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[发明专利]用于等离子体处理设备的等离子体增强器-CN200680015016.3有效
发明人： O·马斯勒;H·埃伯勒;P·格施文德 -专利权人：奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）
申请日： 2006-04-28 - 公布日： 2008-07-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：用于等离子体处理设备的等离子体增强器，包括用于使辉光放电等离子体增强和/或点火以进行处理，尤其用来对工件(8)进行涂覆的装置(1，4)，具有至少一个由导电材料制成的空心体(2，5)。该空心体如此构造，使得在该空心体上施加电信号时，至少在特定压力范围和电压范围里，满足了在空心体内部放电点火的几何条件。空心体具有至少一个开口，通过该开口，载荷子可以流出到所述装置的周围里，以便在那里能够使等离子体点火和运行，或者增强在那里所存在的等离子体。所述装置包括使空心体与工件电连接的机构，从而空心体基本处在工件电位。
用于等离子体处理设备增强

[发明专利]一种等离子体发生装置和空气净化器-CN202210475844.6在审
发明人：徐帅;刘文正;肖德玲;汪春节;封宗瑜;罗汉兵 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司;北京交通大学
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H05H1/52 文献下载
摘要：本发明涉及了一种等离子体发生装置和空气净化器，其中，等离子体发生装置包括：螺旋电极包括内电极、绝缘层以及碳纤维电极，内电极适于与交流电源相连接，碳纤维电极适于接地；催化剂电极与螺旋电极的间距为L，L≤5mm本发明的等离子体发生装置中的催化剂电极既能够作为直流电极起到扩大等离子体发生装置的净化范围，吸附颗粒物的作用，又能够起到去除辉光放电过程中产生的臭氧的作用，能够扩大等离子体发生装置的净化范围，提高等离子体发生装置的空气净化效果另外，本发明的等离子体发生装置的结构简单，制造容易，使用安全可靠，便于实施推广应用。
一种等离子体发生装置空气净化器

[实用新型]一种等离子体发生装置和空气净化器-CN202221060980.0有效
发明人：徐帅;刘文正;肖德玲;汪春节;封宗瑜;罗汉兵 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司;北京交通大学
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H05H1/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及了一种等离子体发生装置和空气净化器，其中，等离子体发生装置包括：螺旋电极包括内电极、绝缘层以及碳纤维电极，内电极适于与交流电源相连接，碳纤维电极适于接地；催化剂电极与螺旋电极的间距为L，L本实用新型的等离子体发生装置中的催化剂电极既能够作为直流电极起到扩大等离子体发生装置的净化范围，吸附颗粒物的作用，又能够起到去除辉光放电过程中产生的臭氧的作用，能够扩大等离子体发生装置的净化范围，提高等离子体发生装置的空气净化效果另外，本实用新型的等离子体发生装置的结构简单，制造容易，使用安全可靠，便于实施推广应用。
一种等离子体发生装置空气净化器

[发明专利]一种铑金属纳米颗粒的制备方法-CN201910817487.5在审
发明人：董岩;李坚;安欣;袁滨;刘玉芬 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司北京化工研究院
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： B22F9/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种铑金属纳米颗粒的制备方法，其包括将含铑溶液和助剂的混合溶液经等离子体辉光放电处理，使得所述混合溶液中的铑离子还原成铑金属纳米颗粒。本发明采用等离子体辉光放电方法对含铑溶液中的铑离子进行还原，避免了还原试剂的引入，对环境友好。而且，本发明提供的制备方法方法简单，可在常温常压下进行。
一种金属纳米颗粒制备方法

[发明专利]一种从含铑废水中回收铑的方法-CN201910817581.0在审
发明人：董岩;李坚;武陈;安欣;刘玉芬;袁滨 -专利权人：中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司北京化工研究院
申请日： 2019-08-30 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： C22B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种从含铑废水中回收铑的方法，其包括：将含铑废水经冷等离子体辉光放电处理，使得所述含铑废水中的铑离子还原成铑单质。本发明采用冷等离子体辉光放电方法对含铑废水中的铑离子进行还原分离，避免了大量还原试剂的引入，简化了回收过程，降低了回收成本。
一种含铑废水中回收方法

