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[发明专利]真空状态下靶材厚度的检测方法-CN201811307206.3在审
发明人：张诚 -专利权人：三河市衡岳真空设备有限公司
申请日： 2018-11-05 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空状态下靶材厚度的检测方法，该检测方法包括：制定自检溅射工艺，其中溅射功率和工艺气体压强被设置为固定值；溅射设备和靶材首次配合使用时，启动溅射设备执行自检溅射工艺对靶材进行溅射直至靶材被击穿，记录执行过程中电压电流参数和靶材的厚度之间的对应关系，若靶材是导电靶材则电压电流参数是溅射电压和/或溅射电流，若靶材是不导电靶材则电压电流参数是射频溅射工艺产生的直流偏压；在溅射设备和靶材再次配合使用的过程中，当需要对靶材的厚度进行检测时启动溅射设备执行自检溅射工艺，在获得稳定的电压电流参数后根据电压电流参数和对应关系确定靶材的厚度。
靶材电压电流参数溅射设备溅射真空状态检测自检对靶压强导电靶材工艺气体关系确定溅射电压溅射功率射频溅射直流偏压不导电击穿记录制定

[发明专利]铝冷连轧机多道次多机架轧制工艺参数设定匹配方法-CN201210411539.7无效
发明人：彭鹏 -专利权人：苏州有色金属研究院有限公司
申请日： 2012-10-25 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： B21B37/00 文献下载
摘要：本发明涉及铝冷连轧机多道次多机架轧制工艺参数设定匹配方法，以冷连轧机组总机架数及机组设备特性参数为基础，按照连轧机组机架空过方式确认有效的冷连轧机架序列，将铝卷将轧各道次与各有效连轧机架匹配进行设定计算，再根据相应机架及出入口设备特性进行轧制规程力能参数的校核修正，完成多道次多机架轧制工艺参数的设定匹配计算。针对铝冷连轧机铝卷道次轧制分段分散、连轧机架数小于铝卷轧制总道次数、连轧机存在不确定数量的空过机架等特点，设计铝卷轧制道次与连轧机架相关的工艺参数设定匹配处理方法，以实现铝卷道次在冷连轧机各机架上的轧制工艺参数设定，保证道次轧制工艺参数与所在机架力能及工艺特性的匹配。
铝冷连轧机多道机架轧制工艺参数设定匹配方法

[发明专利]一种型钢轧后穿水冷却工艺参数在线测试方法、测试装置-CN202210967846.7在审
发明人：陈辉;沈千成;毛成;袁龙兵;夏勐;余洪宇;樊歆;汪杰;彭林 -专利权人：马鞍山钢铁股份有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B21B38/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种型钢轧后穿水冷却工艺参数在线测试方法、测试装置，该测试方法包括：制作与需测试型钢形状相近的型钢测试架并在其外侧覆盖安装多个应变片组成外形尺寸与需测试型钢外形尺寸一致的型钢测试组件；将型钢测试组件按该规格型钢生产线辊道速度送至穿水冷却设备位置，通过穿水冷却设备将冷却水喷射至型钢测试组件的各应变片上；实时采集各应变片的应变参数并进行整合，将整合后的数据与需测试型钢的设定工艺参数值进行对比，并根据对比结果在线调节穿水冷却设备，使得各应变片实时采集并整合的数据在需测试型钢设定的工艺参数值范围内本发明可以采用性能检测和外形检查等手段验证冷却工艺参数的准确性，在线解决型钢冷却工艺参数调整的问题。
一种型钢轧后穿水冷工艺参数在线测试方法装置

[发明专利]一种工艺腔室漏率检测方法、半导体工艺设备-CN202011273465.6在审
发明人：方林 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： G01M3/00 文献下载
摘要：本申请实施例提供了工艺腔室漏率检测方法、半导体工艺设备，该方法包括：实时确定工艺腔室是否满足漏率检测条件，若是，将工艺腔室的漏率检测指示参数设置为指示需要进行漏率检测；实时监控工艺腔室的漏率检测指示参数，在监控到漏率检测指示参数指示需要进行漏率检测时，确定是否存在工艺腔室的并行工艺腔室；若是，在工艺腔室不存在晶圆时或者工艺腔室中的晶圆由于针对晶圆的工艺操作完成离开工艺腔室后，将工艺腔室的状态标识为下线状态；对所述工艺腔室执行漏率检测操作，得到检测结果，并将工艺腔室的漏率检测指示参数设置为指示不需要进行漏率检测。实现了针对工艺腔室进行漏率检测时，无需将整个半导体工艺设备停机，避免了产能下降。
一种工艺腔室漏率检测方法半导体工艺设备

