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[发明专利]一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪-CN201911405229.2在审
发明人：冯亚青;朱文俊;张敬娣;梁舰;敬文华;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及机械技术领域，公开了一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪。基片蒸镀承载盘，用于真空蒸镀仪中，包括底盘和挡板组件，底盘上设有多个用于放置基片的承载部；挡板组件设置于底盘下方，挡板组件能相对底盘运动，且挡板组件用于切换是否蒸镀与切换所需蒸镀图形。本发明提供的基片蒸镀承载盘中的挡板组件可以遮挡蒸镀图形使对应的基片不蒸镀图形，还可以针对每个基片的蒸镀要求切换蒸镀图形，使蒸镀仪能同时蒸镀多个及多种类的基片，增加了蒸镀基片的种类和个数，提高了基片蒸镀承载盘的空间利用率和蒸镀仪的蒸镀效率
一种基片蒸镀承载真空蒸镀仪

[实用新型]一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪-CN201922445523.8有效
发明人：冯亚青;朱文俊;张敬娣;梁舰;敬文华;冯敏强;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械技术领域，公开了一种基片蒸镀承载盘及真空蒸镀仪。基片蒸镀承载盘，用于真空蒸镀仪中，包括底盘和挡板组件，底盘上设有多个用于放置基片的承载部；挡板组件设置于底盘下方，挡板组件能相对底盘运动，且挡板组件用于切换是否蒸镀与切换所需蒸镀图形。本实用新型提供的基片蒸镀承载盘中的挡板组件可以遮挡蒸镀图形使对应的基片不蒸镀图形，还可以针对每个基片的蒸镀要求切换蒸镀图形，使蒸镀仪能同时蒸镀多个及多种类的基片，增加了蒸镀基片的种类和个数，提高了基片蒸镀承载盘的空间利用率和蒸镀仪的蒸镀效率
一种基片蒸镀承载真空蒸镀仪

[实用新型]具有监控片的蒸镀盘-CN201020644878.6无效
发明人：徐琼芳 -专利权人：聚昌科技股份有限公司
申请日： 2010-12-02 - 公布日： 2011-07-06 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种具有监控片的蒸镀盘，其包括：蒸镀盘；以及至少一监控片。监控片可分离的设置于蒸镀盘上，而蒸镀盘设置有晶圆槽用以摆放晶圆以进行蒸镀，其中监控片能够反映晶圆的蒸镀状态，并可作为监控蒸镀情况的依据，亦可在测试新的蒸镀过程时，作为取得蒸镀参数的参考。
具有监控蒸镀盘

[发明专利]镀膜装置-CN200910308028.0无效
发明人：裴绍凯 -专利权人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2009-09-30 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种镀膜装置，其包括镀膜室、承载装置、溅镀装置及蒸镀装置。承载装置包括固定板及用于承载镀膜工件的第一承载盘。固定板将镀膜室分隔成蒸镀腔和溅镀腔溅镀装置设置于溅镀腔内。蒸镀装置与所述蒸镀腔对应连通。所述固定板开设有连通蒸镀腔和溅镀腔的镀膜通孔。第一承载盘可转动地安装于镀膜室内并位于镀膜通孔附近，以使第一承载盘通过转动可选择性地遮蔽或者暴露所述镀膜通孔。从而当所述第一承载盘暴露所述镀膜通孔时，使得第一承载盘承载的镀膜工件暴露于蒸镀腔和溅镀腔中的一个，并且当使得第一承载盘遮蔽所述镀膜通孔时，所述第一承载盘承载的镀膜工件通过镀膜通孔暴露于蒸镀腔和溅镀腔中的另一个
镀膜装置

[发明专利]一种蒸镀设备-CN201310505072.7有效
发明人：李元虎;马大伟;王玉 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2013-10-23 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及显示装置的制造技术领域，公开了一种蒸镀设备，可以实现连续蒸镀，提高生产效率，降低生产成本。蒸镀设备包括：蒸镀室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘、夹具，以及至少一个加热坩埚的蒸镀装置；置换室，内部设置有可容置坩埚的坩埚置换盘；将蒸镀室与置换室连通或隔离的阀门；对置换室抽真空的抽真空设备；控制设备，控制夹具夹持坩埚在蒸镀位置和蒸镀室内的坩埚置换盘之间换位，以及控制夹具在阀门打开时夹持坩埚置换盘在蒸镀室和置换室之间换位。向蒸镀室内添加蒸镀材料无需降温和破真空，蒸镀装置可以进行连续蒸镀，大大提高了生产效率，降低了生产成本。
一种设备

