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- [发明专利]一种高温云纹光栅的制作方法-CN200910135728.4无效
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朱建国;谢惠民;唐敏锦
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清华大学
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2009-04-27
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2009-09-23
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G02B5/18
- 一种高温云纹光栅的制作方法,属于光学器件制造、光测力学领域。将试件基底材料抛光、清洗、烘干后,在试件基体材料表面沉积一层在高温下抗氧化的金属膜;根据模板上云纹光栅尺寸的特点和光刻胶的型号调整温度、压力、时间等参数,将模板的表面图案转印到基底材料的光刻胶上;经过干法或湿法刻蚀,在基底材料上再镀一层在高温下抗氧化的金属膜,去除光刻胶后,可制成高温云纹光栅。所述的高温为为800~1000℃范围;所述的试件基底材料采用耐高温的金属合金或非金属材料。光栅制作的原理清晰,且操作方便、效率高、成本底,可批量生产。
- 一种高温光栅制作方法
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