[发明专利]一种工艺优化方法、装置、设备及计算机可读存储介质-CN201911424710.6有效
发明人：杨帆;罗云生;张成松;刘涛 -专利权人：联想（北京）有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本申请实施例提供工艺优化方法、装置、设备及计算机可读存储介质，其中，所述方法包括：根据预设时长内的工艺信息和排放信息确定目标训练模型，所述工艺信息包括待优化工艺参数；将所述待优化工艺参数的第一训练值输入至目标训练模型得到第一排放信息，其中，所述第一训练值是对所述待优化工艺参数的初始训练值进行调整得到的；当所述第一排放信息满足排放条件时，根据所述待优化工艺参数的权重系数确定所述第一训练值对应的第一参数；当所述第一参数满足优化目标时，根据所述第一训练值确定待优化工艺参数的目标值。
一种工艺优化方法装置设备计算机可读存储介质

[发明专利]工件测量系统和方法-CN201710036926.X在审
发明人：魏青鸿;方燕芳;李颖锋;叶芸;宋耀东;孙忠祥 -专利权人：宁波舜宇智能科技有限公司
申请日： 2017-01-17 - 公布日： 2017-05-10 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：该系统包括终端和管理设备，其中，终端用于从测量工装接收被测工件的测量数据，并根据测量数据所对应的参数类型以及预定的参数处理规则，确定将测量数据直接作为测量结果上报至管理设备、或基于测量数据计算其他参数作为测量结果上报至管理设备；其中，参数处理规则包括直接进行上报的参数类型和用于计算其他参数的测量数据的参数类型，对于用于计算其他参数的测量数据的参数类型，参数处理规则中进一步包含每个参数类型所对应的计算规则；管理设备用于接收测量结果本发明能够自动采集并分析数据，进而为后续生产工艺改进提供客观指引，实现品质管控、数据回溯及工艺管理等。
工件测量系统方法

[发明专利]工艺开发方法、装置、设备及可读存储介质-CN202311127292.0在审
发明人：高超峰;饶衡;张士亨;马治博;汤华平;熊孝经;毕云杰 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-09-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种工艺开发方法、装置、设备及可读存储介质，涉及增材制造技术领域。所述工艺开发方法包括以下步骤：获取目标材料的各待开发工艺参数的第一参数基准值；基于所述第一参数基准值，通过正交试验，获得各所述待开发工艺参数的主次顺序和第一初选参数值；将所述第一初选参数值作为第二参数基准值，基于所述主次顺序和第二参数基准值，生成对应的参数多赫勒矩阵；按照所述参数多赫勒矩阵，增材制造成形所述目标材料的第一试验样品后，检测所述第一试验样品的目标性能的第一性能值；根据所述第一性能值，确定各所述待开发工艺参数的最优参数值本申请提高了增材制造对于不同材料的工艺开发效率。
工艺开发方法装置设备可读存储介质

[发明专利]一种基于瓦楞纸板多性能工艺的管控系统及方法-CN202110838969.6在审
发明人：李少华 -专利权人：昆山鸣朋纸业有限公司
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： B31F1/20 文献下载
摘要：本发明适用于瓦楞纸板制造技术领域，提供了一种基于瓦楞纸板多性能工艺的管控系统及方法，包括以下步骤：步骤一，在设备中根据新材质建立原材料的基础信息，同时，配置相应的基础工艺参数；步骤二，将待加工的原材料输送至加工设备上；步骤三，设备读取输入的原材料信息，并开始准备对原材料进行加工处理；以原材料的基础信息为基础，设定一个基础工艺参数，再以楞型、速度、门幅、季节等因素设定修正量，将修正后的参数(基础量+修正量)作为生产设备上各类执行机构的的运行参数，控制设备运行，运行参数包括糊量、包角、张力、真空泵吸力、瓦楞辊压力、压力辊压力和压板数量。
一种基于瓦楞纸板性能工艺系统方法

[发明专利]注塑机参数设置方法、设置装置、电子设备及存储介质-CN202310341697.8在审
发明人：张云;汪汝健;周华民;杨进;应泽辰;王明全;黄志高 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B29C45/76 文献下载
摘要：本发明属于注塑试模相关技术领域，其公开了一种注塑机参数设置方法、设置装置、电子设备及存储介质，其中方法包括：获取注塑工艺数据集以及待设置工艺信息；根据注塑工艺数据集的产品质量信息，获取注塑工艺数据集中每条实际工艺数据的权重；根据注塑工艺数据集以及每条实际工艺数据的权重，训练获取参数设置模型；根据参数设置模型以及待设置工艺信息的工艺基本信息，获取待设置工艺的参数设置信息。本发明根据注塑工艺数据集获取参数设置模型，且加入了各条实际工艺数据权重的考虑，可以实现小样本注塑工艺数据集下注塑机参数的自动设置，适用于不同产品产生的已有工艺数据量不均衡的情况，提高了抗异常数据干扰的能力
注塑参数设置方法设置装置电子设备存储介质

[发明专利]用于生物质的受控预处理的方法和设备-CN202180035536.5在审
发明人： A.肖布洛姆;E.桑德瓦尔;K.黑格伦德;A.卡夫卡 -专利权人：瑞典乙醇化工技术有限公司
申请日： 2021-05-24 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： D21C1/04 文献下载
摘要：所述方法包括如下步骤：将木质纤维素生物质材料在预处理设备中预处理(S10)，所述预处理包括将木质纤维素生物质在预处理设备的浸渍容器中用SO2进料浸渍(S10A)；采集(S20)所述预处理的多个工艺参数，该工艺参数至少包括与输入至预处理设备的木质纤维素生物质的总量有关的进料参数、以及与输入至预处理设备的木质纤维素生物质的干物质含量有关的干物质参数；和响应于所述工艺参数而调节(S30)SO2进料。
用于生物受控预处理方法设备

