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[发明专利]一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置-CN202111181130.6在审
发明人：沈洁;陈根;方世东 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种智能控制的等离子体空气快速灭菌装置，包括：依次连接的反应段、混合段、催化反应段；所述反应段包括截面为三角形的锥形反应室、两个呈预定夹角布置的等离子体发生器；在等离子体发生器出口及交点处形成立体等离子体处理区，含菌气体在此与等离子体充分作用，达到快速杀菌的作用；所述两个等离子体发生器分别稳定工作于不同等离子体模式，其中，第一等离子体发生器工作于含氧模式，等离子体处理区产生氧活性物质；第二等离子体发生器工作于含氮模式等离子体处理区产生氮活性物质；所述第一等离子体发生器、第二等离子体发生器工作条件，需满足功率P1P2，流量Q1Q2。
一种智能控制等离子体空气快速灭菌装置

[发明专利]一种多弧等离子体气化炉-CN202111193494.6在审
发明人：倪国华;李磊;胡磊;孙坡;李淩豪;金国卫 -专利权人：中科等离子体科技（合肥）有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： C10J3/20 文献下载
摘要：本发明的一种多弧等离子体气化炉，基于气化炉，气化炉包括进料管、炉排、炉渣收集装置及排烟口；还包括多弧等离子体发生器，所述多弧等离子体发生器安装在等离子体射流导管的侧壁上，多弧等离子体发生器与等离子体射流导管连通；等离子体射流导管布置在气化炉炉壁内侧的炉排上端；等离子体射流导管设有n个出口，为n≥2的自然数，均布于等离子体射流导管，出口的角度与水平面夹角0°≤ɑ≤30°。本发明通过多弧等离子体发生器与环形等离子体射流导管的结合，使得输送到被处理物料区的等离子体射流温度场更加均匀，避免了传统电弧等离子体由于温度梯度大，处理物料过程中易导致局部结渣的问题，提高了气化效率。
一种等离子体气化

[发明专利]具有辅助反应室的等离子体室-CN202280019113.9在审
发明人： G·S·莱纳德三世;S·A·麦克勒兰德;J·J·雷哈根;具宰模 -专利权人：雷卡邦股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B01J19/12 文献下载
摘要：一种等离子体反应系统，包括等离子体室和辅助反应室。等离子体室包括用于将反应气体引入等离子体室的等离子体室入口、形成内部空间的等离子体室壁、在等离子体室内产生的等离子体、用于将能量导向在等离子体室内产生的等离子体的波导件、以及用于从等离子体室运送第一出口气体的等离子体室出口辅助反应室包括配置成从等离子体室获得第一出口气体的辅助反应室入口、形成辅助反应室的内部空间的辅助反应室壁、以及用于从辅助反应室运送第二出口气体的辅助反应室出口，其中出口气体之间的第二化学反应可以在该内部空间中发生
具有辅助反应等离子体

[实用新型]一种等离子体发生器-CN202021029271.7有效
发明人：陈伟;余德平;张金刚;薛攀 -专利权人：江苏帕斯玛环境科技有限公司
申请日： 2020-06-08 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体发生器，包括等离子体发生器主体、等离子体发生器后座、等离子体发生器外壳、毛玻璃、脉冲空气通道、阴极冷却水通道、阴极、等离子体工作气通道、阳极和阳极冷却水通道，所述等离子体发生器主体包括等离子体发生器后座和等离子体发生器外壳，且等离子体发生器外壳通过螺栓与等离子体发生器后座连接，在等离子体发生器后座左端内设置毛玻璃，所述等离子体发生器后座上设置有脉冲空气通道，在等离子体发生器外壳顶部设置阴极冷却水通道，所述阴极冷却水通道与阴极冷却水路连接
一种等离子体发生器

[实用新型]一体式双循环等离子体活化水机-CN202120328108.9有效
发明人：刘东平;赵志国 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-02-04 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C02F1/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一体式双循环等离子体活化水机，包括：等离子体活化水机外壳，所述等离子体活化水机外壳内设有等离子体反应器、净水器、净水储水罐、气液混合泵、等离子体混合罐、变频器、高压变压器、控制单元，所述等离子体反应器的出气口通过管路与气液混合泵的入口Ⅱ相连，所述气液混合泵的出口通过管路与等离子体混合罐的进水口Ⅱ相连；所述等离子体混合罐的出水口Ⅰ通过管路与净水储水罐相连，所述等离子体混合罐的出水口Ⅱ通过管路与气液混合泵的入口Ⅰ相连。本实用新型双循环结构，可实现不循环产出等离子体活化水，单循环产出等离子体活化水，双循环产出等离子体活化水，可制备高浓度的等离子体活化。
体式双循环等离子体活化

