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[发明专利]加强等离子体处理系统中的等离子体增强蚀刻-CN201710574814.X在审
发明人：埃里克·赫德森;安德鲁·D·贝利三世;拉金德尔·迪恩赛 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-08-27 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及加强等离子体处理系统中的等离子体增强蚀刻，具体涉及一种蚀刻等离子体处理室中的衬底的方法，该等离子体处理室至少具有初级等离子体产生区域和通过半阻挡结构与所述初级等离子体产生区域分开的次级等离子体产生区域所述方法包括从初级等离子体产生区域中的初级原料气体产生初级等离子体。该方法还包括从次级离子体产生区域中的次级原料气体产生次级等离子体，以使从次级等离子体中产生的物质中的至少一些能够迁移至初级等离子体产生区域。所述方法另外包括在用来自次级等离子体的迁移物质来加强初级等离子体之后用该初级等离子体蚀刻衬底。
加强等离子体处理系统中的增强蚀刻

[发明专利]用于膨胀热等离子体的电感耦合的系统和方法-CN200480015891.2有效
发明人：马克·谢普肯斯 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2004-06-14 - 公布日： 2006-07-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种等离子体生成系统(300)，其包括用于生成热等离子体的等离子体生成设备(316)；处于所述等离子体生成设备(316)外的等离子体处理室(318)，其用于接收来自等离子体生成设备(316)的热等离子体，并且，在生成等离子体的过程中，保持等离子体处理室(318)内的压力小于等离子体生成设备(316)中的压力，从而引起热等离子体在等离子体处理室(318)内膨胀；以及用于对所述热等离子体进行电感耦合的电感系统
用于膨胀等离子体电感耦合系统方法

[发明专利]一种等离子体结合过氧化氢的VOCs气体处理方法-CN201810695637.5在审
发明人：殷衡 -专利权人：殷衡
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：一种等离子体结合过氧化氢的VOCs气体处理方法，所属领域为环境工程中的废气处理领域。该方法主要是为了解决传统挥发性有机物(VOCs)处理方法易造成二次污染且适用范围有限的不足之处，解决上述问题的要点是：用强度11.5～11.7kV/cm的电场激发VOCs气体，形成等离子体的同时将VOCs分解为易氧化降解的小分子有机物；将上述等离子体引入氧化反应室，并迎面溅射反应室内的过氧化氢；过氧化氢分子在等离子体的催化作用下生成大量原子氧、超氧阴离子自由基及羟基自由基，其具有极强的氧化能力，能够在10～12min的时间内将VOCs分解的小分子有机物彻底氧化为二氧化碳和水。
等离子体小分子有机物过氧化氢的超氧阴离子自由基过氧化氢分子挥发性有机物分解氧化反应室羟基自由基催化作用电场激发二次污染废气处理过氧化氢环境工程所属领域氧化能力易氧化原子氧二氧化碳溅射降解室内引入

[发明专利]一种基于非均匀等离子体的辐射增强方法-CN202211430190.1在审
发明人：聂秋月;陈培奇;钱亮;张仲麟;王敏;华洋阳;孟卓涛;艾昕;魏国强;闫昌时 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2022-11-15 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明的一种基于非均匀等离子体的辐射增强方法，涉及等离子体增强方法。目的是为了克服现有等离子体增强技术物理模型较为简单，缺少利用非均匀等离子体实现最佳增强的一般性讨论，方法基于等离子体增强型电小天线实现，等离子体增强型电小天线包括球壳形的等离子体罩和位于等离子体罩内的电小天线；并且，等离子体罩内的等离子体沿等离子体罩的半径非均匀分布；辐射增强方法如下：调节等离子体密度和等离子体罩的尺寸符合以下条件，从而使非均匀等离子体对电小天线的辐射进行增强。
一种基于均匀等离子体辐射增强方法

[发明专利]生产碳纳米管的方法和反应器-CN200680029930.3有效
发明人：博迪尔·蒙森;奥拉·拉尼斯;罗阿尔·詹森;克杰斯蒂·克莱韦兰;史泰纳·普里茨;本杰明·拉瓦里;琼·阿尔内·巴肯;安德烈亚斯·韦斯特门 -专利权人：辛芬特公司
申请日： 2006-06-16 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： C01B31/02 文献下载
摘要：本方法包括：在大容积热等离子体中蒸发/分解含碳材料，所述大容积热等离子体是通过使用外加磁场旋转电弧产生的，并在表面上或在气流中的颗粒上凝结所述蒸发/分解的含碳材料。本发明也描述了进行该方法的反应器。
生产纳米方法反应器

