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- [实用新型]一种解胶机-CN202320565228.X有效
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王国顺;王鑫鑫;粘为进;倪寿杰;严华宁
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无锡美科微电子技术有限公司
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2023-03-20
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2023-07-25
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H01L21/67
- 本申请公开了一种解胶机，涉及基板解胶技术领域，用于解决现有技术中同一解胶机不能对多种尺寸的基板进行解胶的技术问题。所述解胶机包括：解胶机本体和抽拉式放料抽屉；所述抽拉式放料抽屉安装在所述解胶机本体上，所述抽拉式放料抽屉的顶面设有镂空槽，所述镂空槽用于放置第一解胶组件或第二解胶组件，所述第一解胶组件用于放置第一基板，所述第二解胶组件用于放置第二基板，所述第一基板的尺寸与所述第二基板的尺寸不同。本申请通过将抽拉式放料抽屉的镂空槽设置为可以放置第一解胶组件和第二解胶组件，因此同一解胶机可以对尺寸不同的第一基板和第二基板进行解胶。
- 一种解胶机
- [实用新型]一种晶圆解胶装置-CN202121325407.3有效
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巩铁建;陶为银;蔡正道;鲍占林
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河南通用智能装备有限公司
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2021-06-15
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2021-11-26
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆解胶装置，涉及晶圆解胶技术领域，具体为一种晶圆解胶装置，包括解胶光源主箱，所述解胶光源主箱的上方开设有解胶腔，所述解胶腔的周边开设有气囊槽，所述气囊槽的周边开设有电磁槽，所述气囊槽的内部设置有橡胶气囊，所述电磁槽的内部固定连接有电磁铁，所述解胶光源主箱的一侧固定连接有解胶控制箱，所述解胶光源主箱的上方铰接有解胶盖，所述解胶盖的上方固定连接有加强框。通过解胶盖和照明光源总成的配合设置，使该晶圆解胶装置具备了解胶腔内光源充足且不晃眼的效果，通过橡胶气囊、电磁铁、解胶盖和永久磁铁片的配合设置，使该晶圆解胶装置具备了解胶盖的重量轻且密封性好的效果。
- 一种晶圆解胶装置
- [实用新型]一种晶圆解胶装置及划片机-CN202222643634.1有效
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张天华;葛凡;孙志超;顾宇彬;陈丛余
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江苏京创先进电子科技有限公司
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2022-10-09
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2023-01-17
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H01L21/67
- 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆解胶装置及划片机。该晶圆解胶装置包括工作台、解胶灯以及聚光片，工作台用于承载晶圆中间的减薄区域，以使晶圆外周上的支撑环伸出工作台，解胶灯位于工作台的下方，聚光片位于解胶灯和工作台之间，聚光片用于将解胶灯发射的解胶光线汇集照射在支撑环背面粘贴的保护膜上，提高了解胶光线在待解胶保护膜上的照射量，减少了解胶光线的扩散，提高了解胶灯对支撑环的解胶效率，缩减了解胶灯的解胶时长，从而延长了解胶灯的使用寿命。本实用新型提供的划片机，通过应用上述晶圆解胶装置，提高了解胶灯对支撑环的解胶效率，缩减了解胶灯的解胶时长，从而延长了解胶灯的使用寿命。
- 一种晶圆解胶装置划片
- [实用新型]一种用于解胶的UVLED光源-CN202223542737.5有效
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郭磊
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昆山仕优威电子科技有限公司
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2022-12-28
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2023-08-15
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种用于解胶的UVLED光源，涉及UV解胶技术领域。本实用新型主要包括：解胶箱，解胶箱的内部开设有解胶腔，解胶箱的顶部开设有与解胶腔相连通的通口，解胶箱的顶部安装有装置架，装置架上竖直向滑动安装有盖板，盖板的底部安装有UVLED光源；承载板，活动设置在解胶腔的内部，承载板用于承载固定胶膜；控制件，设置在解胶腔的内部，控制件用于控制承载板做往复直线运动。本实用新型在使用时，将固定胶膜置于承载板上，接着滑动盖板，使盖板盖设在解胶箱的顶部，装置块插设在通口内，打开UVLED光源，同时打开控制件，控制承载板做往复直线运动，能够使UVLED光源发射出的光线更均匀的照射在固定胶膜上，进行解胶，解胶效果更好。
