专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]接触孔的制作方法-CN201210451655.1有效
  • 张瑜;黄君;盖晨光 - 上海华力微电子有限公司
  • 2012-11-12 - 2013-03-13 - H01L21/768
  • 本发明提供一种接触孔的制作方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底上依次形成有第一介、第二介、第三介;进行刻蚀工艺,在所述第一介、第二介和第三介内形成第一接触孔,所述第一接触孔露出半导体衬底;去除所述第三介;在所述第二介上形成第,所述第填充所述第一接触孔;形成贯穿所述第、第二介和第一介的第二接触孔,所述第二接触孔露出半导体衬底;去除所述第
  • 接触制作方法
  • [发明专利]一种相变存储器形成方法-CN201110252215.9有效
  • 朱南飞;吴关平 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2011-08-30 - 2013-03-06 - H01L45/00
  • 一种相变存储器形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底表面形成有第一底部电极,以及依次形成在所述第一底部电极表面的第一介、第二介、第三介;刻蚀所述第三介,形成暴露所述第二介的第开口;在所述第开口的侧壁形成第,所述第具有凹槽;沿所述凹槽刻蚀所述第二介,直至暴露所述第一介,形成第一开口;沿所述第一开口刻蚀所述第一介,形成暴露第一底部电极的通孔,所述刻蚀工艺对所述第一介、第三介、第具有相同的刻蚀选择比;形成填充满所述通孔的第二底部电极。
  • 一种相变存储器形成方法
  • [实用新型]一种刚挠结合板结构-CN202121206238.1有效
  • 高团芬;谢国强 - 江西宇睿电子科技有限公司
  • 2021-06-01 - 2021-12-14 - H05K1/02
  • 本实用新型公开了一种刚挠结合板结构,其特征在于,刚挠结合板的挠性板层包含依次叠的第一介、铜、第二介;刚挠结合板的刚性板层包含依次叠的第三介、挠性板层、第;第一介的厚度大于第二介的厚度;第的厚度大于第三介的厚度;第一介、第二介、第三介、第均为聚酰亚胺介质;本实用新型利用介质、第二介,以及第三介、第的厚度差异,并且利用聚酰亚胺在热压合过程中的“内缩”特性,形成不同的不同内应力分布,从而使挠性板形成自弯折特性,而刚性板通过反向厚度的补偿,避免了翘曲的问题,整体结构可靠性良好。
  • 一种结合板结
  • [发明专利]一种小型化组合天线及通信装置-CN202211061640.4在审
  • 韩非凡;张永利;赵翔 - 广州吉欧电子科技有限公司
  • 2022-08-31 - 2022-12-02 - H01Q1/38
  • 小型化组合天线包括第一辐射贴片、第一介、第二辐射贴片、第二介、第三辐射贴片、第三介、第辐射贴片、第及第五辐射贴片。第一辐射贴片设于第一介上形成第一辐射单元;第二辐射贴片设于第一介与第二介之间作为第一辐射单元的参考地并形成第二辐射单元;第三辐射贴片设于第三介与第二介之间形成第三辐射单元;第辐射贴片设于第三介与第之间作为第三辐射单元的参考地并形成第辐射单元;第设有短路孔阵列,第五辐射贴片用于使短路孔阵列接地。
  • 一种小型化组合天线通信装置
  • [实用新型]一种注塑成型汽车隔音垫结构-CN201520303392.9有效
  • 闻建煊;王拥宪 - 上海华特汽车配件有限公司
  • 2015-05-12 - 2015-09-23 - B60R13/08
  • 一种注塑成型汽车隔音垫结构,其特征在于:所述的隔音垫上分别设有不同密度的重,隔音垫的中央设有孔,位于孔的左侧设有重一,重一的密度为5.4kg/m²;位于孔的右侧及下方设有重二,重二的密度为6.3kg/m²;位于孔的上方、重一的下方、重二的下方右侧分别设有重三,重三的密度为4.5kg/m²;位于重二的下方设有重,重的密度为3.6kg/m²;位于重一、重二、重三、重的外围设有重五,重五的密度为2.7kg/m²。
  • 一种注塑成型汽车隔音结构
  • [发明专利]浅沟槽隔离结构的制备方法-CN201810122972.6有效
  • 孙晓峰;秦仁刚;盛拓 - 无锡华润上华科技有限公司
  • 2018-02-07 - 2021-10-15 - H01L21/762
  • 本发明涉及一种浅沟槽隔离结构的制备方法,包括:提供半导体衬底;在所述半导体衬底上形成第二介;刻蚀所述第二介和所述半导体衬底,以形成隔离槽;在所述隔离槽底部和侧壁形成第三介;在所述第二介表面和所述第三介表面形成第上述浅沟槽隔离结构的制备工艺中,在隔离槽底部和侧壁生长第三介后,又在第三介和第二介的表面生长了相对致密的第。该第可有效阻挡在隔离槽中沉积绝缘介质时产生的等离子体对第三介表面的损坏,起到阻隔作用,进而防止引发漏电。
  • 沟槽隔离结构制备方法
  • [发明专利]闪存器件的制备方法-CN202310330634.2在审
  • 胡正新;李小康;李雪健;王振远 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2023-03-30 - 2023-07-04 - H10B41/30
  • 本发明提供一种闪存器件的制备方法,包括:在衬底上的第一沟槽、第二沟槽内形成第一介;形成第二介;形成第三介;根据第一介、第二介和第三介的总厚度,刻蚀去除部分厚度的第三介;形成侧墙结构;在第一沟槽中自对准沉积第;去除所述侧墙结构上的所述第。本申请通过根据第一介、第二介和第三介的总厚度,自适应刻蚀去除部分厚度的第三介,接着在形成侧墙结构后自对准沉积第,这样可以改善侧墙结构的厚度均匀性,也可以避免侧墙结构中的第一介被误腐蚀发生侧掏的情况
  • 闪存器件制备方法

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