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[实用新型]一种板式PECVD的特气管路-CN201420598574.9有效
发明人：王志勇;田娜;张大雨;王春燕;杨雄磊 -专利权人：巨力新能源股份有限公司
申请日： 2014-10-16 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种板式PECVD的特气管路，其包含三组气路，每组气路上设置两个质量流量控制器MFC，前面两组气路上每组设置两组特气孔，后面一组气路上设置四组特气孔，每组特气孔包含两个硅烷特气孔和一个氨气特气孔该特气管路供给板式PECVD设备中每小组的气体流量更加均匀，也增加了设备工艺参数的调整范围，能够实现三层及更多层减反射膜的镀膜工艺，提高了电池的转化效率，且膜的颜色均匀性好，成品良率高，显著降低了电池片的生产成本
一种板式 pecvd 管路

[发明专利]一种沉积减反射膜的方法-CN201110439724.2无效
发明人：孙小娟;王志国;樊琦芳;王涛;李龙 -专利权人：保定天威英利新能源有限公司
申请日： 2011-12-23 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种沉积减反射膜的方法，该方法包括：沿硅片传输方向，依次将1个或多个特气槽设置为一组，并将所有特气槽分成N组，其中N不小于2；预先设置每组特气槽中参与反应的硅烷气体和氨气气体的比例；为每组特气槽至少分配一组流量控制计，按照预设的硅烷气体和氨气气体的比例设置每组流量控制计，其中，每组流量控制计包括一个硅烷流量控制计和一个氨气流量控制计；依照流量控制计上的设置，分别通过特气槽上的硅烷气孔和氨气气孔向特气槽中充入预设比例的硅烷和氨气；在硅片表面进行化学气相沉积，至少沉积两层减反射膜。
一种沉积减反射膜方法

[实用新型]一种适用于PECVD设备制备氧化层工艺的气路传输系统-CN202120111015.0有效
发明人：王玉明;周玉龙;孙烨;张庶;李敦信;张欣;闫宝杰;李轶军;杨宝海 -专利权人：营口金辰机械股份有限公司
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：一种适用于PECVD设备制备氧化层工艺的气路传输系统属于管式PECVD设备制备氧化层工艺设备技术领域。具体地说，本实用新型提供一种能在沉积基体上化学吸附并反应形成沉积膜，从而能制备出较薄且均匀性、一致性好的氧化层膜的适用于PECVD设备制备氧化层工艺的气路传输系统。本实用新型的特征在于：特气气路包括源管道、第一管道、第二管道、氮气管道和氧气管道。所述气源气路包括氮气气源、氧气气源和氩气气源。所述氮气气源通过特气气路的氮气管道与反应腔连接；所述氧气气源通过特气气路的氧气管道与反应腔连接；所述氩气气源通过特气气路的源管道与反应腔连接，反应腔末端为真空泵。
一种适用于 pecvd 设备制备氧化工艺传输系统

[发明专利]一种特厚膜静电涂料-CN202110229990.6在审
发明人：赵万民;马东荣;胡忍妮;赵翔;刘祥庆 -专利权人：西安万祥新材料有限公司
申请日： 2021-03-02 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： C09D175/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种特厚膜静电涂料，该特厚膜静电涂料主要由：甲组份、乙组份、成膜物、颜料、助剂以及稀释剂混合而成，所述甲组份与乙组份的重量比为2‑5：10；本发明的特厚膜静电涂料提高导电涂料的固体含量由50％提高到70％，粘度涂‑4杯由15～25s提高到40～70s，增强正负电荷彼此吸引力，提高涂膜厚度使涂膜厚度提高到100～140μm，使喷涂4～5遍才能达到的厚度现在采用一次喷涂就达到了规定的厚度，开辟了我国用混气喷涂机器人一次喷涂120μm厚度涂膜的先河。
一种特厚膜静电涂料

[发明专利]一种新型平板式PECVD设备及其气路接孔结构-CN201210537145.6有效
发明人：范志东;田世雄;马继奎;汤欢 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2012-12-12 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型平板式PECVD气路接孔结构，特气气孔的输出端连通有新型特气孔接头，新型特气孔接头具有顶端封闭的管体，在管体的侧壁上开设有多个侧孔，每个侧孔的输出端均连通有侧管，每个侧管的输出方向与特气气孔的输出方向相同本发明提供的新型平板式PECVD气路接孔结构，通过在特气气孔的输出端连通具有多个侧孔的新型特气孔接头，避免出现某一位置特气孔堵塞的现象从而保证设备运行的长时间的稳定性，从而延长设备维护周期，增加设备的产量，另外减少因为特气孔的堵塞对沉积的氮化硅膜层厚度的不同导致片间色差等不合格片的产生，提高产品的合格率。本发明还公开了一种应用了上述气路接孔结构的新型平板式PECVD设备。
一种新型平板 pecvd 设备及其气路接孔结构