[实用新型]一种磁场增强的等离子体枪-CN201120062558.4无效
发明人：郑顺奇;齐伟光;倪杨 -专利权人：宁波表面工程研究中心
申请日： 2011-03-11 - 公布日： 2012-01-04 - 主分类号： H05H1/26 文献下载
摘要：一种磁场增强的等离子体枪，其包括一个绝缘体容器，所述绝缘体容器具有气体导入口以及与所述气体导入口相对的尖端开口作为气体导出口，绝缘体容器内部配置有电极，所述电极与所述绝缘体容器外部的交流电源相连，当所述电极通电后在尖端开口处产生等离子体，在尖端开口外侧设置有磁石以产生磁场增强等离子体，该设备能够在大气中以极简单的方式实施辉光等离子体放电表面处理，适用于各种材料的各种表面处理，尤其适用于特别局部的，如点状表面处理，同时由于磁场的引入，等离子体放电被增强
一种磁场增强等离子体

[发明专利]一种高密度等离子体增强化学气相沉积设备-CN201610957838.9在审
发明人：滕海燕 -专利权人：合肥优亿科机电科技有限公司
申请日： 2016-10-27 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明提供一种高密度等离子体增强化学气相沉积设备，包括真空室以及置于真空室进气端的高密度等离子体源和置于真空室抽气端的用于放置样品的沉积底座，所述高密度等离子体源包括加热丝、热阴极发射源片以及布置在加热丝和热阴极发射源片外围的屏蔽结构，该高密度等离子体源激发出弧光放电等离子体，对沉积底座上的样品进行固体薄膜的沉积；所述沉积底座包括可旋转的基座、置于基座上的衬底以及置于基座下端的恒温控制模块。本发明所阐述的等离子体密度比市面上现有的辉光放电等离子体提高10~100倍，应用于化学气相沉积固体薄膜时生产效率会提高10~100倍，而且等离子体温度高，膜层的附着力强，膜组织致密，膜的厚度及成分均匀性好
一种高密度等离子体增强化学沉积设备

[发明专利]电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置-CN200510046209.2无效
发明人：马腾才;张禹涛;任春生;齐兵;王达望;尹美强;王坤 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2005-04-06 - 公布日： 2005-12-14 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置。在电源作用下，电极间工作介质中发生放电，在匹配网络和耦合电容或耦合电容与串联电阻、电感的调节下，产生大气压辉光放电等离子体。本发明的效果和益处是，可以用于等离子体物理及化学领域，例如材料处理及制备、有害气体净化及臭氧发生器、消毒、放电光源、飞行器隐身等技术领域。
电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置

[发明专利]直流辉光氧等离子体去除核聚变装置第一壁氢滞留的方法-CN200910116593.7无效
发明人：胡建生;李建刚;王小明 -专利权人：中国科学院等离子体物理研究所
申请日： 2009-04-20 - 公布日： 2009-09-16 - 主分类号： G21B1/25 文献下载
摘要：本发明公开了直流辉光氧等离子体去除核聚变装置第一壁氢滞留的方法，主要是为核聚变装置等离子体物理实验经济有效运行创造优化的壁条件，减少未来装置放射性氚在第一壁滞留导致的安全和环境问题。本发明的特征在于根据装置内碳和氢共同沉积的特点，使用等离子体辅助化学清除方法，在HT-7超导托卡马克和与ITER相似位型的EAST装置上，在第一壁壁温为400-470K的情况下，采用直流辉光等离子体技术，采用与碳和氢都易于发生化学反应的氧气，形成射频氧等离子体，实现第一壁碳氢再沉积层的清除，从而有效地清除滞留在装置第一壁上的氢滞留。
直流辉光等离子体去除聚变装置第一滞留方法

[发明专利]溶液阴极辉光放电直读光谱仪-CN201710948515.8在审
发明人：郑培超;何苗;王金梅 -专利权人：重庆邮电大学
申请日： 2017-10-12 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G01N21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种溶液阴极辉光放电直读光谱仪，包括溶液阴极放电等离子体激发源、光学收集系统、罗兰圆分光系统、光电探测系统，以及数据处理与显示系统；所述光学收集系统将溶液阴极放电等离子体激发源发出的金属元素光谱辐射成像至罗兰圆分光系统的入口狭缝；所述光学收集系统包括沿光路依次设置的双凸透镜、滤光孔、离轴抛物面镜和平凸透镜，所述离轴抛物面镜的焦点位置位于滤光孔的中心；本发明采用溶液阴极辉光放电等离子体作为激发光源，实现了液体中金属离子的浓度的测量
溶液阴极辉光放电直读光谱仪

[实用新型]溶液阴极辉光放电直读光谱仪-CN201721313156.0有效
发明人：郑培超;何苗;王金梅 -专利权人：重庆邮电大学
申请日： 2017-10-12 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： G01N21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种溶液阴极辉光放电直读光谱仪，包括溶液阴极放电等离子体激发源、光学收集系统、罗兰圆分光系统、光电探测系统，以及数据处理与显示系统；所述光学收集系统将溶液阴极放电等离子体激发源发出的金属元素光谱辐射成像至罗兰圆分光系统的入口狭缝；所述光学收集系统包括沿光路依次设置的双凸透镜、滤光孔、离轴抛物面镜和平凸透镜，所述离轴抛物面镜的焦点位置位于滤光孔的中心；本实用新型采用溶液阴极辉光放电等离子体作为激发光源，实现了液体中金属离子的浓度的测量
溶液阴极辉光放电直读光谱仪