[实用新型]炉头组件及电火灶-CN202221208302.4有效
发明人：谭刚;梁欢 -专利权人：深圳国爱全电化智慧科技有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： F24C7/06 文献下载
摘要：包括：支架，支架的支撑平面上设有多个插接孔；等离子体组件，等离子体组件穿过插接孔设置在支架上，等离子体组件包括第一等离子体模组和第二等离子体模组，第一等离子体模组包括至少一个第一等离子体组件，第二等离子体模组包括多个第二等离子体组件，第一等离子体模组远离支撑平面的一端相对支撑平面的高度大于或小于第二等离子体模组远离支撑平面的一端相对支撑平面的高度，第一等离子体模组和第二等离子体模组用于与高压组件电连接。
组件电火灶

[实用新型]一种利用低温等离子体破壁消解污泥的设备-CN202121931916.0有效
发明人：王博;张海波;常俊俊;肖诚斌;赵彬 -专利权人：中国光大绿色技术创新研究院有限公司;光大环保技术研究院（深圳）有限公司;光大环境科技（中国）有限公司
申请日： 2021-08-17 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C02F11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种利用低温等离子体破壁消解污泥的设备，包括：等离子体生成单元，包括高压电源和连接至所述高压电源的等离子体放电装置，所述等离子体放电装置内生成等离子体，所述等离子体放电装置包括将生成的等离子体喷出的喷口；进气单元，包括鼓风机和连接至所述鼓风机的分气管，所述分气管与所述等离子体放电装置连通，以向所述等离子体放电装置内供应空气并使生成的等离子体从所述等离子体放电装置内排出；污泥运输单元，用于传送流动的污泥，由所述喷口喷出的等离子体与所述污泥直接接触，以实现污泥的破壁消解。根据本实用新型提供的利用低温等离子体破壁消解污泥的设备，提高了剩余污泥的消解效率，防止二次污染的产生。
一种利用低温等离子体消解污泥设备

[发明专利]中性粒子束处理设备-CN200480034993.9无效
发明人：李奉柱;俞席在;李学柱 -专利权人：韩国基础科学支援研究院;希姆科技有限公司
申请日： 2004-11-27 - 公布日： 2006-12-27 - 主分类号： H05H3/06 文献下载
摘要：更具体地，本发明涉及一种中性粒子束处理设备，包括：等离子体放电空间，在其内部，通过等离子体放电将处理气体转换为等离子体离子；重金属板，通过碰撞将等离子体离子转换为中性粒子；等离子体限制器，防止等离子体离子和电子通过，并允许由等离子体离子与金属板的碰撞产生的中性粒子通过；以及处理外壳，其内部设置了要处理的基板，其中将等离子体放电空间夹在重金属板和等离子体限制器之间。
中性粒子束处理设备

[发明专利]有机发光装置-CN202010171904.6在审
发明人： N·J·汤普森;M·S·韦弗;M·富塞拉 -专利权人：环球展览公司
申请日： 2020-03-12 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：提供包括一或多个等离子体OLED和零个或更多个非等离子体OLED的装置结构。每一等离子体OLED包括增强层，所述增强层包括等离子体材料，所述等离子体材料展现与有机发射材料非辐射耦合并且将来自发射材料的激发态能量转移到所述等离子体OLED中的表面等离子体偏振子的非辐射模式的表面等离子体共振
有机发光装置

[发明专利]等离子体处理装置及等离子体处理方法-CN201780096699.8有效
发明人：药师神弘士;渡边勇人;芝本雅弘 -专利权人：佳能安内华股份有限公司
申请日： 2017-11-13 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：等离子体处理装置具备：处理室，用于对基板进行处理；等离子体产生部，用于产生等离子体；输送部，其中在上述等离子体产生部中产生的等离子体被输送至上述处理室；及扫描磁场产生部，产生使上述等离子体偏转的磁场以通过上述等离子体扫描上述基板，上述扫描磁场产生部的构成使得上述等离子体的轨迹的中心是能够调整的。
等离子体处理装置方法

