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[发明专利]掩膜组件、主掩膜板及配合掩膜板-CN201810454366.4有效
发明人：韩冰;王徐亮;张玄;甘帅燕;高峰 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种主掩膜板、配合掩膜板及掩膜组件，该掩膜组件包括具有蒸镀区的主掩膜板，具有配合区的配合掩膜板，主掩膜板的有效蒸镀区与显示面板的显示区对应，配合掩膜板的第一配合区内布设有第一配合开口，第一配合开口在配合掩膜板上的正投影完全覆盖有效蒸镀开口在配合掩膜板上的正投影，且配合掩膜板的第二配合区遮挡主掩膜板无效蒸镀区内的无效蒸镀开口。上述掩膜组件中，主掩膜板上在异形的有效蒸镀区外开设无效蒸镀开口，可以平均有效蒸镀区边缘的应力，防止有效蒸镀区边缘因为受力不均而产生褶皱，提高蒸镀良率。同时，可以通过配合掩膜板上的第二配合区遮挡无效蒸镀区内的无效蒸镀开口，制得具有开槽区的异形显示面板。
掩膜板蒸镀配合开口掩膜组件配合区正投影遮挡褶皱受力不均显示面板异形显示开槽区显示区良率掩膜异形

[实用新型]一种蒸镀用掩膜板和蒸镀掩膜结构-CN202021785843.4有效
发明人：王勇波;秦晓强 -专利权人：苏州清越光电科技股份有限公司
申请日： 2020-08-24 - 公布日： 2021-04-13 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀用掩膜板和蒸镀掩膜结构，其中，所述蒸镀用掩膜板包括蒸镀区和包围所述蒸镀区的外围区，所述蒸镀用掩膜板的外围区中具有贯穿蒸镀用掩膜板部分厚度的引线遮盖槽。所述蒸镀用掩膜板能够避免在蒸镀的过程中对基板引线区造成短路。
一种蒸镀用掩膜板蒸镀掩膜结构

[发明专利]掩膜板及其制造方法-CN201810450851.4在审
发明人：单为健;王亚玲;罗志忠;黄俊杰 -专利权人：云谷（固安）科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板及其制造方法，掩膜板包括：掩膜框架，围合形成蒸镀区；若干间隔排布设置在蒸镀区第一方向上的第一掩膜条；若干间隔排布设置在蒸镀区第二方向上的第二掩膜条；第一掩膜条和第二掩膜条相互交错；第一掩膜条、第二掩膜条以及掩膜框架围合形成的若干蒸镀单元；若干用于调整蒸镀单元蒸镀面积的蒸镀调整结构，蒸镀调整结构设置在第一掩膜条上和/或第二掩膜条上。上述掩膜板，第一掩膜条、第二掩膜条、掩膜框架以及蒸镀调整结构可对被蒸镀屏体进行部分遮挡而避免蒸镀材料在蒸镀调整结构对应位置沉积，因此使被蒸镀屏体形成有与蒸镀单元形状相同的覆盖蒸镀材料的蒸镀区，从而为该遮挡区域的后续切割提供了便利，简化了蒸镀过程。
蒸镀掩膜条调整结构掩膜板掩膜间隔排布设置蒸镀材料屏体围合单元形状遮挡区域沉积遮挡交错切割制造便利覆盖

[发明专利]一种掩膜板框架模组、蒸镀方法、阵列基板-CN201610159061.1有效
发明人：嵇凤丽;梁逸南;白珊珊 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种掩膜板框架模组、蒸镀方法、阵列基板，属于显示技术领域，其可解决现有的掩膜板框架模组中的蒸镀掩膜板的边缘不固定导致的在蒸镀时蒸镀掩膜板的边缘容易卷曲翘起，影响蒸镀效果的问题。本发明的掩膜板框架模组，包括框架、覆盖掩膜板和至少两个蒸镀掩膜板，蒸镀掩膜板依次设置在框架上，两个相邻的蒸镀掩膜板之间具有缝隙，在框架上与缝隙对应的位置设置有第一沟槽；第一沟槽包括第一沟槽焊接部和第一沟槽非焊接部；蒸镀掩膜板包括与第一沟槽焊接部对应的第一子蒸镀掩膜板和与第一沟槽非焊接部对应的第二子蒸镀掩膜板；第一子蒸镀掩膜板的边缘与第一沟槽焊接部的边缘重合。
一种掩膜板框架模组方法阵列