[发明专利]一种超薄铝层PET镀铝膜的生产装置及其生产方法-CN202110941085.3在审
发明人：林武辉;符坚;时蕊花;吴昊 -专利权人：浙江海顺新材料有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种超薄铝层PET镀铝膜的生产装置及其生产方法，包括蒸镀机、进膜口和进铝口，还包括辅助进铝机构和清洁机构，所述辅助进铝机构由安装板、托架、条架、传动轴A、传动轴B、齿盘A、带轮A、联轴器、电机、齿盘B、带轮B、皮带和进料槽构成，所述进铝口外侧的蒸镀机表面可拆卸连接有安装板，通过在蒸镀机处设置有辅助进铝机构和清洁机构，借助电机为驱动力的齿盘A和齿盘B进行同步传输转动，齿盘A和齿盘B表面的角齿可以较好的咬住铝条平稳的送入清洁机构的料管处被刷毛清扫后送入蒸镀机，从而保证了铝条干净且平稳的送入蒸镀机内进行较好的蒸镀加工，提升了蒸镀机的铝条的蒸镀加工品质。
一种超薄 pet 镀铝生产装置及其方法

[实用新型]一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置-CN201620382148.0有效
发明人：王暄;丁玲;林文莉 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2016-05-03 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可夹持蒸镀盘自动旋转翻转的夹具装置，应用于真空镀膜机中，其组成包括主动夹具、从动夹具、双层蒸镀盘、拱形臂、传动杆、蒸镀室、加热蒸发槽和舱门，其中主动夹具又包括步进电机、无线接收控制器、固定手柄压紧螺栓和防滑垫，无线接收控制器又配有无线遥控器，以根据蒸镀试验要求控制双层蒸镀盘的翻转；本实用新型可实现一次同时蒸镀试品的上下两面，提高了工作效率，同时，将传统蒸镀室内的挂钩改为夹具，防止了双层蒸镀盘在旋转时产生相对滑动
一种夹持蒸镀盘自动旋转翻转夹具装置

[实用新型]一种蒸镀炉-CN201320583808.8有效
发明人：胡光辉 -专利权人：和宏华进纳米科技（上海）有限公司
申请日： 2013-09-22 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀炉，包括：一蒸镀炉炉体；所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转；所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转使用本实用新型一种蒸镀炉，能够有效地提高工件蒸镀的均匀性。
一种蒸镀炉

[实用新型]一种蒸镀炉-CN201320583778.0有效
发明人：陈海婴 -专利权人：和宏华进纳米科技（上海）有限公司
申请日： 2013-09-22 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀炉，包括：一蒸镀炉炉体；所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转；所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转使用本实用新型一种蒸镀炉，能够有效地提高工件蒸镀的均匀性。
一种蒸镀炉

[实用新型]一种蒸镀炉的转料盘旋转机构-CN201320577761.4有效
发明人：陈海婴 -专利权人：和宏华进纳米科技（上海）有限公司
申请日： 2013-09-17 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开一种蒸镀炉的转料盘旋转机构，包括：一蒸镀炉炉体；所述蒸镀炉炉体的所述空腔内沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架；其中，所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转。使用本实用新型一种蒸镀炉的转料盘旋转机构，通过旋转机构的使用，使得转动转料盘时，工件支架不仅能够绕着蒸镀炉电极旋转，同时也能够通过旋转机构带动工件支架绕自身自转，有效地提高工件蒸镀的均匀性，避免蒸镀完成的产品出现色差的情况
一种蒸镀炉盘旋转机

[实用新型]一种纳米防指纹薄膜用蒸镀设备-CN202220285169.6有效
发明人：胡冀;占兵;周家维 -专利权人：深圳市黄金屋真空科技有限公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本申请涉及蒸镀设备的技术领域，具体涉及一种纳米防指纹薄膜用蒸镀设备，其包括柜体，柜体内设置有安装座，安装座的表面设置有多个安装位，每个安装位设置有立杆，立杆上套设有多个支撑盘，每个支撑盘上设置有弹性挂件本申请能够将待蒸镀产品稳固地固定在支撑盘上，且能够根据待蒸镀产品灵活调整立杆、支撑盘、弹性挂件等挂具，具有使待蒸镀产品蒸镀得更均匀从而提高蒸镀质量的效果。
一种纳米指纹薄膜用蒸镀设备

