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- [实用新型]一种组合式石墨舟-CN202122629683.5有效
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周志强;鲍宪均;杨淑强
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浙江华熔科技有限公司
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2021-10-30
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2022-08-23
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H01L21/673
- 本实用新型涉及一种组合式石墨舟，包括至少两片石墨舟片a以及位于两片石墨舟片a之间的多组并列的拼接单元，单组拼接单元包括石墨舟片b和石墨舟片c，石墨舟片b的长度大于石墨舟片c的长度，且相邻两组石墨舟片b和石墨舟片c错位拼接，单组所述石墨舟片b和石墨舟片c之间连接有衔接块，衔接块上开设有若干个定位孔，石墨舟片a、石墨舟片b以及石墨舟片c上开设有若干个连接孔，若干个所述定位孔和连接孔内穿设有连接组件，衔接块将石墨舟片b和石墨舟片c拼接后通过连接组件穿过连接孔以及定位孔连接构成石墨舟体，提高了石墨舟片的强度，避免在安装过程中发生断裂的问题，降低了生产成本。
- 一种组合式石墨
- [实用新型]一种高能效石墨舟-CN202121365524.2有效
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吴寅
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无锡鼎桥新能源科技有限公司
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2021-06-20
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2022-02-11
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F27D5/00
- 本实用新型提供一种高能效石墨舟，属于石墨模具技术领域，以解决现有的高能效石墨舟在安装使用时，由于结构强度较低，当石墨螺帽在锁紧过程中，石墨舟舟片受到挤压容易发生爆裂，而且石墨舟舟片连接方式复杂，组装和拆卸需要耗费较多时间，会对石墨舟舟片进行维修更换时带来麻烦的问题，包括石墨舟舟片；所述石墨舟舟片呈线型阵列方式均匀分布，且外侧两处石墨舟舟片左右两端均设有直角外舟片，并且内侧石墨舟舟片左右两端均设有小耳朵内片。本实用新型中，当第二连接杆与安装板呈连接状态时，卡块位于限位槽内，且卡块通过限位槽与安装板相卡接，其结构简单，安装方式便捷，便于石墨舟舟片的组装和拆卸。
- 一种能效石墨
- [发明专利]腔式石墨舟-CN201110082405.0有效
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张志勇
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石金精密科技（深圳）有限公司
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2011-04-01
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2011-09-14
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C23C16/458
- 本发明涉及一种腔式石墨舟，包括舟片、位于石墨舟左右两端的左、右电极，舟片包括与左电极导电连接的左电极片以及与右电极导电连接的右电极片。本发明通过将石墨舟的两电极设置在石墨舟的左右两端，改变现有的石墨舟的电极结构，各舟片相应分为与左电极连接的左电极片以及与右电极连接的右电极片，使得石墨舟工作时反应速度快，镀膜时间短，而且石墨舟的舟片数可以增加至21到41片，同时还在石墨舟的石墨隔块上设置用于测定石墨舟舟号并记录石墨舟使用次数的舟号柱，使得石墨舟更加智能化；另外石墨舟的支撑脚可以固定在运转小车上，提高了石墨舟的使用安全性，因此，本发明不仅结构新颖
- 石墨
- [实用新型]一种高能效石墨舟-CN201620966021.3有效
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黄春雨
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苏州旗正保精密机械有限公司
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2016-08-29
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2017-06-20
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C23C16/458
- 本实用新型涉及到一种石墨舟，具体涉及到一种高能效石墨舟领域。该高能效石墨舟包括石墨舟舟片、陶瓷环、陶瓷棒、石墨棒、石墨螺帽和石墨块，所述石墨舟舟片按一定的间距均匀排列，每两片石墨舟舟片之间设置有一个陶瓷环，所述石墨棒穿入石墨舟舟片和石墨块将石墨舟舟片两端连接，所述石墨舟舟片其中一端最中心处的石墨舟舟片的一侧其上部设置有上石墨电极块，其下部设置有下石墨电极块，其另一侧设置有陶瓷片，所述陶瓷片设置在上石墨电极块和中心处的石墨舟舟片的两侧。由于加了绝缘陶瓷片，改变电场，使电场在整个石墨舟内均匀分布，降低硅片的色差率，提高了硅片表面氮化硅层结构的统一性。
- 一种能效石墨
- [发明专利]一种石英推拉舟-CN201511025863.5有效
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崔严匀;巴建锋;季勇
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无锡华润华晶微电子有限公司