[实用新型]离子注入机特气导管安装结构-CN201220622115.0有效
发明人：栾广庆 -专利权人：无锡华润上华科技有限公司
申请日： 2012-11-22 - 公布日： 2013-06-12 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子注入机特气导管安装结构，离子注入机包括坩埚、起弧室以及连接坩埚和起弧室的特气导管，起弧室包括两对应设置的侧板，特气导管与侧板相连接，其中，特气导管包括坩埚特气导管、侧板特气导管、以及连接坩埚特气导管和侧板特气导管的坩埚-侧板特气导管，坩埚-侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧，侧板特气导管弯曲设有若干呈锐角的圆弧。本实用新型中当电离气体内的残余物流进特气导管内时，残余物会停留在特气导管的圆弧处，而不会掉落到特气导管的底部，有效地避免了特气导管与坩埚接头处的堵塞问题。
离子注入机特气导管安装结构

[实用新型]特气管路装置-CN201220624906.7有效
发明人：李智洋 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2012-11-22 - 公布日： 2013-05-29 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种特气管路装置，包括：特气管、用于固定支撑特气管的支架和覆盖在特气管表面的特气槽，特气槽设置有顶端弯折部，特气管路装置还包括卡接装置和固定装置，卡接装置一端固定于支架，顶端弯折部设置有与卡接装置配合的通孔应用本实用新型的技术方案，设置卡接装置和固定装置限制特气槽上的顶端弯折部，使特气槽的顶端弯折部直接受力紧贴于特气管上设置特气孔的表面，限制特气槽的活动或变形，防止特气槽远离特气管，延长特气槽的使用时间，保证特气均匀。
管路装置

[发明专利]电子特气的提纯方法-CN202210963192.0在审
发明人：李东升 -专利权人：上海正帆科技股份有限公司
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B01D53/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种电子特气的提纯方法，属于半导体制造气体提纯技术领域。电子特气为烷类气体，提纯方法包括吸附流程：采用碱处理改性和/或酸处理改性的多孔碳对电子特气原料气中的电子特气进行吸附，使得电子特气原料气中的电子特气和杂质气体分离。该提纯方法采用吸附提纯处理方式，能避免提纯能耗高、物料损失多的问题；其中使用到的改性多孔碳对电子特气有较好的吸附活性、吸附选择性和吸附容量，能有效地吸附电子特气实现电子特气和杂质气体的分离，从而能有效去除电子特气原料气中的多种杂质气体
电子提纯方法

[发明专利]一种定量输送的液态特气输送柜-CN202211352648.6有效
发明人：朱学明;陈伟才;单欢欢;李超 -专利权人：安徽壹月科技有限公司
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： F17C3/10 文献下载
摘要：本申请公开了应用于特气输送领域的一种定量输送的液态特气输送柜，该方案通过向特气瓶内部加注高压氮气使得液态特气进入输送管，利用液态特气可以提供更持久的生产力，提高了生产效率，当管道内部压力减小或者外界温度过高导致液态特气提前汽化，致使电磁流量计计量出现偏差，利用气液分离器使得液态特气与气态特气分离，分别进入不同管道内部分别计量，提高了对液态特气的流量的精准把控，同时可以利用控制柜对汽化的程度进行实时监控，配合隔膜泵将气态特气重新压缩成液态并收集于液化瓶内部，当生产需求增大时，可以将液化瓶内部的液态特气补充输送到生产车间，利用导液管内部的微型流量计配合电磁流量计更准确的定量输送液态特气。
一种定量输送液态

[实用新型]一种特气源液蒸汽补给系统-CN202221948426.6有效
发明人：郭路斌;林佳继;刘群 -专利权人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
申请日： 2022-07-27 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01L19/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种特气源液蒸汽补给系统，该特气源液蒸汽补给系统包括保护气源、加热箱体和检测装置，加热箱体用于容纳且加热特气源液瓶，特气源液瓶的进口与保护气源相连，出口与特气使用设备相连，检测装置包括压力检测器和气体浓度检测器，压力检测器和气体浓度检测器设在特气源液瓶的出口与特气使用设备之间。该特气源液蒸汽补给系统的压力检测器能够检测特气源液蒸汽的供给压力，气体浓度检测器能够检测特气源液蒸汽的浓度，由此可以根据压力检测器和气体浓度检测器的测试结果，调整加热箱体的温度以及保护气源的输出压力，确保特气源液蒸汽的供给压力和挥发量处于较为稳定的状态
一种特气源液蒸汽补给系统

