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[发明专利]低温超导薄膜-CN202010838618.0有效
发明人：李浩;尤立星;王镇 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2020-08-19 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01B12/06 文献下载
摘要：本发明提供一种低温超导薄膜，包括：n层电隔离层及n+1层超导材料层，所述超导材料层与所述电隔离层依次交替叠置；通过改变各超导材料层的厚度调整所述低温超导薄膜的超导转变温度，所述低温超导薄膜的总厚度在相干长度比拟范围内；其中，各超导材料层的材料相同，具有两层以上电隔离层时各电隔离层的材料相同，n为大于等于1的自然数。本发明的低温超导薄膜基于多层超薄的超导材料层及电隔离层调控低温超导薄膜的转变温度，通过调整单层超导材料层的厚度得到不同转变温度的超导材料，调控精度高、操作简单；本发明的低温超导薄膜的超导转变温度原则上与单层超导薄膜的转变温度一致，从而远小于体超导或较厚超导薄膜的转变温度。
低温超导薄膜

[发明专利]约瑟夫森结器件及其制备方法-CN201811367576.6有效
发明人：薛其坤;马旭村;张定;朱玉莹;廖孟涵 -专利权人：清华大学
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H01L39/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种约瑟夫森结器件的制备方法，包括：提供衬底；在所述衬底表面形成间隔设置的第一电极和第二电极，在所述衬底表面形成间隔区域；分别提供第一超导材料薄膜和第二超导材料薄膜，所述第一超导材料薄膜和所述第二超导材料薄膜为层状超导材料，所述层状超导材料包括绝缘层和超导层；将所述第一超导材料薄膜转移至所述衬底表面，使所述第一超导材料薄膜同时覆盖部分所述间隔区域及部分所述第一电极；以及将所述第二超导材料薄膜转移至所述衬底表面，使所述第二超导材料薄膜同时覆盖部分所述第一超导材料薄膜
约瑟夫器件及其制备方法

[发明专利]超导薄膜材料、超导导线及其制造方法-CN200680003415.8无效
发明人：母仓修司;大松一也 -专利权人：住友电气工业株式会社;财团法人国际超电导产业技术研究中心
申请日： 2006-01-26 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： H01B12/06 文献下载
摘要：提供了超导薄膜材料(1)，其包括具有经过平滑处理的表面的第一超导薄膜(1a)和在经过该平滑处理的第一超导薄膜(1a)的表面上形成的第二超导薄膜(1b)。而且，提供了超导导线(10)，其包括基板(2)，形成在基板(2)上的中间层(3)，形成在中间层(3)上的超导层(4)，其中该超导层(4)由上述的超导薄膜材料(1)制成。而且，提供了制造超导薄膜材料(1)的方法和制造超导导线(10)的方法。
超导薄膜材料导线及其制造方法

[发明专利]一种超导转变边探测器及其制备方法-CN202110560045.4有效
发明人：宋艳汝;杨瑾屏;张硕;夏经铠;刘志 -专利权人：上海科技大学
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H10N60/01 文献下载
摘要：本发明涉及超导电子学技术领域，特别是涉及一种超导转变边探测器及其制备方法。本发明所提供的制备方法，先后在衬底上制备截止层、薄膜层、超导材料层、常态金属条和/或常态金属点、热沉件、吸收体等部件。本发明中，为缓解超导转变边沿出现扭折线的难题，在TES探测器超导薄膜上方生长常态金属条并适当增加一些常态金属点，同时为了降低制备探测器时的复杂度和解决超导体失超的问题，采用将吸收体与超导材料层(超导薄膜)直接接触的方式，并在制备超导薄膜时增加钼薄膜厚度，通过超导材料层的两个子层和吸收体三层薄膜来调控探测器的超导转变温度。
一种超导转变探测器及其制备方法

[发明专利]用于超导量子电路的约瑟夫森结的制备方法-CN202111196182.0在审
发明人：孙汉聪;潘佳政;李金朋;孙国柱;王华兵;吴培亨 -专利权人：网络通信与安全紫金山实验室
申请日： 2021-10-14 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： H01L39/02 文献下载
摘要：本申请提供一种用于超导量子电路的约瑟夫森结的制备方法。在衬底表面形成铝金属薄膜层。通过第一掩膜对所述铝金属薄膜层进行图案化处理形成铝金属电路层。在所述铝金属电路层远离所述衬底的表面形成氧化铝薄膜层。在所述衬底的表面制备超导材料薄膜层，所述超导材料薄膜层覆盖所述氧化铝薄膜层以及所述衬底的表面。形成第二掩膜层，通过所述第二掩膜层对所述超导材料薄膜层进行图案化处理以获得图案化的超导材料电路层，所述超导材料电路层与所述铝金属电路层在所述衬底的投影部分重叠。
用于超导量子电路约瑟夫制备方法