[发明专利]一种促进粮油作物种子萌发和增加其产量的冷等离子体种子处理方法-CN201510156137.0在审
发明人：李建刚;徐启来;董元华;李玲;叶仁宏;于洪喜;邵汉良 -专利权人：中国科学院南京土壤研究所
申请日： 2015-04-02 - 公布日： 2015-07-22 - 主分类号： A01C1/00 文献下载
摘要：一种促进粮油作物种子萌发和增加其产量的冷等离子体种子处理方法，包括如下步骤：对油料作物和稻麦种子进行冷等离子体处理，所述冷等离子体处理条件为：放电介质为氦气，处理功率为60～140W，处理时间为15～20s本发明利用HD-2N型辉光放电冷等离子体种子处理机进行非电离辐射处理，对种子产生良性刺激，可以显著增加种皮透性，增强种子亲水性和吸水能力，进而提高了种子储藏物质的分解代谢能力，从而显著促进了种子萌发和幼苗生长
一种促进粮油作物种子萌发增加产量等离子体处理方法

[发明专利]等离子体空气消毒装置-CN202010366617.0在审
发明人：吴穷;罗海云;王新新;邹晓兵;王豪;张丽阳;李雨泰;杨坤;冯子豪;王凯 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： A61L9/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种等离子体空气消毒装置，包括：电源；与电源相连的等离子体装置，其中，等离子体装置包括：与电源相连的泡沫正电极与泡沫负电极；设置于泡沫正电极与泡沫负电极之间的多孔介质，多孔介质内部设有多个孔洞，以使等离子放电产生在多个孔洞中，且在气流非直线流动经过充满等离子体的多个孔洞时，对待处理污染气体能进行杀菌处理；蜂窝铝板，蜂窝铝板上设置有纳米二氧化钛催化剂，以催化分解尾气中的臭氧。
等离子体空气消毒装置

[发明专利]冷等离子体聚变技术垃圾处理系统和方法-CN201710622418.X有效
发明人：樊国平;樊军;王翔;樊勇 -专利权人：广州仁廙环保技术有限公司
申请日： 2017-07-26 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B09B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种冷等离子体聚变技术垃圾处理系统，包括：冷等离子体聚变装置、垃圾处理反应室、气冷热交换系统、反粒子发生器、干燥器、气涡轮发电机和温控式冷等离子分解器。本发明还公开了一种采用冷等离子体聚变堆技术的垃圾处理方法。本发明提供所述冷等离子体聚变技术垃圾处理系统，是组合、空间立体的配置，除了解决了堆肥、焚烧、填埋等传统处理垃圾的不足之处，还解决了目前电弧气化垃圾的总量少、实际应用受到限制的问题。
等离子体聚变技术垃圾处理系统方法

[发明专利]低温等离子体耦合催化分解焚烧烟气二噁英的方法与装置-CN201911282393.9有效
发明人：王美艳;沈伯雄;黄超;张长平;孙优善;柳洋;刘国超 -专利权人：河北工业大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： B01D53/75 文献下载
摘要：本发明为低温等离子体耦合催化分解焚烧烟气二噁英的方法与装置。该方法采用低温等离子体反应单元与催化反应单元串联的方式，使垃圾焚烧烟气先经过低温等离子反应单元，烟气中二噁英被高压放电产生的臭氧等强氧化性粒子部分氧化；其后进入催化反应单元，在催化剂的表面，借助低温等离子体反应单元中产生的强氧化性粒子本发明协同利用低温等离子体与催化剂的优势，处理效果好，且避免臭氧二次污染，可进行工业推广。
低温等离子体耦合催化分解焚烧烟气二噁英方法装置

[实用新型]等离子体空气消毒装置-CN202020716064.2有效
发明人：吴穷;罗海云;王新新;邹晓兵;王豪;张丽阳;李雨泰;杨坤;冯子豪;王凯 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： A61L9/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体空气消毒装置，包括：电源；与电源相连的等离子体装置，其中，等离子体装置包括：与电源相连的泡沫正电极与泡沫负电极；设置于泡沫正电极与泡沫负电极之间的多孔介质，多孔介质内部设有多个孔洞，以使等离子放电产生在多个孔洞中，且在气流非直线流动经过充满等离子体的多个孔洞时，对待处理污染气体能进行杀菌处理；蜂窝铝板，蜂窝铝板上设置有纳米二氧化钛催化剂，以催化分解尾气中的臭氧。
等离子体空气消毒装置

