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[发明专利]一种超高真空样品输运系统-CN201611096440.7有效
发明人：何亮;王克杰;刘文卿;徐高翔;徐永兵 -专利权人：南京大学
申请日： 2016-12-02 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G01N35/02 文献下载
摘要：本发明公开了超高真空样品输运系统，包括超高真空样品输运小车和串联的超高真空样品室，串联的超高真空样品室之间设有闸板阀片，超高真空样品室铺设轨道；且所述的超高真空样品输运小车主要由2个超高真空样品存储台，超高真空样品存储台顶端均设有固定在样品存储台的永磁铁，设有隔磁金属板隔离在2个超高真空样品存储台之间，超高真空样品输运小车下部设有4‑6个独特的小车导向轮，且小车导向轮在所述轨道上运行，串联的超高真空样品室外表面设有驱动磁铁实现在超高真空传送系统内同时完成16块样品的输运。 1
超高真空样品存储台样品输运样品室样品输运系统串联小车导向轮小车传送系统驱动磁铁室外表面金属板永磁铁闸板阀隔磁轨道输运隔离铺设

[实用新型]一种天然气氖同位素组成测量装置-CN201820924498.4有效
发明人：李立武;高梓涵;曹春辉 -专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所兰州油气资源研究中心
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：一种天然气氖同位素组成测量装置,包括稀有气体质谱仪、活性炭冷阱Ⅰ、活性炭冷阱Ⅱ和天然气钢瓶；天然气钢瓶通过高真空管线经活性炭冷阱Ⅰ连有高真空系统；高真空管线通过管线连有超高真空管线，该超高真空管线的一端依次连有活性炭冷阱Ⅱ、稀有气体质谱仪，其另一端连有超高真空系统；天然气钢瓶与活性炭冷阱Ⅰ之间的高真空管线上依次设有减压阀、高真空阀Ⅰ、高真空阀Ⅱ、薄膜真空计；活性炭冷阱Ⅰ经高真空阀Ⅲ与高真空管线相连；高真空系统与管线之间的高真空管线上设有高真空阀Ⅳ；管线上设有超高真空阀Ⅰ；超高真空系统与管线之间的超高真空管线上设有超高真空阀Ⅱ；活性炭冷阱Ⅱ经超高真空阀Ⅲ与超高真空管线相连；稀有气体质谱仪与活性炭冷阱Ⅱ之间的超高真空管线上设有超高真空阀Ⅳ；本实用新型测量结果更精确
活性炭冷阱超高真空高真空超高真空阀高真空阀天然气钢瓶稀有气体质谱仪超高真空系统高真空系统测量装置氖同位素减压阀天然气薄膜真空计本实用新型无干扰

[发明专利]一种空间质谱计测量及校准装置-CN202211671588.4有效
发明人：葛金国;张虎忠;姚鹏;马卓娅;陈会颖 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J49/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种空间质谱计测量及校准装置，包括高压气瓶、混合腔室以及超高真空腔室，其中：高压气瓶为多个，多个高压气瓶均与混合腔室连接；超高真空腔室包括依次连接的第一超高真空腔室、第二超高真空腔室以及第三超高真空腔室；混合腔室通过微调阀与第二超高真空腔室连通，通过截止阀与第一超高真空腔室连通；第一超高真空腔室的进口设置有脉冲弹簧阀和电离电极；第二超高真空腔室的进口设置有锥形孔，第二超高真空腔室的内部设置有脉冲电极；第三超高真空腔室内部设置有离子检测器。
一种间质测量校准装置

[发明专利]一种天然气氖同位素组成测量装置及方法-CN201810615650.5有效
发明人：李立武;高梓涵;曹春辉 -专利权人：中国科学院西北生态环境资源研究院
申请日： 2018-06-14 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：天然气钢瓶通过高真空管线经活性炭冷阱Ⅰ连高真空系统；高真空管线通过管线连超高真空管线，该超高真空管线连活性炭冷阱Ⅱ、稀有气体质谱仪、超高真空系统；天然气钢瓶与活性炭冷阱Ⅰ之间设减压阀、高真空阀Ⅰ、Ⅱ、薄膜真空计；活性炭冷阱Ⅰ经高真空阀Ⅲ与高真空管线相连；高真空系统与管线之间设高真空阀Ⅳ；管线上设超高真空阀Ⅰ；超高真空系统与管线之间设超高真空阀Ⅱ；活性炭冷阱Ⅱ经超高真空阀Ⅲ与超高真空管线相连；稀有气体质谱仪与活性炭冷阱Ⅱ之间设超高真空阀Ⅳ。
一种天然气同位素组成测量装置方法