[发明专利]一种双面高温超导薄膜多层结构及其制备方法-CN200610113749.2无效
发明人：李弢;古宏伟;杨坚;王霈文 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2006-10-13 - 公布日： 2008-04-16 - 主分类号： H01B12/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种双面高温超导薄膜多层结构及其制备方法。该双面高温超导薄膜多层结构，包括低成本非单晶氧化物基片，所述低成本非单晶氧化物基片的两面分别依次设有金属薄膜层、双轴织构的氧化物薄膜层以及超导薄膜层。首先在低成本基片上生长一层表面良好的金属薄膜，再用离子束辅助沉积工艺在金属薄膜上制备具有双轴织构的氧化物薄膜材料，所以可以不使用价格昂贵的氧化物单晶材料作为大面积双面高温超导薄膜的基片材料，而选用成本低廉的Si单晶等基片材料。所制备的双面高温超导薄膜成本低。
一种双面高温超导薄膜多层结构及其制备方法

[发明专利]具有特氟龙涂层的单畴YBaCuO超导块材及其涂覆方法-CN200710178256.1无效
发明人：郑明辉;肖玲;焦玉磊 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2007-11-28 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： H01B12/00 文献下载
摘要：具有特氟龙涂层的单畴YBaCuO超导块材及其涂覆方法。该具有特氟龙涂层的单畴YBaCuO超导块材，是在单畴YBaCuO超导块材的表面上涂覆有特氟龙涂层。本发明采用表面涂刷特氟龙溶液使其在超导块材表面形成特氟龙薄膜，或在超导块表面热喷涂特氟龙涂层形成保护薄膜，从而达到保护超导块材的目的。本发明的单畴YBaCuO超导块表面上由于形成均匀、稳定的特氟龙薄膜，可以使空气中的水和二氧化碳不能对超导材料形成侵蚀，从而保护超导材料，延长超导材料的使用寿命。
具有特氟龙涂层 ybacuo 超导及其方法

[发明专利]高温超导薄膜衬底台阶本征约瑟夫森结阵及其制备方法-CN96113183.7无效
发明人：阎少林 -专利权人：南开大学
申请日： 1996-10-31 - 公布日： 2003-06-11 - 主分类号： H01L39/22 文献下载
摘要：高温超导薄膜衬底台阶本征约瑟夫森结阵及其制备方法。涉及高温超导材料中的约瑟夫森结器件领域。解决了制备高温超导薄膜本征约瑟夫森结的技术问题。在小角度台阶衬底上外延生长高温超导薄膜，将超导薄膜在跨越台阶处刻蚀成微桥。本发明是利用高温超导材料本身固有的层间约瑟夫森效应提出了约瑟夫森结的一种新结构及制备方法。该结构可单独作为超导器件使用，也可组合成SQUID器件以及其它超导集成电路。
高温超导薄膜衬底台阶约瑟夫森结阵及其制备方法

[实用新型]一种太赫兹波探测器-CN201220005875.7有效
发明人：刘瑞元;宋小会;王云平 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2012-01-06 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太赫兹波探测器，用于探测来自太赫兹波辐射源的太赫兹波，所述太赫兹波探测器包括：衬底；附着在所述衬底上的超导材料薄膜，所述超导材料薄膜为单条以曲折且紧凑的方式在所述衬底上延伸的长程线条型结构；低温恒温器，所述低温恒温器容纳所述衬底和超导材料薄膜并能够提供使得所述超导材料薄膜处于超导转变温区的温度；其中，所述低温恒温器设有窗口，待探测的太赫兹波能够穿过所述窗口照射到所述超导材料薄膜上；和探测电路，所述探测电路连接在所述长程线条型结构的超导材料薄膜的两端。
一种赫兹探测器

[发明专利]一种硅基氮化铌薄膜超导材料及其制作方法-CN201310058854.0有效
发明人：苏晓东;张婧娇;郑磊 -专利权人：苏州大学
申请日： 2013-02-25 - 公布日： 2013-06-19 - 主分类号： H01L39/12 文献下载
摘要：本发明制备一种硅基氮化铌薄膜超导材料，包括Si基底、TiN过渡层，以及NbN层。由于直接在Si基片上生长NbN薄膜有较大的晶格失配度，会导致NbN薄膜中存在一定厚度非超导的界面畸变层，严重降低NbN的超导性能。而TiN和NbN同属面心立方结构，而且晶格失配度较小，因此使用TiN过渡层大幅减小了NbN薄膜中的界面畸变层厚度，同时NbN结晶性得到改善，从而提高了其超导性能；并且NbTiN本身是一种Tc较高的超导材料，TiN中的Ti和N两种元素即使进入到NbN薄膜不会降低，反而会提升其超导性能。同时，本发明还提出了该硅基氮化铌薄膜超导材料的制作方法。
一种氮化薄膜超导材料及其制作方法

