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- [发明专利]一种混合工业污水治理方法-CN201811497584.2有效
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童年;童福良
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童年
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2018-12-07
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2021-06-22
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C02F9/08
- 本发明公开了一种混合工业污水治理方法,属于污水治理领域,包括以下工序:预处理工序、混合工序、调节工序、辐照处理工序、吸附重金属工序、过滤工序,所述吸附重金属工序中,采用辐照凝胶法去除重金属,所述辐照处理工序和吸附重金属工序中,均采用γ射线,所述辐照处理工序中,辐照吸收剂量为4‑6kGy,所述吸附重金属工序中,辐照吸收剂量为2‑4kGy。本发明的方法效率高,可以将多种不同种类的工业污水进行混合处理,且处理效果良好,不会带来新的污染物,且经过辐照后,排出的污水不会产生辐射。
- 一种混合工业污水治理方法
- [发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN201910936715.0在审
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犹原英司;冲田有史;角间央章;増井达哉
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株式会社斯库林集团
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2019-09-29
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2020-04-14
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H01L21/67
- 本发明提供一种可对喷出至基板的端部的液柱状的处理液进行拍摄的基板处理方法及基板处理装置。基板处理方法包括:保持工序、旋转工序、上升工序、斜面处理工序、摄像工序以及监视工序。在上升工序中,使包围基板保持部的外周的杯状构件上升,并使杯状构件的上端位于较保持于基板保持部的基板的上表面而言更高的上端位置。在斜面处理工序中,自位于较上端位置而言更低的位置的喷嘴的喷出口向保持于基板保持部的基板的上表面的端部喷出处理液。在摄像工序中,使照相机对作为包含自喷嘴的喷出口喷出的处理液的摄像区域且自基板的上方的摄像位置看到的摄像区域进行拍摄,来取得摄像图像。在监视工序中,基于摄像图像判定处理液的喷出状态。
- 处理方法装置
- [发明专利]被处理体的处理方法-CN201610300938.4有效
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小林史弥;小笠原正宏
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东京毅力科创株式会社
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2016-05-09
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2019-11-05
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H01L21/3065
- 本发明提供一种被处理体的处理方法。本发明可在含钨膜中形成具有高垂直性的开口。一个实施方式的方法包括:(i)在等离子体处理装置的处理容器内准备被处理体的工序;(ii)在处理容器内生成含有氯的第1处理气体的等离子体的第1等离子体处理工序;(iii)在处理容器内生成含有氟的第2处理气体的等离子体的第2等离子体处理工序;及(iv)在处理容器内生成含有氧的第3处理气体的等离子体的第3等离子体处理工序。在该方法中,执行多次序列,该序列各自包括第1等离子体处理工序、第2等离子体处理工序、及第3等离子体处理工序。
- 处理方法
- [发明专利]一种多孔硅的阳极氧化表面处理技术-CN02112391.8无效
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虞献文;朱自强
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华东师范大学
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2002-07-04
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2003-02-12
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C25F3/12
- 一种多孔硅阳极氧化表面处理技术,属半导体材料,确切说,功能信息材料的制备技术领域,包括多孔硅的阳极氧化表面处理工序和干燥处理工序,前道工序在腐蚀槽2内实施,把湿的、一个表面附有多孔硅61的P型单晶硅片6悬置于腐蚀槽2内,向腐蚀槽2注入H2O2水溶液3,通电进行阳极氧化;后道工序清洗和用常规的干燥方法干燥经前道工序处理的湿的、一个表面附有多孔硅61的P型单晶硅片6,制得干燥的多孔硅成品,有设备简单、操作方便、精度控制容易、生产成本低和适用于工业生产的优点,适于用来对湿的多孔硅进行表面处理,制得干燥的多孔硅。
- 一种多孔阳极氧化表面处理技术
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