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[发明专利]一种石英推拉舟-CN201511025863.5有效
发明人：崔严匀;巴建锋;季勇 -专利权人：无锡华润华晶微电子有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英推拉舟，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于第一舟轴和第二舟轴两端的连接轴、横跨于第一舟轴和第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，第一插片档桥组和第二插片档桥组包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置石英插片；第一舟轴上设置多个第一舟槽，第二舟轴上设置多个第二舟槽，第一舟槽和第二舟槽对应设置，晶圆片通过第一舟槽和第二舟槽被承载在石英推拉舟上；第一插片档桥组和第二插片档桥组分别固定于第一舟轴和第二舟轴的两端，第一舟槽和第二舟槽设置于第一插片档桥组和第二插片档桥组之间。本发明解决了陪片不便于管理且极易沾污和缺损的问题，节省了成本，保证了晶圆片片间温度和气流的均匀性。
一种石英推拉

[实用新型]一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟-CN202222597232.2有效
发明人：夏新中;孟庆超;王红芳;潘明翠;翟金叶;郎芳 -专利权人：英利能源发展有限公司;英利能源发展（天津）有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，属于半导体器件技术领域。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，包括舟体，舟体的上端面设置有插片槽组，多组插片槽组以舟体的轴线为圆心呈圆周分布，插片槽组包括多组适于硅片插入的插片槽，插片槽贯穿舟体的上端面与下端面设置，插片槽平行于舟体的轴线设置，同一插片槽组内的插片槽相互平行设置，插片槽的宽度大于硅片的厚度。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，硅片插入插片槽中，硅片的背面贴紧插片槽远离舟体中心一侧的舟壁上，转动载片舟，硅片在离心力的作用下紧贴在载片舟的舟壁上，硅片背面不会与气流接触，避免绕扩或绕镀的发生
一种消除太阳能电池载片舟

[实用新型]一种自动插片的方形石英舟-CN201921113425.8有效
发明人：张之怡;汤芳;常永喜 -专利权人：苏州浩锐石英科技有限公司
申请日： 2019-07-16 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动插片的方形石英舟，包括2个上舟杆、2个下舟杆和固定板，所述固定板的上方设置有2个上舟杆，所述上舟杆的下方相对应的设置有2个下舟杆，所述上舟杆上设置有插片槽，所述插片槽的两侧设置有相机识别齿条本实用新型所提供的一种自动插片的方形石英舟有益效果为：实现了石英舟可以自动化插片，不需要在进行手工插片，提高了插片的工作效率，安全性好，硅片不容易损坏。固定板上设置有弹性杆，增加了石英舟的弹性，同时使石英舟也不容易损坏。
一种自动方形石英

[发明专利]一种太阳能电池片插片装置-CN201410788960.9在审
发明人：武文杰 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2014-12-18 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片插片装置，包括)：传片装置(1)、翻片装置(2)、插片装置(3)、石英舟(4)。如图1其中传片装置(1)通过传片皮带传送两片电池片，翻片装置(2)将两片装置一正一反叠放在一起，插片装置(3)将叠放好的电池片插入石英舟(4)。目前市场上的插片机多为多片插，即一次插多片，此次研发的石英舟插片机与市场现存的插片机有所不同，工作模式为逐片插槽，它通过光纤传感器，测试石英舟的槽位，精确定位石英舟的位置。
一种太阳能电池片插片装置

[发明专利]薄硅片改善石墨舟隐裂高频的方法-CN202111222036.0在审
发明人：陈伟;徐建华;吴仕梁;路忠林;张凤鸣;职森森;章明 -专利权人：南京日托光伏新能源有限公司
申请日： 2021-10-20 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄硅片改善石墨舟隐裂高频的方法，包括选择硅片基底、制绒、扩散、碱抛、热氧与退火、镀膜，所述的镀膜采用垂直式插片，采用无卡点设计石墨舟，石墨舟舟叶采用单插双面镀膜方式，上舟时先水平向上，然后向左旋转90°使舟叶向上，电池片贴紧陶瓷杆，先进行450℃背镀膜，镀膜结束后出舟，然后旋转180°使原来镀过的面贴紧石墨舟叶，未镀膜的裸露在空气中，水平进舟镀膜。本发明采用垂直插取片石墨舟设计，通过石墨陶瓷杆方案替代卡点方案，使用单插片方式替代背靠背插片方式，可以降低单面镀膜后的翘曲和高频与碎片，140um厚度在电池端可进行量产，综合成本优于现有技术，可实现薄硅片的量产
硅片改善石墨舟隐裂高频方法