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2015-12-31
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2020-06-19
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H01L21/673
- 本发明提供了一种石英推拉舟，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于第一舟轴和第二舟轴两端的连接轴、横跨于第一舟轴和第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，第一插片档桥组和第二插片档桥组包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置石英插片；第一舟轴上设置多个第一舟槽，第二舟轴上设置多个第二舟槽，第一舟槽和第二舟槽对应设置，晶圆片通过第一舟槽和第二舟槽被承载在石英推拉舟上；第一插片档桥组和第二插片档桥组分别固定于第一舟轴和第二舟轴的两端，第一舟槽和第二舟槽设置于第一插片档桥组和第二插片档桥组之间。本发明解决了陪片不便于管理且极易沾污和缺损的问题，节省了成本，保证了晶圆片片间温度和气流的均匀性。
- 一种石英推拉
- [发明专利]一种石墨舟装配校准装置及石墨舟-CN202310442654.9有效
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周桂宏
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南京仁厚科技有限公司
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2023-04-24
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2023-06-20
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B25B27/02
- 本发明属于硅片镀膜技术领域，具体公开了一种石墨舟装配校准装置及石墨舟，石墨舟装配校准装置包括底座、舟片放置装置，还包括机械臂、舟片夹持装置；舟片夹持装置安装于机械臂的末端，包括多个夹持组件，夹持组件呈多排分布，用于夹持舟片；各排夹持组件之间的间距相同，且能够同步改变；机械臂运载舟片夹持装置至舟片放置装置处，舟片夹持装置同时夹持多个舟片，然后机械臂运载舟片夹持装置至底座处，使得各个夹持组件远离机械臂的一端朝下，各个舟片的下方与底座接触。本发明解决了现有石墨舟装配装置舟片间距不可调，仅能够用来装配固定间距的石墨舟，应用场景受限的问题。采用上述方案装配校准的本发明的石墨舟排列整齐，固定牢靠。
- 一种石墨装配校准装置
- [实用新型]一种石墨舟舟片拆洗夹具装置-CN202022533688.3有效
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宁利军
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苏州煊能自动化设备有限公司
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2020-11-05
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2021-06-22
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B08B3/04
- 本实用新型提供一种石墨舟舟片拆洗夹具装置。所述石墨舟舟片拆洗夹具装置，包括：底座，所述底座内壁的两侧之间固定连接有滑动杆，所述滑动杆的表面滑动连接有两个滑动块，两个所述滑动块的顶部均固定连接有第一连接杆。本实用新型提供的一种石墨舟舟片拆洗夹具装置，通过启动伺服电机进而使得两个舟片夹紧托盘相互靠近对舟片进行夹紧，根据舟片的高度手动按压限位杆对舟片纵向进行夹紧，横向和纵向的对舟片进行夹紧，使得舟片在清洗或者工作时不会发生偏移，通过设置的舟片卡槽和流水槽，使得舟片清洗的表面范围更大，提高了清洗效率，且有效防止清洗时石墨舟舟片的偏移，流水孔的设置使得废水便于排出，防止废水长期滞留影响装置使用寿命。
- 一种石墨舟舟片拆洗夹具装置
- [发明专利]一种石墨舟-CN201110328881.6无效
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尤耀明;代宁;李文虎
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无锡绿波新能源设备有限公司
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2011-10-25
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2012-02-15
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H01L21/673
- 本发明涉及一种石墨舟，其包括交错分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间通过石墨棒及石墨螺母串接后紧固连接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间均通过陶瓷管相隔离；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片间端部的石墨棒上套有石墨块；陶瓷管的长度为10.98mm~11.02mm，外径为9.95mm~10.05mm，内径为6.1~6.3mm；石墨棒的直径为5.9mm~6mm；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均设置有石墨棒安装孔，石墨棒安装孔的孔径为6.1mm~6.5mm。
- 一种石墨
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