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[发明专利]一种航空零部件检测记录工作台-CN201610279561.9在审
发明人：范星龙;张玉香;张龙光;杨启斌;冯国锋 -专利权人：广州飞机维修工程有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2016-08-10 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：一种航空零部件缺陷检测记录工作台，一种航空零部件检测记录工作台，工作台为一四脚平台(1)，工作台台面的一端，设有以玻璃做的光照检查面板(7)，光照检查面板的一侧设有光照检查面板灯(8)，工作台台面的另一端下设抽屉；所述工作台台面的光照检查面板端部，设有照明装置；所述照明装置包括可调支架(6)和固定在其上的无影灯(2)；还包括有还配有检查摄像仪和缺陷比对尺(12)。利用照明装置合理设置光源亮度、高度，达到检查平台光照无阴影的环境要求，利用检查摄像仪对航空零部件缺陷进行高灵敏度发现，通过拍摄缺陷与缺陷比对尺,测出航空零部件表面实际缺陷尺寸，经检查摄像仪的数据记录单元对缺陷数据进行存档
一种航空零部件检测记录工作台

[实用新型]一种基板检测装置-CN201320362852.6有效
发明人：张学刚;周鹏;章旭;齐勤瑞 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2013-06-24 - 公布日： 2014-02-19 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型公开一种基板检测装置，包括：检查部、测量部和判定部；检查部与测量部并列设置，其中检查部用于对基板进行检查并检出缺陷，包括用于获取基板灰度值的图像采集模块和用于承载图像采集模块的第一支架；测量部用于对基板的缺陷进行测量，包括用于获取基板特性值的图像测量模块和用于承载图像测量模块的第二支架；判定部分别与检查部和测量部连接，测量部对检查部确定的缺陷位置进行特性值测量，根据缺陷位置特性值判定缺陷的等级。本实用新型改变现有检查和测量独立设计的结构，将检查设备和测量设备集成一体，通过缺陷位置的灰度值和基板特性值的对应关系完成对缺陷等级的自动判定，不仅节省判定的时间，还可以减小人为判定产生的误差。
一种检测装置

[实用新型]一种航空零部件检测记录工作台-CN201620380941.7有效
发明人：范星龙;张玉香;张龙光;杨启斌;冯国锋 -专利权人：广州飞机维修工程有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2016-09-28 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：一种航空零部件缺陷检测记录工作台，一种航空零部件检测记录工作台，工作台为一四脚平台(1)，工作台台面的一端，设有以玻璃做的光照检查面板(7)，光照检查面板的一侧设有光照检查面板灯(8)，工作台台面的另一端下设抽屉；所述工作台台面的光照检查面板端部，设有照明装置；所述照明装置包括可调支架(6)和固定在其上的无影灯(2)；还包括有还配有检查摄像仪和缺陷比对尺(12)。利用照明装置合理设置光源亮度、高度，达到检查平台光照无阴影的环境要求，利用检查摄像仪对航空零部件缺陷进行高灵敏度发现，通过拍摄缺陷与缺陷比对尺,测出航空零部件表面实际缺陷尺寸，经检查摄像仪的数据记录单元对缺陷数据进行存档
一种航空零部件检测记录工作台

[发明专利]齿轮部件的表面缺陷检查装置-CN201611127747.9在审
发明人：李晋圭 -专利权人：韩虎产业株式会社
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： G01N27/90 文献下载
摘要：本发明涉及齿轮部件的表面缺陷检查装置，所述齿轮部件的表面缺陷检查装置检查作为测量对象的齿轮部件的表面缺陷，所述齿轮部件的表面缺陷检查装置包括具备第一探针及第二探针的检测部，所述第一探针及第二探针在所述齿轮部件旋转时，相对于齿轮部件的轮齿外径，在沿上下方向进行往复移动的情形下，检测所述齿轮部件的横向表面缺陷。
齿轮部件表面缺陷检查装置

[发明专利]一种铬版的检查方法-CN201010115678.6无效
发明人：赵冬生 -专利权人：深圳清溢光电股份有限公司
申请日： 2010-02-26 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： G03F1/00 文献下载
摘要：本发明适用于光掩模版制作前对铬版的检测，提供了一种铬版的检查方法，本检查方法通过目视查找所述铬版中的玻璃基板的缺陷，确定所述缺陷的大概位置，所述玻璃基板朝向检查者，接着确认所述缺陷的具体位置，最后于客户图形中表示所述缺陷，确认所述缺陷对客户图形的影响，不需采用专用检测设备对整个玻璃基板进行面扫描，检查成本低且有效。
一种检查方法