[实用新型]在线式石英舟装卸片机-CN202020781063.6有效
发明人：宁佐强;何鹏;莫计亨 -专利权人：无锡尚品高自动化设备有限公司
申请日： 2020-05-12 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了在线式石英舟装卸片机，包括机架、左人工放置位、右人工放置位、工作位、花篮工作平台、花篮插片机构、花篮硅片校正机构、插片机构、石英舟传送机构、石英舟插片机构、石英舟硅片校正机构、石英舟搬运机构和石英舟缓存机构，所述花篮工作平台包括手拉滑块式机构，所述手拉滑块式机构上设置有横移模组和限位机构；所述花篮插片机构包括升降模组，所述升降模组上设置有导轨滑块机构，所述导轨滑块机构上设置有多道插机构a。本实用新型中，该在线式石英舟装卸片机能大大提高硅片进行装入、卸出石英舟的速度与效率，且自动切换石英舟的进入和输出主设备，从而节省人力，提高准确率，显著降低碎片率，提高经济效益。
在线石英装卸

[实用新型]易插型石墨舟-CN201220306929.3有效
发明人：沈文伟 -专利权人：沈文伟
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种易插型石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟片上设有切口。在舟片的两端间隔设置楔形切口，为插、取硅片提供了方便，避免了破损，从而大大提高了硅片镀膜生产效率。
易插型石墨

[发明专利]一种石英舟插片装置-CN201410334692.3在审
发明人：刘瑞强 -专利权人：北京中科信电子装备有限公司
申请日： 2014-07-15 - 公布日： 2016-01-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明是一种石英舟插片装置，该装置包括：支架(1)、电池片推送机构(2)、电池片导向机构(3)、电池片防撞碎机构(4)、石英舟固定架(5)、石英舟升降机构(6)、石英舟槽位检测机构(7)、石英舟到位检测机构(8)、电池片定位机构(9)。说明书对一种石英舟插片装置的工作原理及过程作出了详细说明，并给出了具体实施例。
一种石英舟插片装置

[发明专利]一种石英舟插片方法和取片方法-CN202210069389.X在审
发明人：陈庆敏;李丙科;张海洋 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种石英舟插片方法和取片方法，所述石英舟插片方法包括以下步骤：提供一种倾斜式石英舟，所述倾斜式石英舟包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆，横杆采用与水平方向倾斜设置，上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽；利用抓手夹持左右定位柱，将所述倾斜式石英舟以垂直于侧板方向为轴自身旋转90°，放置到护板上，利用垫位件对所述倾斜式石英舟进行调整，将倾斜式石英舟的横杆摆正，机械手从竖直方向上向所述倾斜式石英舟上插片；插片完成后，在所述倾斜式石英舟的上方也放置护板，然后反向旋转90°，撤下护板。本发明巧妙利用倾斜式石英舟和垫位件的配合，从竖直方向直接插片和取片，效率高且安全可靠。
一种石英舟插片方法

[发明专利]一种消除太阳能电池绕扩、绕度的装置-CN202211197604.0在审
发明人：夏新中;孟庆超;王红芳;潘明翠;翟金叶;郎芳 -专利权人：英利能源发展有限公司;英利能源发展（天津）有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的装置，包括载片舟及沉积炉，载片舟包括舟体，舟体上设置有多组插片槽，插片槽的宽度大于硅片的厚度；沉积炉包括炉管主体、旋转组件以及驱动件，旋转组件包括转轴和用于支撑固定舟体的底托本发明提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的装置，硅片插入插片槽中，硅片背面贴紧插片槽远离舟体中心一侧的舟壁上，载片舟设置在底托上，转轴转动，利用离心力将硅片紧贴在舟壁上，避免绕扩或绕镀的发生，提升了生产效率
一种消除太阳能电池装置

[发明专利]石英舟装卸片装置、处理系统及控制方法-CN202110913860.4在审
发明人：王永亮;岳胜斌;高慧杰;陈刚 -专利权人：天津爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司
申请日： 2021-08-10 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明适用于太阳能电池片生产和加工领域，提供一种石英舟装卸片装置、处理系统及控制方法，该石英舟装卸片装置包括，机架、机架上沿纵向设有第一舟托，第一舟托上设有多个用于存储电池片的石英舟，机架上设有用于对装卸片位置处的石英舟进行错位插片和卸片的第一装卸装置通过第一碎片检测装置对位于装卸片位置的石英舟进行实时检测和监控，无需人工检测和监控，降低了人工成本，提高了装卸片的效率；另外，避免了因舟杆表面存在碎片，导致插片机不能将电池片正常插到舟齿内或出现倾斜的问题；同时避免了插片时会和之前倾斜的电池片发生碰撞，从而造成电池片损坏或碎片的问题。
石英装卸装置处理系统控制方法