[发明专利]掩膜板及掩膜组件-CN201910153400.9在审
发明人：李加伟 -专利权人：云谷(固安)科技有限公司
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种掩膜板及掩膜组件。所述掩膜板包括第一蒸镀区域和第二蒸镀区域，所述第一蒸镀区域及所述第二蒸镀区域内分别设有多个蒸镀开口，所述第一蒸镀区域内蒸镀开口的密度大于所述第二蒸镀区域内蒸镀开口的密度，所述第一蒸镀区域的厚度大于所述第二蒸镀区域的厚度所述掩膜组件包括掩膜板框架、支撑条及至少一个所述掩膜板，所述支撑条固定设置在所述掩膜板框架上，至少一个所述掩膜板设置在所述支撑条上，且与所述掩膜板框架固定连接。
蒸镀掩膜板支撑条开口掩膜组件固定设置申请

[发明专利]一种掩膜板、蒸镀方法以及蒸镀设备-CN202310816957.2在审
发明人：杨一新;卞曙光 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-07-04 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本公开涉及一种掩膜板、蒸镀方法以及蒸镀设备，掩膜板包括掩膜框架以及设置在掩膜框架上依次排列的多列掩膜片；通过掩膜板多列掩膜片的蒸镀图案，在基板上第一次蒸镀形成多列第一蒸镀图形；掩膜板与基板相对旋转180°后，通过掩膜板多列掩膜片的蒸镀图案，在各相邻列第一蒸镀图形之间，以及最后一列第一蒸镀图形远离其他列第一蒸镀图形一侧第二次蒸镀形成第二蒸镀图形；其中，相邻列掩膜片的蒸镀图案之间具有第一距离；第一距离大于等于蒸镀图案沿掩膜片排列方向的长度；第一距离小于掩膜片沿掩膜片排列方向的长度。本公开使基板上相邻蒸镀图案之间的距离减小，基板上蒸镀图案数量增加，进而提高了基板的利用率，还降低了掩膜板的制作成本。
一种掩膜板方法以及设备

[发明专利]掩膜板和掩膜板的制造方法-CN201810548269.1有效
发明人：熊腾青;李如;乔永康;潘晟恺;刘杰;杨凯;于剑伟 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2018-05-31 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜板和掩膜板的制造方法，属于蒸镀技术领域。掩膜板包括：掩膜，掩膜包括掩膜基底以及设置在掩膜基底上的镀层，镀层的热膨胀系数大于掩膜基底的热膨胀系数；其中，掩膜在蒸镀温度下为平整状态，掩膜中的镀层在蒸镀温度下由凸起状态膨胀为平整状态。本发明通过在掩膜上形成热膨胀系数较大的镀层，且使掩膜在蒸镀温度下为平整状态，这样在常温下掩膜就会因为镀层的收缩而呈弯曲状态，将包括该掩膜的掩膜板设置在在蒸镀基板上时，掩膜的边缘不会与待蒸镀基板接触，避免了对待蒸镀基板的损伤解决了相关技术中掩膜板可能损伤待蒸镀基板的问题。达到了能够避免掩膜板损伤待蒸镀基板的效果。
掩膜板制造方法