[发明专利]超高真空原位微型薄膜与电极生长系统-CN201910841787.7在审
发明人：王文杰 -专利权人：仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2019-11-26 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，包括超高超高真空腔体部和样品传递系统，所述样品传递系统包括第一传样杆和第二传样杆，所述第一传样杆和所述第二传样杆分别位于所述超高真空腔体部的侧端并且分别与超高真空腔体部刀口法兰密封连接；所述样品制备机构包括样品台和位置调节机构，所述样品制备机构位于所述超高真空腔体部的上端并且部分内嵌于所述超高真空腔体部，所述样品制备机构与所述超高真空腔体部通过刀口法兰密封连接。本发明公开的一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，其可以通过在超高真空内原位薄膜生长和电极生长制作微型复杂图案的输运测试样品。
超高真空腔传样杆超高真空电极生长样品制备样品传递系统刀口法兰密封连接微型薄膜位置调节机构薄膜生长测试样品复杂图案上端样品台侧端内嵌输运制作

[实用新型]超高真空原位微型薄膜与电极生长系统-CN201921478830.X有效
发明人：王文杰 -专利权人：仪晟科学仪器（嘉兴）有限公司
申请日： 2019-09-06 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： G01Q60/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，包括超高超高真空腔体部和样品传递系统，所述样品传递系统包括第一传样杆和第二传样杆，所述第一传样杆和所述第二传样杆分别位于所述超高真空腔体部的侧端并且分别与超高真空腔体部刀口法兰密封连接；所述样品制备机构包括样品台和位置调节机构，所述样品制备机构位于所述超高真空腔体部的上端并且部分内嵌于所述超高真空腔体部，所述样品制备机构与所述超高真空腔体部通过刀口法兰密封连接。本实用新型公开的一种超高真空原位微型薄膜与电极生长系统，其可以通过在超高真空内原位薄膜生长和电极生长制作微型复杂图案的输运测试样品。
超高真空原位微型薄膜电极生长系统

[发明专利]一种超高真空多功能综合测试系统-CN201010171385.X有效
发明人：杨晋玲;刘云飞;解婧;杨富华 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2010-05-07 - 公布日： 2010-09-29 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微纳器件表面处理、表面修饰、原位表征的超高真空多功能综合测试系统，包括：第一超高真空室；第二超高真空室，该第二超高真空室与第一超高真空室真空密封连接；常压室，该常压室与第二超高真空室真空密封连接；以及一系统支架，该系统支架为一矩形框架；其中，该第一超高真空室、第二超高真空室和常压室固定于该系统支架，形成超高真空测试系统。
一种超高真空多功能综合测试系统

[发明专利]一种超高真空红外光谱原位分析系统-CN201810974831.7在审
发明人：严洁;刘建;高平;孙晓军;刘维民 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： G01N21/3563 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高真空红外光谱原位分析系统，包括红外光谱仪，该系统还包括与超高真空样品室相连的样品控制装置和超高真空获得装置；超高真空样品室两侧设有超高真空KBr红外窗口；超高真空获得装置包括无油机械泵、涡轮分子泵和溅射离子泵；样品控制装置由微分头通过轴、杆控制其下方的样品架，并与超高真空样品室采用金属封接，通过波纹管进行力及运动的传递。
一种超高真空红外光谱原位分析系统

[实用新型]一种超高真空红外光谱原位分析系统-CN201821375106.X有效
发明人：严洁;刘建;高平;孙晓军;刘维民 -专利权人：中国科学院兰州化学物理研究所
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： G01N21/3563 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超高真空红外光谱原位分析系统，包括红外光谱仪，该系统还包括与超高真空样品室相连的样品控制装置和超高真空获得装置；超高真空样品室两侧设有超高真空KBr红外窗口；超高真空获得装置包括无油机械泵、涡轮分子泵和溅射离子泵；样品控制装置由微分头通过轴、杆控制其下方的样品架，并与超高真空样品室采用金属封接，通过波纹管进行力及运动的传递。
超高真空红外光谱原位分析样品室样品控制装置本实用新型获得装置模拟空间环境红外光谱仪溅射离子泵涡轮分子泵红外窗口金属封接波纹管机械泵微分头样品架无油传递

[发明专利]一种可实现超高真空系统间样品转移的真空腔室及其使用方法-CN202310624488.4在审
发明人：宋睿;沈健;廖阳辉;周晓东;朱银燕;郭杭闻;王文彬;何攀;殷立峰 -专利权人：上海期智研究院
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可实现超高真空系统间样品转移的真空腔室及其使用方法。本发明涉及两套相互独立或多套相互独立的超高真空系统以及其泵组系统，用以实现在不破坏原有真空的基础上，实现样品在超高真空的情况下实现不同腔体间的转移。本发明包括磁耦合传样杆，样品储存架，超高真空泵组(NEG泵，用来实现并维持超高真空)，阀门(用来隔绝超高真空与大气)，以及配套的超高真空腔体(三通，直通等可拓展组件)。各个组件通过法兰实现真空密封与连接。本真空传样腔室对于实现敏感样品在不同测量系统之间以及样品制备系统与测量系统之间的转移具有重要意义。
一种实现超高真空系统样品转移空腔及其使用方法

