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[发明专利]用于形成喷墨打印头以及包括其的喷墨打印机的方法-CN201510815484.X有效
发明人： P·J·奈斯特龙;G·D·雷丁;M·A·赛卢拉 -专利权人：施乐公司
申请日： 2015-11-23 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供一种用于形成用于静电致动喷墨打印头的多个静电致动器膜片的方法。方法可以包括在蚀刻停止层上形成掩盖致动器膜片层，其中蚀刻停止层插入掩盖膜片层和诸如半导体晶片的操作层之间。掩盖致动器膜片层被图案化以形成多个致动器膜片。多个致动器膜片附连到包括用于致动多个致动器膜片的电路的打印头驱动组件。随后，去除操作层和蚀刻停止层，由此留下附连到打印头驱动组件的多个致动器膜片。
用于静电打印头膜片晶片制造粘结

[发明专利]一种仿生感知执行一体化柔性致动器及其制备方法-CN201910176288.0有效
发明人：韩志武;刘林鹏;张俊秋;王大凯;孙涛;王可军;牛士超;侯涛 -专利权人：吉林大学
申请日： 2019-03-08 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种仿生感知执行一体化柔性致动器及其制备方法，所述柔性致动器包括：IPMC致动层、设置在所述IPMC致动层上胶粘剂层以及设置在胶粘剂层上的仿生应变传感元件；所述仿生应变传感元件包括：设置在所述IPMC致动层上的柔性基底层，所述柔性基底层上设置有仿生V型槽阵列，设置在所述柔性基底层上的导电层以及设置在所述导电层上的第一电极。当外界振动波传输到仿生应变传感元件上，且仿生应变传感元件的输出电阻达到预设值时，IPMC致动层自动启动并出现致动弯曲，且进一步带动仿生应变传感元件层发生形变。根据输出的电阻值即可间接获知致动器的致动程度，从而实现感知执行一体化且致动智能可控的目的。
一种仿生感知执行一体化柔性致动器及其制备方法

[发明专利]多刺激响应的致动器的制作方法及多刺激响应的制动器-CN201811635052.0在审
发明人：冯雪;闫宇;司俊杰;邰艳龙;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： F03G7/06 文献下载
摘要：一种多刺激响应的致动器的制作方法及多刺激响应的制动器。该方法包括提供发热层；在所述发热层上形成包括有机/无机杂化钙钛矿材料的致动层；在致动层上形成间隔设置的第一电极及第二电极。依据该制作方法制成的多刺激响应的致动器能够适应于快速响应、变形量大的致动器。
致动器响应刺激制动器发热层致动层制作钙钛矿材料第二电极第一电极间隔设置快速响应无机杂化变形量

[实用新型]多刺激响应的致动器-CN201822269281.7有效
发明人：冯雪;闫宇;司俊杰;邰艳龙;陈颖 -专利权人：浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： F03G7/06 文献下载
摘要：一种多刺激响应的致动器的制作方法及多刺激响应的制动器。该方法包括提供发热层；在所述发热层上形成包括有机/无机杂化钙钛矿材料的致动层；在致动层上形成间隔设置的第一电极及第二电极。依据该制作方法制成的多刺激响应的致动器能够适应于快速响应、变形量大的致动器。
致动器发热层致动层刺激响应钙钛矿材料制动器第二电极第一电极间隔设置快速响应无机杂化变形量制作

[发明专利]流体输送装置的制造方法-CN200710147254.6有效
发明人：陈世昌;郑江河;余荣侯;蔡志宏;邱士哲 -专利权人：研能科技股份有限公司
申请日： 2007-08-30 - 公布日： 2009-03-04 - 主分类号： F04B43/02 文献下载
摘要：本发明为一种流体输送装置的制造方法，其包含下列步骤：形成阀体层；于该阀体层上对应形成阀体盖层，其具有压力腔室；形成可挠薄膜，其具有多个阀片结构；形成致动薄膜；形成致动片，并将致动片贴附定位于致动薄膜上，以形成致动器；将可挠薄膜设置于阀体层及阀体盖层之间，且将阀体层、可挠薄膜与阀体盖层相互组装定位；以及将致动器设置于阀体盖层上，以使致动薄膜封闭阀体盖层的压力腔室，以形成流体输送装置。
流体输送装置制造方法

