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- [发明专利]一种超高纯石英砂的提纯方法-CN202210199336.X有效
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何良雨;刘彤
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何良雨
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2022-03-01
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2023-06-20
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C01B33/12
- 为克服现有石英砂提纯工艺存在杂质残留，影响石英砂纯度的问题，本发明提供了一种超高纯石英砂的提纯方法，包括以下操作：获取石英砂；对石英砂进行动态冲击压缩，使石英砂处于无序亚稳态；使用化学溶液处理石英砂以去除杂质，清洗后得到高纯度石英砂。本发明提供的超高纯石英砂的提纯方法通过对石英砂进行动态冲击压缩，使石英砂处于结构松散的无序亚稳态，从而使得化学溶液可以充分渗入，去除深层杂质，提纯效果更好。该方法可以结合氯化焙烧等其他石英晶格杂质提纯步骤，实现半导体制造业所需的4N8、5N级别的超高纯石英砂制取。
- 一种高纯石英砂提纯方法
- [发明专利]高纯锑粒的制备方法及生产设备-CN201010131266.1有效
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杨政
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峨嵋半导体材料研究所
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2010-03-24
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2010-09-29
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B22F9/08
- 本发明公开了一种高纯锑粒的制备方法,步骤包括加热、加料、滴料、锑粒处理；本发明还公开了一种高纯锑粒的生产设备,包括与电控设备电连接的立式电阻炉、中间穿套在立式电阻炉内部且顶端密封的石英外套管、嵌套在石英外套管内部的底部开有小孔的石英锥形漏斗、位于立式电阻炉下方的石英冷却回收容器；本发明在生产过程中不使用任何化学试剂，对产品无沾污，且设备简单易操作，生产效率高，通过以上方法和设备生产的99.999%和99.9999%锑粒满足国标GB10117-88高纯锑科标准，可部分取代进口产品，本方法及设备不但能生产高纯锑粒，还能生产高纯铅、高纯锡、高纯锌、高纯镉、高纯铟等粒状产品。
- 高纯制备方法生产设备
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