[发明专利]形成电铸构件的方法及相关系统-CN201911307779.0在审
发明人： A.J.德托尔;P-H.郭 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： G06F30/10 文献下载
摘要：提出了一种使用电铸设备通过电铸工艺形成构件的方法。电铸设备包括阳极、阴极和包含金属盐的电解质。该方法包括接收一组训练电铸工艺参数；基于该组训练电铸工艺参数的至少子集来训练机器学习算法；根据训练过的机器学习算法生成一组更新的操作电铸参数；以及基于该组更新的操作电铸参数来操作电铸设备。操作电铸设备的步骤包括在存在电解质的情况下在阳极和阴极之间施加电流，以及在阴极表面上沉积多个金属层以形成构件。还提出了一种形成构件的系统。
形成电铸构件方法相关系统

[发明专利]检测和补偿注入模制设备中的非操作模腔的方法-CN202180042948.1在审
发明人： B·柯林斯;B·M·伯恩斯;G·M·艾尔托宁;B·M·伯奇迈尔;M·克来维 -专利权人：艾姆弗勒克斯有限公司
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B29C45/76 文献下载
摘要：一种检测和补偿具有多个模腔和注塑螺杆或射料杆的注入模制设备中的非操作模腔的方法包含经由所述注塑螺杆或射料杆将熔融热塑性材料注入到所述多个模腔中。所述方法包含测量所述注入期间或之后的预定时间处所述注入模制设备的第一工艺参数。所述方法还包含基于所述第一工艺参数确定所述多个模腔中的一个或多个模腔是否为非操作的。接着，当确定一个或多个模腔为非操作时，所述方法包含自动调整所述第一工艺参数或所述注入模制设备的第二工艺参数。
检测补偿注入设备中的操作方法

[发明专利]硫化工艺的集散控制方法、电子设备及存储介质-CN201811642233.6有效
发明人：李泽;杨歆豪 -专利权人：苏州科技大学
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： B29C35/00 文献下载
摘要：本发明提供硫化工艺的集散控制方法，包括以下步骤：采集现场数据，预测性能指标，优化硫化工艺参数，控制现场设备，实时反馈控制。本发明还涉及存储介质、电子设备；本发明通过中央操作站将控制站采集的硫化工艺参数作为神经网络模型的输入，将预测的性能指标作为优化算法的目标函数搜索最优硫化工艺参数，控制站通过最优硫化工艺参数控制现场设备工作，并对硫化过程中实际温度进行实时采集，通过实际温度控制多台硫化机工作，本发明的中央操作站能够确定使产品性能指标达到要求的优化硫化工艺参数，使得产品性能稳定，能够根据硫化过程实际温度控制硫化机工作，硫化过程控制精确
硫化工艺集散控制方法电子设备存储介质

[发明专利]半导体工艺的控制方法和半导体工艺设备-CN202110348035.4在审
发明人：顾文亮 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体工艺的控制方法，应用于半导体工艺设备的进气组件，该控制方法包括：接收进气工艺配方，进气工艺配方包括半导体工艺步骤对应的至少一个进气控制量对应的预设工艺参数变化量，进气控制量包括向工艺腔室提供工艺气体的流量和工艺腔室内的气体压强中的至少一者；在执行半导体工艺步骤时，按预设函数控制对应的进气控制量随预设工艺参数的变化而逐渐增加，直至预设工艺参数达到进气控制量对应的预设工艺参数变化量。本发明提供的控制方法能够实现缓释进气，提高了工艺腔室内气流场的稳定性，避免了晶片位置出现偏移，并且能够缩小膜层间的应力差距，提高薄膜质量。本发明还提供一种半导体工艺设备。
半导体工艺控制方法工艺设备

[发明专利]制图方法、装置、存储介质及设备-CN202310347514.3在审
发明人：郝建国;郭鹏;牛权;王思倩;牛丹;邹鹏;韩柏林;贾铭浩;闫帅;马昌龙 -专利权人：沈阳透平机械股份有限公司
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G06F30/12 文献下载
摘要：本申请公开了一种制图方法、装置、存储介质及设备，涉及制图领域，可以解决制图效率低的问题。包括：获取目标待制工艺简图，利用预设动态参数标注目标待制工艺简图的预设元素尺寸，其中，目标待制工艺简图包括目标工艺操作；确定目标待制工艺简图的目标转换公式表，其中，目标转换公式表包括预设动态参数以及与预设动态参数对应的目标转换公式；获取预设动态参数对应的图纸尺寸值，利用目标转换公式将图纸尺寸值转换为简图尺寸值；将简图尺寸值对应填入预设动态参数，直到所有预设动态参数都填入完成，得到制作完成的目标工艺简图。
制图方法装置存储介质设备