金刚石自支撑膜的制备方法包括：在基材上生长保护层，使所述保护层至少生长于所述基材的周向侧面；对所述基材的上表面和下表面中的至少一者进行预处理，使所述上表面和/或所述下表面形成金刚石晶核；在具有所述金刚石晶核的表面生长金刚石自支撑膜；将所述金刚石自支撑膜与所述基材和所述保护层剥离。采用本发明的制备方法得到的金刚石自支撑膜具有尺寸大、面密度均匀、晶粒尺寸均匀、晶体形貌完整的特点。
金刚石支撑制备方法

[发明专利]一种多晶金刚石膜的抛光方法-CN202111092116.9有效
发明人：冯曙光;于金凤;李光存 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C30B33/12 文献下载
摘要：本发明属于金刚石加工技术领域，具体公开了一种多晶金刚石膜的抛光方法，包括以下步骤：S1.清洗金刚石膜，然后干燥；S2.将铁、钴、镍、铜及其氧化物或氢氧化物中的一种或多种混合物配置成凝胶溶液或浆料，均匀旋涂在金刚石膜表面，得旋涂后的金刚石膜；S3.低温烘干金刚石膜；S4.将低温烘干后的金刚石膜进行刻蚀，得刻蚀后的金刚石膜；S5.将金刚石膜进行酸洗，酸洗完成后使用丙酮、无水乙醇、去离子水清洗；S6.将金刚石膜进行化学机械抛光；S7.清洗金刚石膜。本发明方法可有效避免多晶金刚石表面的损伤及破裂，提高抛光质量，节约成本。
一种多晶金刚石抛光方法

[发明专利]一种金刚石复合片及其制备方法-CN201810968282.2在审
发明人：易剑;江南;褚伍波 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2018-08-23 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本申请公开了一种金刚石复合片，所述金刚石复合片包括单晶金刚石片和多晶金刚石膜；所述多晶金刚石膜包裹所述单晶金刚石片的外缘表面；所述单晶金刚石片的中心与所述金刚石复合片的中心重合。本申请将单晶金刚石和多晶金刚石进行复合，用于改善整个金刚石片的内部结构和功能。该金刚石复合片成本低廉、性能优异。
一种金刚石复合及其制备方法

[发明专利]设有金刚石/石墨烯复合润滑膜的工件及其制备方法-CN201711039650.7在审
发明人：唐永炳;谷继腾;杨扬 -专利权人：深圳先进技术研究院
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： C23C16/01 文献下载
摘要：本发明提供了一种设有金刚石/石墨烯复合润滑膜的工件，包括工件本体以及设置在工件本体表面的金刚石/石墨烯复合润滑膜，金刚石/石墨烯复合润滑膜包括设置在工件本体表面的超纳米金刚石薄膜以及设置在超纳米金刚石薄膜上的石墨烯层金刚石/石墨烯复合润滑膜可以明显提高工件的耐摩擦性能。本发明还提供了一种设有金刚石/石墨烯复合润滑膜的工件的制备方法，包括：在工件本体上沉积超纳米金刚石薄膜，然后在超纳米金刚石薄膜表面沉积过渡金属层；将沉积有过渡金属层和超纳米金刚石薄膜的工件本体置于热丝气相沉积室腔体中进行退火处理，在工件本体表面制得金刚石/石墨烯复合润滑膜，退火温度为1000‑1300℃，退火时间为1‑3min。
复合润滑膜金刚石石墨烯工件本体纳米金刚石薄膜退火过渡金属层沉积制备耐摩擦性能表面沉积气相沉积石墨烯层退火处理热丝室腔

[发明专利]一种焊接强度高的金刚石膜及其制备方法和应用-CN202210728772.1有效
发明人：王升高;王戈明;方佳琳;谭阳;周鑫雨;肖周明;汪子鸣;王显磊;邹伟 -专利权人：武汉工程大学
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种焊接强度高的金刚石膜及其制备方法和应用。该金刚石膜包括金属碳化物颗粒、金刚石层和金刚石晶粒，其中所述金刚石层下表面布设有凸起的金属碳化物颗粒，所述金属碳化物颗粒部分嵌入于所述金刚石层中；所述金刚石层上表面布设有凸起的金刚石晶粒，所述金刚石晶粒与金刚石层一体生长而成本发明采用热丝化学气相沉积法，可以简单的将碳化物嵌入金刚石层的下表面，同时在沉积后期通过施加偏压的改变，合理控制金刚石生长面的结构，得到与金刚石层一体生长的凸起的金刚石晶粒。该金刚石膜用于钎焊时，可形成有效的粘结，显著提高钎焊时的焊接强度，且制备方法简单，有利于工业化应用。
一种焊接强度金刚石及其制备方法应用

[发明专利]一种用于金刚石膜抛光的等离子体刻蚀法及其产品-CN202110757175.7有效
发明人：高冀芸;刘晨辉;王访;杨黎;郭胜惠;冯曙光 -专利权人：云南民族大学;昆明理工大学
申请日： 2021-07-05 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于金刚石膜抛光的等离子体刻蚀法及其产品，属于金刚石膜制备与抛光技术领域。本发明采用微波化学气相沉积法沉积出初始金刚石膜，初始金刚石膜沉积完成后进行微波等离子体刻蚀，获得金刚石膜。本发明采用无接触法对金刚石膜抛光，选择性刻蚀(111)晶面锥顶，大幅度降低金刚石膜表面的粗糙度，可用于对金刚石膜光学镜头、热沉积金刚石膜等器件的抛光，具有广阔的应用前景。
一种用于金刚石抛光等离子体刻蚀及其产品

[发明专利]一种带悬臂结构金刚石及其制备方法-CN201910941388.8有效
发明人：黄翀;彭琎 -专利权人：长沙新材料产业研究院有限公司
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： C30B25/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种带悬臂结构金刚石及其制备方法，方法包括：在金刚石表面沉积非金属材料；对金刚石结构表面进行磨平、抛光处理；在光滑金刚石结构制备掩膜层，然后在掩膜层金刚石面生长金刚石；然后激光切割、磨抛；并去除掩膜层及填充材料，得到悬臂结构金刚石。制备方法制备的悬臂结构金刚石，应用于芯片中，具有非常高的灵敏度和可靠性。
一种悬臂结构金刚石及其制备方法

[发明专利]一种红外增透高导电金刚石半导体的制备方法-CN202210240442.8有效
发明人：刘金龙;贾燕伟;何健;李成明;陈良贤;魏俊俊;郑宇亭;欧阳晓平 -专利权人：北京科技大学
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C23C16/26 文献下载
摘要：一种红外增透高导电金刚石半导体的制备方法，属于金刚石功能光电材料领域。通过在金刚石表面生长氢终端纳米碳膜实现金刚石在近红外和长波红外波段增透，同时表面呈现高迁移率P型导电特征，工艺步骤为：a.将光学级单晶或微米晶金刚石自支撑膜双面抛光至表面粗糙度低于1nm；b.将金刚石置于低温氢等离子体中，刻蚀抛光态的表面，裸露出洁净的碳的悬挂键通入甲烷，引入碳源，在光学级金刚石膜表面无界面生长纳米碳膜；c.通过控制金刚石生长温度与时间，在金刚石表面生长出特定厚度的SP2/SP3键混合的纳米碳膜；d.关闭碳源，用氢等离子体活化得到氢终端纳米碳膜表面，实现金刚石表面的导电性增强，进而实现红外增透高导电金刚石半导体的制备。
一种红外增透高导电金刚石半导体制备方法

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