[实用新型]一种全自动管式PECVD上下料机-CN201720255482.4有效
发明人：梁明刚 -专利权人：东莞市启天自动化设备股份有限公司
申请日： 2017-03-16 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全自动管式PECVD上下料机，包括自动换篮装置、硅片输送装置、取/插片定位装置、缓冲升降机构、自动取/插片机器人、石墨舟载具滑台装置、石墨舟上下搬移装置、石墨舟运送车以及机架，自动换篮装置包括上层输送机构、下层输送机构以及上下升降机械手，缓冲升降机构设置于硅片输送装置的末端，取/插片定位装置位于硅片输送装置的中部，自动取/插片机器人位于缓冲升降机构与石墨舟载具滑台装置之间，石墨舟上下搬移装置位于石墨舟载具滑台装置的上部且与墨舟载具滑台装置运动方向垂直，石墨舟运送车位于石墨舟上下搬移装置的前端，本实用新型可自动将石墨舟与篮具相互替换装片、工作效率高、自动化程度高、降低碎片率。
一种全自动 pecvd 上下

[实用新型]一种新型的石墨舟-CN201621153625.2有效
发明人：连淼彬;连锦坤;闻震利 -专利权人：中硅索纳（厦门）新能源有限公司
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种新型的石墨舟，包括数个第一舟片和数个第二舟片，所述数个第一舟片的两端分别插设于两上石墨块组上，所述数个第二舟片的两端分别插设于两下石墨块组上，所述上、下石墨块组均插设有第一石墨杆，该第一石墨杆的两端均设有将第一石墨杆锁紧的第一石墨螺帽，所述数个第一舟片和数个第二舟片穿设有数根第二石墨杆，该第二石墨杆的两端均设有将第二石墨杆锁紧的第二石墨螺帽，每根第二石墨杆上套设有多个陶瓷圈，每个陶瓷圈位于相邻的第一舟片和第二舟片之间，每个第一舟片和第二舟片均设有多个第一支撑卡部和多组第二支撑卡部，相邻的第一舟片和第二舟片之间的距离为10mm，所述两下模块组的底面均设有两前、后布置的舟脚，该舟脚的高度为100.5mm。
一种新型石墨

[发明专利]一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟-CN201710048030.3有效
发明人：何达能;方结彬;秦崇德;王建迪;陈刚 -专利权人：广东爱康太阳能科技有限公司
申请日： 2017-01-20 - 公布日： 2019-08-27 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池镀膜石墨舟片，包括石墨舟片本体，在所述石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽，每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁。与现有技术相比，本发明在人工插片或机器插片时,电磁铁没通电，弹簧卡槽打开,较大的卡槽空间避免硅片与石墨舟片之间的摩擦；插片完成后，电磁铁通电，在电磁铁吸力的作用下弹簧卡槽收缩将硅片固定在石墨舟片本体内,本发明专利还提供一种带有前述石墨舟片的一种太阳能电池镀膜石墨舟。
一种太阳能电池镀膜石墨

[实用新型]一种太阳能电池镀膜石墨舟片及石墨舟-CN201720092567.5有效
发明人：何达能;方结彬;秦崇德;王建迪;陈刚 -专利权人：广东爱康太阳能科技有限公司
申请日： 2017-01-20 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种太阳能电池镀膜石墨舟片，包括石墨舟片本体，在所述石墨舟片本体内设置有若干个弹簧卡槽，每个弹簧卡槽内相应设有一可将弹簧卡槽吸合从而固定太阳能电池镀膜工艺中硅片的电磁铁。与现有技术相比，本实用新型在人工插片或机器插片时,电磁铁没通电，弹簧卡槽打开,较大的卡槽空间避免硅片与石墨舟片之间的摩擦；插片完成后，电磁铁通电，在电磁铁吸力的作用下弹簧卡槽收缩将硅片固定在石墨舟片本体内本实用新型专利还提供一种带有前述石墨舟片的一种太阳能电池镀膜石墨舟。
一种太阳能电池镀膜石墨

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