[发明专利]一种掩膜组件及蒸镀方法-CN202310446511.5在审
发明人：杨一新 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本公开涉及一种掩膜组件及蒸镀方法，掩膜组件包括掩膜板组；掩膜板组包括至少一个掩膜板，掩膜板包括阵列排布的多个蒸镀图案；沿第一方向掩膜板的相邻蒸镀图案中心之间的距离为A；采用掩膜板组的至少一个掩膜板沿所述第一方向和/或所述第一方向的反方向移位蒸镀形成的蒸镀图形中，沿第一方向的相邻蒸镀图案中心之间的距离为B；其中，A大于B，且A为B的整数倍；第一方向包括沿蒸镀图案排列的至少一个方向。本公开实现了增大掩膜板相邻蒸镀图案之间的距离，降低了掩膜板上蒸镀图案的密度，进而使得掩膜板相邻蒸镀图案之间区域尺寸增大，提高了掩膜板强度。
一种组件方法

[发明专利]掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法-CN201810458187.8有效
发明人：周丽芳;刘明星;王徐亮 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种掩膜板、掩膜组件及掩膜板制作方法，该掩膜板包括掩膜基板和遮挡层，掩膜基板上设置有蒸镀区，蒸镀区包括有效蒸镀区和无效蒸镀区，有效蒸镀区与显示面板的显示区对应，无效蒸镀区至少与显示面板的开槽区对应，且有效蒸镀区和无效蒸镀区内均分布有多个蒸镀开口，遮挡层设置于掩膜基板表面并遮挡无效蒸镀区内的蒸镀开口。上述掩膜板用于蒸镀显示面板，其中对于掩膜基板而言，不仅使有效蒸镀区与异形屏的显示区对应，还通过无效蒸镀区补齐了有效蒸镀外的缺口，整个蒸镀区的边缘受力均匀，可以防止掩膜基板在张网时褶皱，进而防止最终成型的显示面板混色
掩膜板组件制作方法

[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法-CN201611131587.5有效
发明人：李晓虎;王路 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，利用支撑台依次水平承载金属掩膜板和待蒸镀基板，通过在金属掩膜板的下方与金属掩膜板的非蒸镀区相对应的位置设置吸附装置，以吸附金属掩膜板的下表面，吸附装置可以向金属掩膜板施加竖直向下的作用力，增大金属掩膜板与支撑台之间的摩擦力。通过在待蒸镀基板上压覆盖板，借助盖板的重力对待蒸镀基板施加压力，增大待蒸镀基板与金属掩膜板之间的摩擦力。在蒸镀过程中，当支撑台转动时，可以避免金属掩膜板与支撑台间的相对运动，同时，也可以避免待蒸镀基板与金属掩膜板间的相对运动，提高金属掩膜板与待蒸镀基板的对位精度，使点源蒸镀材料能够准确蒸镀到待蒸镀基板上，
一种设备方法

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板-CN202310365483.4在审
发明人：董晴晴;范刘静 -专利权人：上海天马微电子有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及显示技术领域，公开了一种蒸镀装置、蒸镀方法和有机发光显示面板，蒸镀装置包括：蒸镀腔、以及位于蒸镀腔内的对位机构、待蒸镀基板、掩膜板、挡板和蒸镀源；待蒸镀基板和掩膜板相对设置，且待蒸镀基板和掩膜板固定于对位机构靠近蒸镀源的一侧，掩膜板位于待蒸镀基板靠近蒸镀源的一侧，对位机构同时带动待蒸镀基板和掩膜板移动；挡板位于掩膜板和蒸镀源之间，挡板包括开口，沿垂直于待蒸镀基板所在平面的方向，蒸镀源与开口至少部分交叠。本发明有利于减小蒸镀腔的体积，减少生产成本。
装置方法有机发光显示面板

