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- [实用新型]一种钢管椅腿精密打磨设备-CN201620235258.4有效
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王海华
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安吉县聚源家具有限公司
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2016-03-25
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2016-08-10
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B24B27/00
- 所述打磨装置包括打磨组件、驱动打磨组件转动的驱动组件、控制打磨组件与椅腿端部接触或分离的推送组件,所述打磨组件包括对椅腿端部进行打磨的打磨盘和对椅腿端部的内孔进行打磨的打磨头;所述打磨组件与上料装置之间设有使椅腿轴线与打磨组件转动轴线保持同轴的轴线对准装置,所述轴线对准装置包括对准块和贯穿于对准块上的对准孔。本实用新型具有加工精度高和加工效率高的优点,通过设置对准孔,能够自动将椅腿轴线与打磨中心对准,提高了打磨精度,而且通过一次打磨就能对椅腿端面和内壁进行打磨,从而提高了加工效率。
- 一种钢管精密打磨设备
- [发明专利]预对准装置及应用于该装置的预对准方法-CN202010001290.7有效
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不公告发明人
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长鑫存储技术有限公司
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2020-01-02
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2022-03-22
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H01L21/68
- 本发明实施方式提供一种预对准装置及应用于该装置的预对准方法,预对准装置包括:承载台,承载台具有中心轴线,用于承载晶圆并带动晶圆绕承载台的中心轴线旋转;位置检测模块,位置检测模块用于检测晶圆的中心轴线相对于承载台的中心轴线的偏移矢量;控制模块,基于偏移矢量调整后一片晶圆放置在承载台上的位置;预对准模块,用于检测经由控制模块调整的晶圆的缺口位置。通过不断地检测和补偿,保证晶圆被放置的位置不会出现过大的偏差,从而保证预对准模块能检测到晶圆的缺口,防止预对准模块因找不到晶圆的缺口而导致的机台停机的现象,提高了预对准模块的检测效率,从而提高了晶圆产品的产出量
- 对准装置应用于方法
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