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- [发明专利]用于蒸发单元的再加载方法-CN201510164034.9在审
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D·埃斯特韦;F·施特梅伦;C·德奥利维拉
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瑞必尔
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2015-03-03
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2015-09-16
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C23C14/24
- 本发明涉及用于将材料(7)蒸发到安放在真空沉积室中的基质上的蒸发单元(10)的再加载方法，使包含待蒸发材料的第一坩埚(110)与该蒸发单元的蒸发室(100)接合，设置蒸发装置(101，131，132)以将第一坩埚置于蒸发条件下以便生成材料蒸汽流该再加载方法包括：将含有待蒸发材料的第二坩埚(120)加载入与相邻蒸发室预先隔离的加载室(200)中的步骤，该加载室中的压力显著大于真空沉积室中的压力；在所述引入步骤之后的封闭步骤，用于使加载室内的压力回到与蒸发第一坩埚时蒸发室的压力相当的水平；释放步骤，在该步骤中第一坩埚被从蒸发室转移到加载室；接合第二坩埚与蒸发室的步骤；和将第二坩埚置于蒸发条件下的步骤。
- 用于蒸发单元再加方法
- [发明专利]一种蒸发设备-CN201010191980.X无效
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涂爱国
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涂爱国
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2010-06-04
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2010-09-22
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C23C14/26
- 本发明公开了一种蒸发设备，其特征在于，该蒸发设备包括：（a）至少一个蒸发源，能够加热使源材料气化产生源材料的蒸气；（b）一个与蒸发源连接的盒子，该盒子具有线性出口，引导盒子中的蒸气流到衬底上；（c）阻止材料沉积在所述盒子和导管的内壁上的加热部件；（d）外壳和分布在盒子和蒸发源周围的冷却管。该蒸发设备具有可以实现大面积均匀成膜的优点，并且容易实现均匀混合蒸镀两种或多种材料，能够加快薄膜沉积速率，提高材料利用率。
- 一种蒸发设备
- [发明专利]蒸发源-CN201310438958.4有效
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赵芳;林成勇;魏锋
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四川虹视显示技术有限公司
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2013-09-24
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2013-12-25
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C23C14/24
- 本发明公开的一种应用于OLED显示技术领域的蒸发源主要包括蒸发舟和阻挡装置，阻挡装置包括阻挡盖和阻挡支架或阻挡盖组和阻挡支架，阻挡盖或阻挡盖组通过阻挡支架安装于蒸发舟的正上方，阻挡盖的直径大于蒸发舟横截面的直径采用该蒸发源进行OLED基板蒸镀时，当处于基板传输、基板对位、腔体等待基板等非蒸镀工艺时，阻挡盖盖在处于蒸镀状态的蒸发舟上，被蒸发或升华的蒸镀材料全部凝聚在阻挡盖上，回收工艺非常简便；对于蒸镀材料包括主有机材料和掺杂材料的情况，由于蒸镀时，主有机材料和掺杂有机材料分别位于不同的蒸发舟中，对应不同的阻挡盖，只要回收时进行分别回收，则后续只需进行简单的分离提纯即可分别再次投入使用。
- 蒸发
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