[发明专利]一种镜片沉积金刚石薄膜的装置及方法-CN201910997769.8在审
发明人：王晋峰 -专利权人：南京爱思菲瑞克光电科技有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明提供了一种镜片沉积金刚石薄膜的装置及方法，包括反应室、等离子体发生器、电源，所述反应室两侧安装有真空计和三号阀门，所述反应室底部固定安装有排气阀和加热板，所述加热板顶部设置有基片，所述加热板底部与电源通过导线相连，所述电源与等离子体发生器通过导线相连，所述等离子体发生器固定安装在反应室顶部；本发明的有益效果：通过电容式射频辉光放电等离子体化学气相沉积方法，在较低的温度下可达到高沉积速率，解决了传统方法中高温镀膜的问题，等离子体发生器可产生稳定等离子体，提高镀膜的均匀性，采用对基片表面洁净、活化，并且控制样品制备工艺条件，提高了镜片镀膜的附着性能。
等离子体发生器反应室加热板电源镀膜辉光放电等离子体沉积金刚石薄膜化学气相沉积稳定等离子体样品制备工艺反应室顶部顶部设置附着性能基片表面镜片镀膜电容式均匀性排气阀真空计中高温镜片阀门活化射频沉积洁净

[发明专利]一种等离子体发生装置和空气净化器-CN202210475848.4在审
发明人：徐帅;刘文正;肖德玲;汪春节;封宗瑜;罗汉兵 -专利权人：珠海格力电器股份有限公司;北京交通大学
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H05H1/52 文献下载
摘要：本发明涉及了一种等离子体发生装置和空气净化器，等离子体发生装置包括：螺旋电极和筒状电极，筒状电极环绕螺旋电极设置，筒状电极与螺旋电极的间距为L，L≤5mm，筒状电极适于与直流电源相连接，筒状电极上形成有通孔本发明的等离子体发生装置能够在螺旋电极和筒状电极之间产生空间上的辉光放电，增大了等离子体发生装置的放电面积。当筒状电极环绕螺旋电极设置时，筒状电极与螺旋电极之间能够产生多个方向上的放电，进一步增大了空间放电的放电面积，有助于提升放电空间内的等离子体密度。同时，本发明的等离子体发生装置还具有集尘效果，能够较好地去除颗粒物。
一种等离子体发生装置空气净化器

[发明专利]等离子体放电装置-CN201210566278.6有效
发明人：贾少霞;张宸;杨景华;王守国 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2012-12-24 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种等离子体放电装置，包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳；所述射频电源与所述射频电极连接；放电装置在工作时，所述金属外壳接地；所述射频电极被介质阻挡层包覆；两个射频电极之间为等离子体喷口；所述匀气板位于所述介质阻挡层上方；所述气源提供的工作气体通过由所述匀气板构成的收缩口，到达所述等离子体喷口，并在常压下，电源接通后，在所述喷口处形成大面积的辉光等离子体，等离子体在气流的携带下向外喷出本发明避免了散射性放电，提高了放电效率，提高了气流速率，增大等离子体喷出喷口的长度，降低了装置对被处理材料的形状等要求。
等离子体放电装置

[发明专利]常压微辉光放电解吸质谱离子源及其构成的质谱分析装置-CN201410138330.7无效
发明人：段忆翔;丁薛璐;王博 -专利权人：四川大学
申请日： 2014-04-08 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： G01N30/72 文献下载
摘要：本发明公开了一种常压辉光放电解吸质谱离子源及其构成的质谱分析装置，所述离子源主要包括在绝缘材质基体件上加工出来的微等离子体发生腔、固定在微等离子体发生腔壁面上的一对击穿电极和固定在微等离子体发生腔进口端用于连接工作气引入系统的气路转换接头质谱分析装置主要由工作气引入系统、所述常压微辉光放电解吸质谱离子源、可调直流稳压电源、质谱仪和质谱数据处理系统构成。采用本发明进行样品质谱分析，具有所需功率小，所需气体量少，不需要有毒试剂，等离子体气温度较低，不会对环境造成污染，操作简便，不需要对样品进行预处理，检测灵敏度高，能实现高通量的在线检测等多方面十分突出的优点
常压辉光放电解吸离子源及其构成谱分析装置

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