[发明专利]一种真空镀膜装置及方法-CN201310701253.7无效
发明人：沐俊应;马大伟;王玉;李元虎 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司
申请日： 2013-12-18 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空镀膜装置及方法，该方法包括：步骤一，将待蒸镀基板的膜面与掩膜板相对设置，待蒸镀基板的膜面上包括至少一个蒸镀区域，掩膜板的图形区尺寸小于任一蒸镀区域尺寸；步骤二，使掩膜板与第一蒸镀区域对位；步骤三，将掩膜板的图形区与蒸发源相对设置，在所述掩膜板和所述蒸发源之间对应设置蒸镀挡板，驱动待蒸镀基板与掩膜板之间相对移动，完成第一蒸镀区域的镀膜。本发明使用尺寸小于一个蒸镀区域的掩模板，通过控制掩膜板和蒸镀区域之间相对移动，分步完成一个蒸镀区域的蒸镀。既可以保证真空蒸镀所使用的掩膜板的小尺寸，同时能够满足大尺寸显示器模组的生产要求。
一种真空镀膜装置方法

[发明专利]掩膜板组件及蒸镀设备-CN202310194805.3在审
发明人：李如;杨凯;潘晟恺;乔永康;徐阳 -专利权人：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种掩膜板组件及蒸镀设备。该掩膜板组件包括：框架；掩膜条，设置在框架上，并位于框架朝向待蒸镀基板的一侧，掩膜条具有第一开口，第一开口在待蒸镀基板上的正投影与待蒸镀基板的待蒸镀区域重合；掩膜托盘，设置在框架上，并位于掩膜条朝向蒸镀源的一侧，掩膜托盘遮挡至少部分掩膜条，掩膜托盘具有第二开口，第二开口在待蒸镀基板上的正投影覆盖第一开口在待蒸镀基板上的正投影；其中：掩膜托盘至少朝向蒸镀源一侧的表面粗糙度大于掩膜条的表面粗糙度。本申请实施例能够降低沉积在掩膜板组件上的膜层从掩膜板组件上剥落的风险，提高掩膜板组件的使用寿命。
掩膜板组件设备

[发明专利]一种蒸镀设备和蒸镀方法-CN201711175765.9有效
发明人：张超;雷东 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种蒸镀设备和蒸镀方法，该蒸镀设备包括：蒸镀台、材料为铁磁性材料的掩膜板、线圈、和控制电路；线圈包绕蒸镀台，蒸镀台的材料为软磁性材料；控制电路与线圈电连接，用于控制线圈中电流的大小，以使得待蒸镀基板需要被蒸镀时，掩膜板吸附在蒸镀台上；否则，使得掩膜板与蒸镀台分离。由于控制电路控制线圈中产生电流，当需要将掩膜板与蒸镀台分离时，线圈中产生的电流在控制电路的控制下降低，蒸镀台被磁化后产生的磁力大于也降低，当该磁力小于掩膜板的重力时，能够使得掩膜板与蒸镀台分离，这样在将掩膜板与蒸镀台分离时，不需要对掩膜板施加外界拉力，能够有效避免掩膜板长时间受到外力作用产生撕裂的问题。
一种设备方法

[发明专利]蒸镀掩膜板及其制作方法-CN201510567869.9有效
发明人：马得贵;冉应刚;吴俊雄;柯贤军;苏君海;李建华 -专利权人：信利（惠州）智能显示有限公司
申请日： 2015-09-07 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：一种蒸镀掩膜板，用于显示面板上像素区域的蒸镀，所述显示面板包括基板，设置于所述基板上的像素限定层，及设置于所述像素限定层上的垫块，所述像素限定层将所述基板划分成若干个子像素区域，所述子像素区域包括蒸镀子像素区域及非蒸镀子像素区域，所述蒸镀掩膜板包括掩膜板本体及形成在所述掩膜板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩膜板本体，所述掩膜板本体对应所述显示面板上所述垫块的位置设置有减薄区，以使所述掩膜板对应所述显示面板上所述垫块的位置的厚度小于所述掩膜板本体整体的厚度上述蒸镀掩膜板，可以消除蒸镀掩膜板与基板之间的间隙，提高贴合的紧密程度，减少混色风险，提高蒸镀品质。
蒸镀掩膜板及其制作方法

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