[发明专利]管芯上致动器禁用-CN201780085704.5有效
发明人： E·马丁;D·E·安德森;J·M·加纳 -专利权人：惠普发展公司;有限责任合伙企业
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： B41J2/135 文献下载
摘要：该管芯包括被布置在流体喷射管芯上的若干致动器传感器，用来感测对应致动器的特性。每个致动器传感器耦合到相应致动器，并且多个耦合的致动器传感器和致动器被分组为流体喷射管芯上的基元。该管芯还包括每一基元一个致动器评估管芯，用来评估该基元内的任何致动器的致动器特性。该管芯还包括若干禁用设备。每个禁用设备1)耦合到所述若干致动器中的相应致动器，并且2)在确定对应致动器出故障时禁用该对应致动器。
管芯上致动器禁用

[发明专利]微型扬声器系统与制造方法-CN202310161498.9在审
发明人：莫皓然;戴贤忠;方麟辉;刘华晋;韩永隆;黄启峰;林宗义 -专利权人：研能科技股份有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H04R9/06 文献下载
摘要：一种微型扬声器系统与制造方法，系统中具有扬声模块，每个扬声模块进一步包含：上晶圆层，顶端具有振膜；致动单元，设于上晶圆层的下方；下晶圆层，设于致动单元的下方；连动块，设于上晶圆层的下方，连接上晶圆层的底端与下晶圆层的顶端，使上晶圆层与下晶圆层之间形成致动空间，以将致动单元容纳于致动空间中；其中，致动单元以旋绕方式设置于连动块周遭并包含压电结构层，使致动单元作动时，能借由驱动振膜振动产生声波。
微型扬声器系统制造方法

[发明专利]固态致动器，尤其是压电陶瓷致动器-CN200580033178.5无效
发明人：卡尔·卢比茨;索斯藤·斯坦科普夫 -专利权人：西门子公司
申请日： 2005-08-02 - 公布日： 2007-10-10 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明涉及一种固态致动器(1)，尤其是一种压电陶瓷致动器，其具有一基片(2)，所述基片上涂覆有至少一个特别为压电陶瓷层的致动器层(3)，所述致动器层(3)布置在接触电极(4，5)之间。为避免所述固态致动器发生蠕变行为，将所述致动器层(3)的电阻率定在1·10⁸Ωm至1·10¹⁰Ωm的数量级范围内和/或设置一用于在所述接触电极(4，5)上施加一驱动电压的致动器驱动构件(6)，选择的最高驱动电压使得所述固态致动器中的最大机械应力小于矫顽电压。
固态致动器尤其是压电陶瓷

[发明专利]集积式CMOS及MEMS传感器制作方法与结构-CN201580047745.6有效
发明人： P·斯迈斯 -专利权人：因文森斯公司
申请日： 2015-07-06 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本方法包含图型化MEMS致动器衬底上的第一顶端金属及CMOS衬底上的第二顶端金属。MEMS致动器衬底与CMOS衬底各于其上包括氧化层。本方法包括蚀刻MEMS致动器衬底及底座衬底上的各氧化层，利用第一接合步骤将MEMS致动器衬底的经图型化的第一顶端金属接合至底座衬底的经图型化的第二顶端金属。最后，本方法包括将致动器层蚀刻成MEMS致动器衬底，并且利用第二接合步骤将MEMS致动器衬底接合至MEMS握把衬底。
集积式 cmos mems 传感器制作方法结构

[发明专利]基于电热材料和介电弹性聚合物的复合柔性致动器及方法-CN202110716379.6有效
发明人：陶凯;陈振生;何荣刚;常洪龙;申强;张瑞荣 -专利权人：西北工业大学
申请日： 2021-06-27 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：本发明基于电热材料/介电弹性聚合物的复合柔性致动器及方法，属于微机电系统技术领域；包括上保护层、下保护层、电热致动结构和介电弹性致动结构，电热致动结构、介电弹性致动结构叠加设置于上保护层和下保护层之间；电热致动结构由热膨胀材料层、定向致热电阻丝层和偏置层依次叠加而成；介电弹性致动结构由上引线电极层、介电弹性聚合物薄膜层和下引线电极层依次叠加而成；需要较大作用力及驱动位移时，对电热致动结构的定向致热电阻丝层加热的同时，给介电弹性致动结构以正向偏置电压，使电热致动结构和介电弹性致动结构沿同一方向偏转；反之，需要较小作用力及驱动位移时，使电热致动结构和介电弹性致动结构沿相反方向作用，能够提高整个系统的可控性。
基于电热材料弹性聚合物复合柔性致动器方法