[发明专利]超导薄膜材料以及超导薄膜材料的制造方法-CN200780018133.X无效
发明人：母仓修司;大松一也 -专利权人：住友电气工业株式会社
申请日： 2007-04-20 - 公布日： 2009-06-03 - 主分类号： H01B12/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种超导薄膜材料，其中通过防止元素扩散获得良好超导性。本发明还公开了超导薄膜材料的制造方法。本发明具体公开了一种超导薄膜材料(10)，该超导薄膜材料包括基底(11)，由一层或多层构成并且形成在基底(11)上的中间层(12)，以及形成在中间层(12)上的超导层(13)。
超导薄膜材料以及制造方法

[发明专利]铊系高温超导薄膜材料及其制备方法-CN03144207.2无效
发明人：阎少林;方兰;何明;路荣涛 -专利权人：南开大学
申请日： 2003-08-29 - 公布日： 2004-07-28 - 主分类号： H01L39/12 文献下载
摘要：本发明涉及Tl₂Ba₂CaCu₂O₈ (Tl－2212)超导材料薄膜及其制备方法。Tl－2212超导薄膜超导转变温度高于100K；77K温度下临界电流密度大于10⁶A/cm²；77K温度下、10GHz频率时的表面电阻小于1mΩ。Tl－2212超导材料薄膜的厚度在10nm－1000nm之间。本发明主要是采用两步方法制作Tl－2212外延超导薄膜：第一步，在衬底基片上淀积Tl－Ba－Ca－Cu－O非晶先驱薄膜；第二步，高温热处理，使Tl－Ba－Ca－Cu－O非晶先驱薄膜转变为超导薄膜。本发明解决了大面积双面Tl－2212外延超导薄膜的制备方法。本发明制作的Tl－2212外延超导薄膜可用来制作微波无源器件或其他超导电子器件。
高温超导薄膜材料及其制备方法

[发明专利]一种非接触式超导薄膜材料超导相变和光诱导电子局域效应测试装置及其工作方法-CN201810195430.1在审
发明人：张飒飒;陈霞;张衍敏;陈天弟;孙腾飞 -专利权人：山东大学
申请日： 2018-03-09 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种非接触式超导薄膜材料超导相变和光诱导电子局域效应测试装置及其工作方法。本发明采用变温的近红外光学反射光谱技术对超导薄膜材料的反射率进行测定，然后通过反射率、吸收率、透过率以及光电导、直流电阻的关系分析超导薄膜材料的超导相变；再利用史密斯修正的德鲁德模型分析是否发生了光诱导电子局域效应
超导薄膜材料电子局域光诱导非接触式效应测试反射率吸收率反射光谱关系分析红外光学模型分析直流电阻光电导透过率再利用变温修正

[发明专利]一种液氮环境中的超导绝缘材料在不同伸长率下绝缘强度测试平台及平台使用方法-CN201510578013.1在审
发明人：马宏明;王科;胡南南;杨鑫;黑颖顿;刘光祺 -专利权人：云南电网有限责任公司电力科学研究院
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：一种液氮环境中的超导绝缘材料在不同伸长率下绝缘强度测试平台及平台使用方法，其特征在于：包括弓形结构并呈对称连接的左环氧树脂固定台(1)、右环氧树脂固定台(2)、用于插入超导绝缘薄膜的上部的环氧树脂棒(8)、用于挂在超导绝缘薄膜下部的砝码(9)；本发明的有益效果是：a、利用本发明的测试平台，可以掌握在液氮环境中不同超导绝缘薄膜材料在不同伸长率下的绝缘强度，以指导超导电力装置的绝缘设计。b、本发明的测试平台利用率高、使用方式灵活，可以进行多种液氮环境中的超导绝缘材料性能检测，例如直接测量液氮环境中的超导绝缘材料耐受电压、进行超导绝缘材料的老化对比耐压试验等。
一种液氮环境中的超导绝缘材料不同伸长绝缘强度测试平台使用方法

[实用新型]一种液氮环境中的超导绝缘材料在不同伸长率下绝缘强度测试平台-CN201520704151.5有效
发明人：马宏明;王科;胡南南;杨鑫;黑颖顿 -专利权人：云南电网有限责任公司电力科学研究院
申请日： 2015-09-11 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：一种液氮环境中的超导绝缘材料在不同伸长率下绝缘强度测试平台，其特征在于：包括弓形结构并呈对称连接的左环氧树脂固定台(1)、右环氧树脂固定台(2)、用于插入超导绝缘薄膜的上部的环氧树脂棒(8)、用于挂在超导绝缘薄膜下部的砝码(9)；本实用新型的有益效果是：a、利用本实用新型的测试平台，可以掌握在液氮环境中不同超导绝缘薄膜材料在不同伸长率下的绝缘强度，以指导超导电力装置的绝缘设计。b、本实用新型的测试平台利用率高、使用方式灵活，可以进行多种液氮环境中的超导绝缘材料性能检测，例如直接测量液氮环境中的超导绝缘材料耐受电压、进行超导绝缘材料的老化对比耐压试验等。
一种液氮环境中的超导绝缘材料不同伸长绝缘强度测试平台

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