- 一种用于uvled光源
- [发明专利]一种解胶机-CN202310673873.8在审
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邓自然;黄宇传;陈伯鹫
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佛山市顺德区蚬华多媒体制品有限公司
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2023-06-07
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2023-10-13
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H01L21/67
- 本发明提供了一种解胶机包括控制箱、散热装置、解胶装置、解胶箱、解胶盘、进气装置以及氧气传感器，控制箱设有操控面板，氧气传感器以及解胶装置分别与操控面板电连接，控制箱、散热装置、解胶装置、解胶盘、进气装置以及氧气传感器均与解胶箱连接，解胶箱包括出气孔以及内部空间，解胶装置、解胶盘、进气装置以及氧气传感器均位于内部空间内，内部空间通过出气孔与外界连通。解胶机通过进气装置可连接外部设备，外部设备可将氮气通入内部空间，通过内部空间通过出气孔与外界连通，实现内部空间内的氧气可通过出气孔排放到外界，通过氧气传感器，且氧气传感器与操控面板电连接，实现氧气传感器可检测内部空间内的氧气含量
- 一种解胶机
- [实用新型]一种解胶机的UV解胶结构-CN202021162700.8有效
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曾小武
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东莞市佳骏电子科技有限公司
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2020-06-19
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2020-12-22
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H01L21/67
- 本实用新型系提供一种解胶机的UV解胶结构，包括透明的承料板，承料板的正下方设有UV发光模组，承料板上设有承料凹槽，承料凹槽的槽底处均匀分布有至少两个解胶让位孔，承料凹槽中安装有解胶贴膜框，承料凹槽的长宽分别与解胶贴膜框的长宽相等本实用新型通过足量的解胶让位孔不但能够有效确保UV光的透过率，从而提高解胶效率和解胶效果，同时能够有效确保整体结构的稳定性，避免因解胶让位孔过大而导致解胶对象出现摔落等问题，此外，即使UV光长时间照射导致透明的承料板出现黄化等问题，也几乎不会影响解胶效率以及解胶效果。
- 一种解胶机uv胶结
- [实用新型]一种解胶机的UV解胶结构-CN202121288261.X有效
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巩铁建;陶为银;蔡正道;鲍占林
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河南通用智能装备有限公司
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2021-06-09
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2021-11-26
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种解胶机的UV解胶结构，涉及UV解胶治具技术领域，包括承料板，所述承料板的正下方设置有UV发光模组，所述承料板的上表面开设有承料凹槽，所述承料凹槽的内部设置有解胶贴膜框，所述解胶让位槽的内部活动连接有移动杆，所述移动杆的内部滑动连接有卡杆，所述卡杆的一端设置有弧形卡块，所述解胶让位槽的两侧均开设有卡槽。通过第一弹簧和卡杆的设置，改变解胶让位槽和移动杆之间的距离，从而使解胶让位孔的大小发生变化，能够有效保证UV光的透过率，达到理想的解胶效果，解胶让位孔，避免透明的承料板因长时间被UV光照射形成黄化、变形等缺陷而最终影响UV光束的透过率和解胶性能。
- 一种解胶机uv胶结
- [实用新型]一种晶片解胶装置-CN202121300144.0有效
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蔡正道;陶为银;巩铁建;鲍占林
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河南通用智能装备有限公司
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2021-06-10
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2021-11-23
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B08B11/00
- 本实用新型公开了一种晶片解胶装置，涉及解胶装置技术领域，具体为一种晶片解胶装置，包括支撑长板，收纳筒的内部固定连接有第二限位环。该晶片解胶装置，通过防移板的设置，使该晶片解胶装置具备了使晶片与解胶液充分接触的效果，通过倒入方筒和导流槽的配合设置，在使用的过程中可以使解胶液沿着进液管流入到晶片上，并且使解胶液流入到由储液方筒和支撑盘组成的空间内，达到了解胶效果好的目的，通过第二限位环的设置，使该晶片解胶装置具备了防止限位盘过度压紧晶片的效果，通过防移弹簧和限位弹簧的配合设置，在使用的过程中可以使防移板顶着晶片的侧面和使限位盘压着晶片的上表面，
- 一种晶片装置
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