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- [发明专利]自动钻孔机-CN201110124334.6有效
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韩敌难
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石金精密科技（深圳）有限公司
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2011-05-13
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2012-11-14
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B23B41/02
- 本发明揭示了一种自动钻孔机，包括用于放置待加工工件的平台、用于对待加工工件进行固定的固定装置及用于对待加工工件进行加工的控制加工装置：所述固定装置包括两气缸，利用压缩气体所产生的压力将待加工工件固定在所述平台上；所述控制加工装置包括主轴电机和控制系统，所述主轴电机上装夹有钻头，所述控制系统用于控制主轴电机在水平面内沿X轴和Y轴的位移，以对所述待加工工件进行加工。本发明提供的一种自动钻孔机，适用于加工大型的不便于装夹的工件，且在加工时可自动调节孔之间的距离，使得加工效率高，并能保证加工精度，满足加工要求。
- 自动钻孔机
- [实用新型]大容量多晶硅铸锭炉热场结构-CN201120550681.0有效
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南志华
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石金精密科技（深圳）有限公司
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2011-12-26
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2012-08-22
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C30B11/00
- 本实用新型涉及一种大容量多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体、设置在炉体内的热场箱、位于热场箱内的坩埚，以及设置在热场箱内及坩埚外的加热器，加热器包括顶部加热器以及与顶部加热器并联的侧加热器，顶部加热器为若干CFC或石墨材质的弯曲型块组成，并通过电极固定于炉体的顶部；侧加热器为CFC板或石墨板围成的框形。本实用新型通过对多晶硅铸锭炉的加热器结构进行改进，并降低热交换平台的高度，增大坩埚的放置空间，有效增加坩埚长宽方向的尺寸及高度，从而使坩埚的容积量增大，大大提高了多晶硅铸锭炉的单位产能，提高了效率，且能耗降低，节省了成本。
- 容量多晶铸锭炉热场结构
- [实用新型]多晶硅铸锭炉-CN201120150252.4有效
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南志华
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石金精密科技（深圳）有限公司
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2011-05-12
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2012-01-11
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C30B28/06
- 本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉，包括炉体、设置在炉体内的坩埚、设置在所述坩埚下方的热交换平台以及若干支撑柱，支撑柱连接在热交换平台与所述炉体的底部之间，用于支撑所述热交换平台及坩埚；坩埚截面长1000mm～1500mm，宽1000mm～1500mm；坩埚高400mm～550mm。本实用新型通过降低热交换平台的高度，增大坩埚的放置空间，有效增加坩埚长宽方向的尺寸及高度，从而使坩埚的容积量增大；同时对加热器结构进行改进，增加其高度，从而大大提高了多晶硅铸锭炉的单位产能，提高了效率，且能耗降低，节省了成本。
- 多晶铸锭
- [实用新型]隔热笼-CN201120150380.9有效
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李恒文
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石金精密科技（深圳）有限公司
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2011-05-12
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2011-12-14
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C30B28/06
- 本实用新型涉及一种隔热笼，用于多晶硅铸锭炉，是由至少三块侧板组成一开放式框体，框体的侧板之间设置有角板，一角板固定连接两侧板，连接后角板与侧板呈倒斜角和/或圆角状，框体的第一开放端的各顶角呈倒斜角和/或圆角状。本实用新型采用了上顶角为倒斜角和/或圆角的形状的隔热笼，解决了隔热笼与铸锭炉体的干涉，使隔热笼在铸锭炉体内的提升高度得以有效地增加，加快了散热的效率，缩短了散热时间，生产成本大大降低。同时隔热笼的内壁设有光滑表面的热保护层，阻止了热交换，使隔热笼内部形成一个相对独立的热场环境，提高了热反射率，降低热功耗，在整体提高隔热笼的工作性能的同时进一步又降低了生产的成本。
- 隔热
- [实用新型]一种石墨舟-CN201120072784.0有效
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李文红
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石金精密科技（深圳）有限公司
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2011-03-18
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2011-12-14
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C23C16/458
- 本实用新型涉及一种石墨舟，包括石墨舟片、上电极以及与所述上电极对应设置的下电极，下电极两端设有支撑脚，支撑脚上部紧靠下电极的槽垫块，石墨舟片至少为15片；两个支撑脚之间的距离为与真空镀膜设备腔体匹配的预定距离；石墨舟片之间的间距为10-13mm。本实用新型通过对现有的石墨舟进行改装，具体对陶瓷套的高度以及石墨隔块等配件进行改进设计，增加石墨舟的舟片数量但不增加石墨舟的总体宽度，使其既能够增加载片数量又可以符合PECVD真空镀膜设备的使用要求，进而提高硅片镀减反射膜生产效率。
- 一种石墨
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