[实用新型]一种等离子体化学气相沉积装置-CN202022845096.5有效
发明人：毛格;熊攀;王永平 -专利权人：长江存储科技有限责任公司
申请日： 2020-11-30 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种等离子体化学气相沉积装置，所述装置包括：沉积室；与所述沉积室顶部的等离子体喷头连接的等离子体发生器，用于产生等离子体，并通过所述等离子体喷头向所述沉积室底部的基台的表面喷射所述等离子体；与所述基台连接的分压模块，用于通过调节所述等离子体喷头与所述基台之间的电场强度，以调节所述等离子体的成膜速率。
一种等离子体化学沉积装置

[发明专利]用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器-CN201110075718.3有效
发明人： A·格劳佩拉;S·克罗格;T·米勒;D·劳尔;S·张 -专利权人： FEI公司
申请日： 2011-02-15 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明涉及用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器。公开了一种聚焦离子束(FIB)系统，该系统包括：感应耦合等离子体离子源；包含等离子体的绝缘等离子体室；传导源偏置电极，与等离子体接触并偏置到高压以控制样品和多个孔处的离子束能量。等离子体室内的等离子体用作包括一个或多个透镜的离子镜筒的虚拟源，所述透镜把聚焦离子束形成在待被成像和/或FIB处理的样品的表面上。等离子体由装配在镜筒附近或在镜筒处的等离子体点燃器启动，所述等离子体点燃器在源偏置电极上诱导高压振荡脉冲。通过在镜筒附近装配等离子体点燃器，连接源偏置电极到偏置电源的电缆的电容性影响被最小化。通过合适的孔材料选择，使孔的离子束溅射最小化。
用于感应耦合等离子体离子源点燃

[发明专利]用于分配气体的装置和用于处理基板的装置-CN201780045233.5有效
发明人：尹镐彬;辛昇澈;刘真赫;赵炳夏 -专利权人：周星工程股份有限公司
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于基板处理设备的气体喷雾器及基板处理设备，其包括：等离子体产生部，用于产生等离子体，以便在由基板支撑部支撑的基板上执行处理工艺；接地体，接地体与等离子体产生部耦接；以及等离子体屏蔽部，用于屏蔽由等离子体产生部产生的等离子体，其中，等离子体产生部包括：第一电极，用于产生等离子体；以及第二电极，第二电极在与第一电极间隔开的位置处耦接至接地体，以便在第二电极和第一电极之间的空间中形成用于喷射工艺气体的气体喷射空间，并且其中，等离子体屏蔽部从基板的内部和/或外部屏蔽由等离子体产生部产生的等离子体。
用于分配气体装置处理

[实用新型]等离子喷涂靶材喷嘴-CN201420675768.4有效
发明人：黄勇彪;林文宝 -专利权人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司
申请日： 2014-11-12 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： C23C4/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子喷涂靶材喷嘴，包括喷嘴本体，所述喷嘴本体中部设有贯通的通孔，所述通孔形成供喷涂材料通过的通道，所述通道的内壁面设有导电层。本实用新型的等离子喷涂靶材喷嘴，用于喷涂溅射靶材，其通过在内壁设置导电层，既保持了喷嘴良好的导热系数，同时喷嘴内壁又能耐点枪瞬间的电弧冲蚀和等离子体的高温高压冲蚀，使等离子喷涂在喷涂旋转溅射靶材时的喷嘴寿命大大提高，同时又降低了耗材成本；适用于较长时间的连续喷涂作业以及对涂层质量要求较高的喷涂工作。
等离子喷涂喷嘴

[发明专利]一种新型等离子体天线及使用方法-CN201710219886.2有效
发明人：魏相飞 -专利权人：皖西学院
申请日： 2017-04-06 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： H01Q1/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型等离子天线及其使用方法，包括放电室、气瓶、射频电源、玻璃管和交流电源，在放电室产生等离子体，等离子体进入玻璃管内进行工作，形成等离子体天线，实现信号的收发，将等离子体产生区和等离子体工作区分离，使其独立工作，使等离子体工作区的等离子体密度可调，进一步增大等离子天线的工作频率范围。
一种新型等离子体天线使用方法