[发明专利]多级聚焦致动器和光学头-CN201110460271.1有效
发明人：王雪峰;J·E·赫希;任志远;李晓红 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2011-12-23 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： G11B7/1353 文献下载
摘要：本发明涉及多级聚焦致动器和光学头。提供用于使用多级致动器来致动光学头的一个或多个光学部件的技术。多级致动器包括跨层位移部件，跨层位移部件致动光学部件，以便在与全息光盘的数据层的厚度对应的位移范围中改变光束，使得光束照射到目标数据层。多级致动器还包括层内聚焦部件，层内聚焦部件在较小范围中致动光学部件，以便将光束聚焦到目标数据位置上。跨层位移部件和层间聚焦部件各包括一个以上致动器。在一些实施例中，聚焦部件还按照倾斜运动来致动光学部件，以便补偿读取或记录过程期间的光盘的移动或缺陷。
多级聚焦致动器光学

[发明专利]发声单元、声能转换器以及发声单元的制造方法-CN202310253251.X在审
发明人：张俊羿;罗炯成;马丁·乔治·林 -专利权人：知微电子有限公司
申请日： 2023-03-16 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H04R9/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种发声单元、声能转换器以及发声单元的制造方法，其中，发声单元包括振膜与致动层，其中致动层设置在振膜上。振膜被致动层致动，以产生声音。多个引线孔形成在振膜上。
发声单元转换器以及制造方法

[发明专利]低频振动致动器装置-CN202011091125.1在审
发明人：朴康浩;安成德;林钟泰;朴赞祐;吴知映 -专利权人：韩国电子通信研究院
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：提供了一种低频振动致动器装置。低频振动致动器装置包括：基板，其包括一对连接电极；致动器，其设置在所述一对连接电极上，以产生振动；支撑件，其设置在致动器上；振动膜，其设置在支撑件上，以根据致动器振动；以及振动块，其设置在振动膜上，以根据振动膜振动致动器包括多个层压绝缘层和内部电极，所述内部电极交替层压在彼此相邻的绝缘层之间，并且与振动膜接触的支撑件的顶表面的面积等于或小于与致动器接触的支撑件的底表面的面积。
低频振动致动器装置

[发明专利]将挠曲件粘结到微致动器的悬浮组件-CN201110183031.1有效
发明人： W·C·舒姆;Y·刘;J·E·斯库拉 -专利权人：西部数据技术公司
申请日： 2011-06-27 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： G11B5/48 文献下载
摘要：本发明公开一种用于磁盘驱动器的悬浮组件，其包括：具有顶面和底面的安装板；形成在安装板内的微致动器安装结构；安装在微致动器安装结构中的微致动器，其中微致动器具有顶面和底面；以及附连到安装板的底面和微致动器的挠曲件挠曲件包括焊盘层和贯穿孔，其中贯穿孔延伸穿过焊盘层。焊盘层上的环氧树脂大范围地粘结到微致动器并且延伸穿过贯穿孔。
挠曲粘结到微致动器悬浮组件

[发明专利]具有包括至少一个电容传感器的电致动装置的卫生配件-CN200680022088.0无效
发明人： H·孔克尔 -专利权人：汉沙金属工厂股份公司
申请日： 2006-05-24 - 公布日： 2008-06-18 - 主分类号： H03K17/96 文献下载
摘要：本发明说明了一种具有电致动装置的卫生配件，该致动装置具有至少一个带有至少一个致动区域(3)的电容传感器(1)。致动区域(3)包括由绝缘材料制成的基底层(7)和至少部分导电的传感器层(9)，所述传感器层在功能上与电控单元相连接。传感器层(9)布置在基底层(7)的背向致动区域(3)的致动侧的一侧上，并通过导电的传导层(23)与控制单元相连接。
具有包括至少一个电容传感器电致动装置卫生配件

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