[发明专利]缺陷检测方法与缺陷检测装置-CN200610121844.7无效
发明人：小岛广一;金泽英祐 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2006-08-25 - 公布日： 2007-02-28 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：缺陷检测方法，包括：拍摄具有同一重复图案的被检查物，取得图像的图像取得步骤；和对所取得的图像进行缺陷强调处理的缺陷强调处理步骤。缺陷强调处理步骤(ST3)具有：在摄像图像中依次选择检查对象点的检查对象点选择步骤(ST31)；和分别求得所选择的检查对象点的亮度值，与设置在其周围的多个比较对象点的亮度值之间的差值，选择各个亮度差数据中值最小者，作为上述检查对象点的缺陷强调值的缺陷强调值计算步骤(ST32)。
缺陷检测方法装置

[发明专利]缺陷检查系统以及膜制造装置-CN201480042672.7有效
发明人：末松绫子;井村圭太 -专利权人：住友化学株式会社
申请日： 2014-07-31 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G01N21/892 文献下载
摘要：缺陷检查系统具备：输送带状的膜的膜输送部；进行通过上述膜输送部输送的上述膜的缺陷检查的缺陷检查部；以及在上述膜输送部构成的膜输送路径中相比上述缺陷检查部设置在下游侧、并且能够将与通过上述缺陷检查部检测到的缺陷有关的缺陷信息记录于上述膜的记录部上述膜输送部包括分别在通过上述记录部在上述膜的第1面记录上述缺陷信息的第1模式以及在第2面记录上述缺陷信息的第2模式下被缠绕上述膜的第1输送辊部、以及在上述第1模式以及上述第2模式中的某一个模式下被缠绕上述膜的第
缺陷检查系统以及制造装置

[发明专利]基板制造方法、基板制造系统及显示器制造方法-CN200810089668.2有效
发明人：舆石亮;川部英雄;向井畅彦;筒井亚希子 -专利权人：索尼株式会社
申请日： 2008-04-11 - 公布日： 2008-10-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了由多个配线图案在基体上形成的基板的制造方法、基板制造系统以及显示的制造方法，其中，该基板制造方法包括：第一检查步骤，通过分别对于多个配线图案执行电气检查来识别具有电气短路或断路的不良配线图案；第二检查步骤，通过光学检查检验基体上的缺陷的相对位置和缺陷的类型和尺寸中的至少一个；匹配部，将第一检查步骤的结果与第二检查步骤的结果进行匹配，并识别具有电气短路或断路的致命缺陷；以及第三检查步骤，通过光学检查检验致命缺陷在像素中的相对位置和有效范围通过本发明，可以显著提高配线图案的致命缺陷的位置识别的成功率，以及可以减少配线图案的缺陷修复的生产时间。
制造方法系统显示器

[发明专利]光掩模坯的缺陷检查方法、分选方法和制备方法-CN201610791121.1有效
发明人：寺泽恒男;横畑敦;岩井大祐;木下隆裕;福田洋 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： G03F1/84 文献下载
摘要：本发明公开了检查存在于包括光学膜和薄膜的光掩模坯的表面部的缺陷的方法。该方法包括：选择和指定对应于光掩模坯的光学膜和薄膜的模式的用于判定缺陷的凹凸形状的标准和检查处理工序；基于指定的检查处理工序，施加检查光至包括缺陷的区域，同时保持缺陷和检查用光学系统的物镜之间的距离，通过该检查用光学系统将来自被检查光照射的区域的反射光作为该区域的放大图像聚集；以及基于指定的用于判定的标准，从该放大图像的光强度分布判定缺陷的凹凸形状。
光掩模坯缺陷检查方法分选制备

[发明专利]晶片棱角缺陷检查装置和检查方法-CN202080096090.2在审
发明人：闵庚勋 -专利权人：科美科技株式会社
申请日： 2020-06-11 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够准确地检查晶片的棱角缺陷的晶片棱角缺陷检查装置和检查方法，具体地，包括：板材形状的晶片，固定晶片的夹持部以及检测晶片棱角的缺陷的边缘检测部。
晶片棱角缺陷检查装置方法