[实用新型]具有警报功能的特气供应装置-CN202320639854.9有效
发明人：王春林;郭开春 -专利权人：阁壹工程技术（上海）有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F17C13/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了具有警报功能的特气供应装置，属于特气供应装置技术领域，本实用新型包括特气供应机构，所述特气供应机构内部的特气瓶顶部安装有警报机构，所述特气供应机构的顶部安装有清理机构，所述警报机构包括成对的外壳，所述特气供应机构特气瓶的顶部固定连接有两个外壳，所述特气供应机构的两侧均固定连接有警报器，两个外壳通过螺栓固定，并且外壳通过螺栓与特气瓶固定，使得警报机构便于拆卸安装，并且圆板和圆环便于进行更换维修，便于对警报机构各个零件进行维修更换，避免整体更换节约了成本，在特气瓶漏气时，警报器通过声音和光亮作出警报，便于工作人员及时处理，使用更加安全方便。
具有警报功能供应装置

[实用新型]一种特气气路结构-CN202222268997.1有效
发明人：林佳继;朱鹤囡;戴佳 -专利权人：拉普拉斯（无锡）半导体科技有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种特气气路结构,包括特气喷淋板、硅片载板和真空泵，所述硅片载板设置在特气喷淋板和真空泵之间，所述特气喷淋板上连接有特气进气管，所述特气喷淋板包括至少一层弥散板，通过弥散板，可以促进气体在特气气路流动中的扩散，提升特气均匀性。本实用新型在特气喷淋板中采用多层弥散板的结构，通过弥散板的多层弥散作用，使处于不同位置的硅片接收到的特气的均匀性得到保障，不会因硅片位置的不同产生镀膜工艺效果的差异。
一种特气气路结构

[实用新型]一种特气加热装置-CN202021997886.9有效
发明人：张猛 -专利权人：上海吉威电子系统工程有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： F17C9/02 文献下载
摘要：本实用新型属于特种气体供应技术领域，尤其为一种特气加热装置，包括装置外壳体，所述装置外壳体内安装有装置加热管，且在所述装置外壳体的顶面分别安装有与所述装置加热管两端连通的进气口和排气口；所述装置加热管为螺旋状结构；还包括特气钢瓶，在所述特气钢瓶上套接有加热电夹克，所述特气钢瓶通过管道与所述进气口连通；本实用新型的特气加热装置，特气钢瓶中的特气经过加热电夹克加热之后从进入装置加热管中，然后从排气口出去供应到机台端，由于装置外壳体内的装置加热管为螺旋管状结构，既能够缓存一定量的特气，又能保证稳定的特气状态，以实现机台对于特气的不间断需求，有效的解决了特气供应不顺畅的问题。
一种加热装置

[发明专利]一种特气架、监控特气架的方法及装置-CN201210262771.9有效
发明人：李露;贾文君 -专利权人：北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
申请日： 2012-07-26 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： F17C5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种特气架、监控特气架的方法和装置，涉及特气架技术领域，解决了现有技术中当特气架中的设备部件出现异常时，不能及时地给出提示信息，所述方法包括：接收LPG发送的低压报警信号，所述低压报警信号用于指示所述LPG出现异常，所述低压报警信号中包含所述LPG所属特气架的标识信息；根据所述低压报警信号中的标识信息，确定所述LPG所属的特气架；提示所述特气架出现异常。本发明实施例适用于对特气架的监控过程中。
一种特气架监控方法装置

[实用新型]气胀救生衣用反光膜-CN200820217634.2有效
发明人：蒋敏 -专利权人：蒋敏
申请日： 2008-11-24 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： G02B5/128 文献下载
摘要：一种气胀救生衣用反光膜，包括表面树脂层，单层紧密排列的玻璃微珠，粘合剂层和支撑层，玻璃微珠下半球具有镀铝反射层，所述的镀铝反射层下还设有保护层，保护层埋于粘合剂层中，所述的支撑层下部设有压敏粘合剂层，所述的压敏粘合剂层下设有填充型压敏粘合剂层和特粘型压敏粘合剂层本实用新型的特粘型压敏粘合剂层采用橡胶树脂制成，有三层压敏粘合剂的气胀救生衣用反光膜可直接粘贴在气胀救生衣(表面为化纤面料；内面防水、防渗透层)上，特粘型压敏粘合剂层可渗透到化纤面料里，填充型压敏粘合剂层和压敏粘合剂层可加强粘接力使化纤面料与反光膜牢牢结合在一起并耐海水
救生衣反光

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