[实用新型]一种蒸镀腔体内冷却结构及蒸镀装置-CN202022633430.0有效
发明人：黄稳;朱宏伟;武启飞;虞强龙;陈奇;高永喜;张敬娣;廖良生 -专利权人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸镀设备技术领域，具体公开了一种蒸镀腔内体冷却结构及蒸镀装置。蒸镀腔体内冷却结构包括至少一个冷却板，冷却板设置于坩埚与蒸镀盘之间，且冷却板周边与蒸镀腔体的侧壁连接，冷却板上开设有能使坩埚蒸发的物质蒸镀至基片上的通孔。本实用新型提供的蒸镀腔体内冷却结构在蒸镀腔体内设置冷却板，冷却板置于坩埚和蒸镀盘之间，坩埚的热量辐射到冷却板上，冷却板直接带走热量，降低了辐射到基片和蒸镀腔体侧壁上的热量，并且沉积在冷却板上的蒸镀物质和杂质气体会因冷却板温度低而不易脱附
一种蒸镀腔体内冷却结构装置

[实用新型]一种具有保护功能的OLED器件蒸镀金属加热源装置-CN202023175773.3有效
发明人：屠礼芸 -专利权人：南京欧濑光电科技有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及OLED器件蒸镀技术领域，公开了一种具有保护功能的OLED器件蒸镀金属加热源装置，包括发热源壳体，所述发热源壳体的内底壁设有加热丝网，所述加热丝网的上方设有载料盘，所述载料盘内设有蒸镀材料，所述蒸镀材料的上方发热源壳体顶部插设有锥形斗，呈网状结构设置的加热丝网，能够均匀的对载料盘内的蒸镀材料进行加热，使其蒸镀材料能够快速的进入升华状态，而锥形斗呈上窄下宽状设置，锥形斗的内壁紧贴在蒸镀材料的上方可解决温度差异的问题，并对蒸发分子的排出更加高效，少量粘附在锥形斗内壁上的蒸发分子集聚，再由高温加热并流入载料盘内，有效的解决了现有技术喷嘴极易造成蒸发分子粘附凝结堵塞的问题，提升装置蒸镀效果。
一种具有保护功能 oled 器件镀金热源装置

[实用新型]一种外延片蒸镀装置-CN201320620068.0有效
发明人：胡泰祥 -专利权人：元茂光电科技（武汉）有限公司
申请日： 2013-10-09 - 公布日： 2014-04-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提出一种外延片蒸镀装置，包括承载盘和蒸镀单元；所述蒸镀单元包括能被磁铁吸引的固定块、磁铁、不能被磁铁吸引的盖子、外延片、能被磁铁吸引的光罩片，所述光罩片上具有蒸镀孔；所述固定块固定设置在所述承载盘上在蒸镀承载盘直径和磁铁直径不变的情况下，通过缩小固定块、盖子和光罩片的直径、缩小固定块与固定块之间的间距，可将单个承载盘承载的蒸镀单元由50个提升到62个，相应地，蒸镀的外延片的数量由50个也提升为62个，蒸镀金属成本降低19.3%，使得成品成本降低，提升了产品在市场上的竞争力。
一种外延片蒸镀装置

[实用新型]一种光学镜头加工生产用镀膜装置-CN202021589333.X有效
发明人：韩国华 -专利权人：江西源大光电有限公司
申请日： 2020-08-03 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学镜头加工生产用镀膜装置，使用时，将不同镀层的蒸镀原料依次注入镀料桶中，启动第一镀料桶底部的加热盘，对第一层镀层原料进行预加热，启动第一无杆气缸和第二无杆气缸，驱动真空泵和第二吸气管将光学镜头通过真空吸盘放置于蒸镀口上方，启动第一吸气管，将蒸镀箱内部的空气抽出，形成真空状态，打开第一镀料桶的电动高温阀，将第一镀层的镀料蒸汽输入蒸镀箱中对光学镜头进行蒸镀，同时启动加热盘加热第二镀料桶，蒸镀完成后关闭第一镀料桶的电动高温阀，启动第二镀料桶的电动高温阀，接着以同样方式进行第三镀层的蒸镀，蒸镀完成后，恢复蒸镀箱的气压，将光学镜头送往下一工序。
一种光学镜头加工生产镀膜装置

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