[发明专利]检查图形的方法-CN200710003759.5无效
发明人：德罗尔·艾格尔 -专利权人：奥博泰克有限公司
申请日： 2002-12-31 - 公布日： 2007-07-04 - 主分类号： G01N21/956 文献下载
摘要：一种用于检查电路图形的方法，包括对顺序获取的电路图形的图像执行初始检查以确定在电路图形中的潜在缺陷；一旦在初始检查过程中识别到电路图形中的潜在缺陷，就中断初始检查并对包括潜在缺陷的顺序获取图像部分执行二次评估；在完成第二检查后，恢复初始检查。
检查图形方法

[发明专利]缺陷检查系统、膜制造装置及方法、印刷装置及方法-CN201810166617.9在审
发明人：桥口大辅 -专利权人：住友化学株式会社
申请日： 2018-02-28 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： G01N21/89 文献下载
摘要：本发明提供能够减少由搬运过程中的膜中产生的颤动带来的影响从而适当地向膜记录缺陷信息的缺陷检查系统、膜制造装置、膜制造方法、印刷装置以及印刷方法。缺陷检查系统具备：搬运线，其搬运长条带状的膜；缺陷检查装置，其进行由搬运线搬运的膜的缺陷检查；以及记录装置(13)，其将基于缺陷检查的结果的缺陷信息记录于由搬运线搬运的膜(F105)，记录装置(13)具有通过向膜(F105)的沿着端缘部的记录区域排出墨水(i)从而印刷缺陷信息的印刷头(13a)，印刷头(13a)与同膜(F105)接触的引导辊(153c)对置地配置。
搬运缺陷检查系统膜制造装置记录装置缺陷检查缺陷信息印刷装置印刷头缺陷检查装置缺陷信息记录印刷长条带状记录区域端缘部引导辊对置排出颤动墨水记录配置制造

[发明专利]缺陷检查装置、缺陷检查方法及计算机可读存储介质-CN201811055662.3有效
发明人：池田泰之;栗田真嗣 -专利权人：欧姆龙株式会社
申请日： 2018-09-11 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供一种缺陷检查装置、缺陷检查方法及计算机可读存储介质，能够根据检查对象或背景图像来灵活地利用经事先学习的识别器的技术。所述缺陷检查装置具备：存储部，存储已学习模型和对所述已学习模型设定的内部参数；获取部，获取在规定的条件下所拍摄的检查对象的图像；前处理部，根据由获取部所获取的包含缺陷的检查对象的图像即前处理图像中的特征量、和与内部参数对应的特征量，生成规定的前处理过滤器，将所生成的前处理过滤器适用于由获取部所获取的检查对象的图像即检查图像而对所述检查图像进行转换，由此生成已前处理图像；以及检查部，针对已前处理图像，使用所存储的已学习模型来对检查对象有无缺陷进行检查
缺陷检查装置方法计算机可读存储介质

[发明专利]缺陷检查装置、缺陷检查方法和孔图形的检查方法-CN200310123005.5有效
发明人：杉原麻理;大森健雄;深泽和彦 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2003-12-23 - 公布日： 2004-09-29 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明提供一种能以高S/N比进行最上层图形的检查的缺陷检查装置。图像处理装置6对由摄像元件5取入的图像进行图像处理，检查缺陷。偏光板7被进行旋转调整，使得照明光L1用S偏振光对晶片2进行照明。S偏振光的表面反射率高，从而到达基底的光量变少。因此，利用S偏振光进行照明，由此可以使从表层反射的光量比被基底反射的光量多，从而能在S/N比良好的状态下检查表层的缺陷。
缺陷检查装置方法图形

[发明专利]工件检查装置和方法-CN202111669234.1在审
发明人：李元景;孙尚民;李荐民;宗春光;周合军;刘必成;倪秀琳;宋全伟;高克金;史俊平;喻卫丰 -专利权人：同方威视技术股份有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G01V5/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件检查装置和方法，其中工件检查装置包括检查本体、检查单元、比对单元、判断单元和策略调整单元，检查本体用于对待检查工件进行扫描检查，检查单元根据预设的检查策略利用检查本体对待检查工件进行扫描检查，比对单元中预先存储有无缺陷工件的质量参数并被配置为将检查单元扫描检查的结果与预先存储的质量参数进行比对，判断单元根据比对单元的比对结果判断是否能够确定待检查工件所存在的缺陷，策略调整单元在判断单元的判断结果为否时调整检查策略，以便检查单元根据调整后的检查策略对待检查工件再次进行扫描检查，直至找到待检查工件所存在的缺陷。
工件检查装置方法

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