[发明专利]一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔-CN201610024358.7在审
发明人：徐杨兵;候玉斌;盛志高 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-01-13 - 公布日： 2016-05-04 - 主分类号： G01N21/03 文献下载
摘要：本发明公开一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接本发明适合在小口径长距离条件中运用，产生高真空环境，可以供光学探测材料光学性质使用。
一种孔径长距离光学兼容真空样品

[发明专利]一种月尘环境模拟试验装置及方法-CN201810148119.1有效
发明人：王亚军;赛建刚;赵建科;高斌;周艳;高博;张海民;赵燕;韩磊;贾琦;赵越;段炯 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-13 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B01L1/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种月尘环境模拟试验装置及方法，该装置包括月尘室及与月尘室连接的月尘室抽真空组件，还包括超高真空室及与超高真空室连接的超高真空室抽真空组件，月尘室与超高真空室之间通过管道连接，管道上设置有真空阀门及除尘组件本发明的月尘环境模拟试验装置及方法，当航天器组件放置在月尘室内进行月尘环境模拟时，月尘室是低真空状态，超高真空室中没有月尘，超高真空室中压力会比月尘室压力低至少4个数量级，当进行月尘模拟时，打开月尘室和超高真空室之间相连管道上的阀门，根据连通器的原理，月尘室的压力会和超高真空室的压力达到一致，抽真空的抽气系统和月尘室在不同的空间，避免了真空泵的污染，同时月尘室可以达到更低的压力。
一种环境模拟试验装置方法

[实用新型]一种月尘环境模拟试验装置-CN201820254800.X有效
发明人：王亚军;赛建刚;赵建科;高斌;周艳;高博;张海民;赵燕;韩磊;贾琦;赵越;段炯 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2018-02-13 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： B01L1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种月尘环境模拟试验装置，其包括月尘室及与月尘室连接的月尘室抽真空组件，还包括超高真空室及与超高真空室连接的超高真空室抽真空组件，月尘室与超高真空室之间通过管道连接，管道上设置有真空阀门及除尘组件本实用新型的月尘环境模拟试验装置及方法，当航天器组件放置在月尘室内进行月尘环境模拟时，月尘室是低真空状态，超高真空室中没有月尘，超高真空室中压力会比月尘室压力低至少4个数量级，当进行月尘模拟时，打开月尘室和超高真空室之间相连管道上的阀门，根据连通器的原理，月尘室的压力会和超高真空室的压力达到一致，抽真空的抽气系统和月尘室在不同的空间，避免了真空泵的污染，同时月尘室可以达到更低的压力。
尘室超高真空室月尘环境模拟试验装置本实用新型抽真空组件低真空状态航天器组件抽气系统除尘组件个数量级管道连接真空阀门抽真空连通器真空泵阀门室内污染

[实用新型]超高真空快速开关门-CN200920011039.8有效
发明人：郭方准 -专利权人：大连齐维科技发展有限公司
申请日： 2009-02-27 - 公布日： 2009-12-02 - 主分类号： E06B5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空设备。超高真空快速开关门，门体与法兰一端铰接，另一端由把手锁紧装置连接，门体与法兰之间装有密封圈。本实用新型和超高真空连接部采用刀口法兰，利于超高真空的密封。外侧安装有超高真空观察窗，便于观察真空腔室的内部。该产品可耐高温烘烤，便于系统到达超高真空。
超高真空快速开关

[实用新型]一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔-CN201620035198.1有效
发明人：徐杨兵;候玉斌;盛志高 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2016-01-13 - 公布日： 2016-07-06 - 主分类号： G01N21/03 文献下载
摘要：本实用新型公开一种小孔径长距离光学兼容真空样品腔，包括有自上至下依次设置的低温样品杆、多通道连接装置、超高真空角度可调节装置、超高真空XYZ三维位移平台、上腔体、光学窗口和窗口保护腔体；所述低温样品杆与多通道连接装置真空密封连接，多通道连接装置与超高真空角度可调节装置真空密封连接，超高真空角度可调节装置与超高真空XYZ三维位移平台真空密封连接，超高真空XYZ三维位移平台与上腔体真空密封连接，上腔体与光学窗口真空密封连接，光学窗口与窗口保护腔体连接本实用新型适合在小口径长距离条件中运用，产生高真空环境，可以供光学探测材料光学性质使用。
一种孔径长距离光学兼容真空样品

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