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[发明专利]太鼓晶圆对中确定方法及太鼓晶圆切割方法-CN202310692463.8有效
发明人：葛凡;张宁宁;孙志超;曹伟;陈丛余 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本发明揭示了太鼓晶圆对中确定方法及太鼓晶圆切割方法，其中太鼓晶圆对中确定方法在通过四孔对中法判断太鼓晶圆是否对中的过程中，确定存在异常孔位，则通过图像识别在晶圆主体的正常边缘上找到预定数量的位于四个通孔外的部分的点位并确定其对应的第二边缘坐标；在异常孔位处采集的图像均未识别到晶圆主体的正常边缘；预定数量与异常孔位的数量一致，根据第二边缘坐标及第一边缘坐标确定太鼓晶圆是否对中。本方法在识别异常时，通过对晶圆主体的正常边缘上位于四个通孔外的部分进行识别并获取所需的第二边缘坐标及结合第一边缘坐标进行太鼓晶圆是否对中的判断，避免了由于大破损缺口导致的误判问题，为破损太鼓晶圆的自动环切创造了条件。
太鼓晶圆确定方法切割

[发明专利]料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统-CN202311001336.5在审
发明人：葛凡;高阳;孙志超;周鑫;王永强;陈丛余 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2023-08-10 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明揭示了料盒更换方法、料盒更换小车及晶圆供料系统，其中，料盒更换方法通过在地面或平台上移动的料盒更换小车来进行料盒的自动更换，料盒更换小车可以直接携带装有待去环晶圆的第一料盒移动到供料回收装置进行更换，其更换动作更简单，效率更高，并且采用料盒更换小车能够有效地满足多层料盒的更换需要，适用范围更广；同时，料盒更换小车在更换料盒时能够充分利用现有去环过程中在等待上料到下料期间的较长时间实现一次性更换，与去环作业的契合度更高，避免了对现有去环动作的干涉。
更换方法小车供料系统

[实用新型]晶圆加工装置及供料解胶一体装置-CN202223042963.7有效
发明人：于光明;陈丛余;葛凡;周鑫;孙志超 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-11-16 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆加工装置及供料解胶一体装置，包括机械爪以及预对准工位，所述预对准工位的四周分别设置有解胶一体工位、切割工位、清洗工位以及取环工位，所述供料解胶一体工位包括料盒，所述料盒的底部设置有UV解胶机构，所述UV解胶机构的一侧设置有用于进出料的开口，所述开口与所述预对准工位相对。本方案减少了整机体积和占用空间，提高了加工效率和晶圆加工的精确度。
加工装置供料一体

[发明专利]一种晶圆取环方法和晶圆取环装置-CN202211472858.9有效
发明人：于光明;陈丛余;葛凡;孙志超;周鑫 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆取环方法和晶圆取环装置，其中晶圆取环装置包括工作台和机械爪，所述机械爪包括固定底盘，所述固定底盘上沿固定底盘的轴心呈放射状设置有多个条形槽，所述条形槽上通过旋转电机驱动可移动地设置有弧形卡爪，所述弧形卡爪沿条形槽在所述固定底盘上做向心运动或离心运动，实现弧形卡爪间的合并或张开，当弧形卡爪合并时，形成一个圆环。本方案提高了卡爪组件之间工作的同步性，减少了取环时产生的力矩，防止晶圆在取环过程中受损，同时简略了取环工艺步骤，提高了取环效率。
一种晶圆取环方法装置

[实用新型]调平结构、机械手及晶圆加工设备-CN202222740749.2有效
发明人：周鑫;葛凡;孙志超;于光明;陈丛余 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型揭示了调平结构、机械手及晶圆加工设备，其中调平结构包括平行的固定板及调平板，固定板和调平板通过一组调平组件连接，调平组件包括固定螺栓、调节螺栓及锁紧螺母，固定螺栓垂直设置在固定板上，调节螺栓的第一头部位于调平板背向所述固定板的一侧，调节螺栓的第一螺杆垂直穿过调平板并与固定螺栓螺纹连接，第一螺杆与所述锁紧螺母连接且两者配合将所述调平板固定。本实用新型使固定螺栓与固定板固定连接，使调节螺栓与固定螺栓螺纹连接，能够有效地增加调节螺栓与固定螺栓的连接长度，增加两者连接稳定性，有效降低调节螺栓晃动的几率，避免了调平板调平后因调节螺栓晃动造成无法保持水平的问题，保证了调平板的水平度。
结构机械手加工设备

[实用新型]集成机械手及取环装置-CN202222740765.1有效
发明人：于光明;陈丛余;孙志超;葛凡;周鑫 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本实用新型揭示了集成机械手及取环装置，其中，集成机械手包括基板，基板上设置有取环机械手，基板上还设置有避让驱动机构，避让驱动机构连接定心机械手且驱动定心机械手沿垂直于所述基板的方向在第一位置和第二位置之间移动，在第一位置处，定心机械手的定心爪位于所述取环机械手的取环爪的下方，在第二位置处，所述取环爪位于所述定心爪的下方。本实用新型将定心机械手和取环机械手集成为一个整体，在取环时，可以直接通过集成机械手实现对中和取环操作，可以有效地减少现有的定心机械手需要大范围移动到取环工位进行对中的过程，同时也可以解决在取环工位进行对中时，其他工位需要等待对中处理造成的低效问题。
集成机械手装置

[实用新型]一种晶圆加工台-CN202223117617.0有效
发明人：于光明;陈丛余;葛凡;孙志超;周鑫 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-11-23 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆加工台，包括基座，所述基座上设置有工作台和外框，所述外框可升降地设置在工作台的外周，所述外框与所述工作台之间设置有间隙，所述外框的底部设置有密封胶圈，所述密封胶圈延伸至所述工作台的底部，所述工作台底部外缘沿径向凸出设置有一圈凸台，所述密封胶圈可选择地与所述凸台抵接。本方案提高了膜与外框的贴合度以及膜的平整度，同时，利用真空吸附结合均匀设置在工作台外缘的支撑凸台，减少了去环过程中的力矩，防止晶圆损坏，便于去环。
一种加工

[实用新型]一种晶圆解胶装置及划片机-CN202222643634.1有效
发明人：张天华;葛凡;孙志超;顾宇彬;陈丛余 -专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆解胶装置及划片机。该晶圆解胶装置包括工作台、解胶灯以及聚光片，工作台用于承载晶圆中间的减薄区域，以使晶圆外周上的支撑环伸出工作台，解胶灯位于工作台的下方，聚光片位于解胶灯和工作台之间，聚光片用于将解胶灯发射的解胶光线汇集照射在支撑环背面粘贴的保护膜上，提高了解胶光线在待解胶保护膜上的照射量，减少了解胶光线的扩散，提高了解胶灯对支撑环的解胶效率，缩减了解胶灯的解胶时长，从而延长了解胶灯的使用寿命。本实用新型提供的划片机，通过应用上述晶圆解胶装置，提高了解胶灯对支撑环的解胶效率，缩减了解胶灯的解胶时长，从而延长了解胶灯的使用寿命。
一种晶圆解胶装置划片

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