[发明专利]内电弧等离子体喷枪-CN201210296273.6有效
发明人：周开根 -专利权人：周开根
申请日： 2012-08-19 - 公布日： 2012-11-28 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：一种内电弧等离子体喷枪，涉及到等离子体加热设备，由前枪体、后座和第一电极组成，其中：前枪体的构造内有弧腔和冷却水套，第一电极的头部伸入到弧腔之内，弧腔和伸入其内的第一电极的头部构成内电弧发生器，入口处的金属构件形成第二电极，工作时，弧腔内生成电弧，电弧从压缩喷口喷出，电弧经压缩后加剧升温形成等离子体火炬。本发明在弧腔内分解水分子的措施，使高温等离子体电弧的能量集中，具有加热效率高、水分子分解率高的特点，适合在生活垃圾气化炉、煤气化炉、工业高分子废弃物气化装置、热解水制氢装置和锅炉上应用，与常规技术相比，
电弧等离子体喷枪

[实用新型]内电弧等离子体喷枪-CN201220412981.7有效
发明人：周开根 -专利权人：周开根
申请日： 2012-08-19 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H05H1/28 文献下载
摘要：一种内电弧等离子体喷枪，涉及到等离子体加热设备，由前枪体、后座和第一电极组成，其中：前枪体的构造内有弧腔和冷却水套，第一电极的头部伸入到弧腔之内，弧腔和伸入其内的第一电极的头部构成内电弧发生器，入口处的金属构件形成第二电极，工作时，弧腔内生成电弧，电弧从压缩喷口喷出，电弧经压缩后加剧升温形成等离子体火炬。本实用新型在弧腔内分解水分子的措施，使高温等离子体电弧的能量集中，具有加热效率高、水分子分解率高的特点，适合在生活垃圾气化炉、煤气化炉、工业高分子废弃物气化装置、热解水制氢装置和锅炉上应用，与常规技术相比
电弧等离子体喷枪

[发明专利]一种填充式低温等离子体协同吸附催化VOCs净化装置-CN201610306942.1在审
发明人：包浩;施平平;钱东升;傅伟根;屠天云 -专利权人：浙江中泰环保股份有限公司
申请日： 2016-05-11 - 公布日： 2016-07-13 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本发明公开了一种填充式低温等离子体协同吸附催化VOCs净化装置，包括预除尘装置和壳体，壳体包括前小后大的进口喇叭、中间段和前大后小的出口喇叭，预除尘装置、进口喇叭、中间段和出口喇叭依次连通，中间段内设置有低温等离子体反应器，低温等离子体反应器内填充有催化剂和活性炭，低温等离子体反应器连接高频高压电源。该净化装置集低温等离子体技术，吸附和催化技术为于一体，相互协同提高VOCs去除率，该装置具有对污染物分子高效分解且处理能耗低的特点，采用一段式结构，占地面积小，为工业VOCs的治理开辟了新思路。
一种填充低温等离子体协同吸附催化 vocs 净化装置

[发明专利]基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法-CN202211290970.0在审
发明人：孙昊;吴翊;荣命哲;郭运顺;龙虎 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置及方法，基于电感耦合热等离子体的含氟气体降解装置中，进气控制系统分别控制载气、冷却气、含氟气体与活性气体的流量；电感耦合等离子体反应器产生并约束热等离子体区域，并有腔体振动发生器固定在反应腔外壁以防止固体粉末附着；尾气处理系统由锥形粉末收集器处理固体产物，喷淋塔处理酸性气体产物，并在检测达标后排放，装置利用高频交流电源和感应线圈在反应腔内产生感应耦合热等离子体，在局部高温作用下使含氟气体彻底分解并与活性气体反应，从而抑制含氟气体的自恢复特性。
基于电感耦合等离子体氟气降解装置方法

[发明专利]一种低温常压等离子体活性水农作物的喷洒防病装置-CN201510023830.0有效
发明人：王剑平;郭俭;杨春伟;黄康;俞永华 -专利权人：浙江大学
申请日： 2015-01-16 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： A01M7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种低温常压等离子体活性水农作物的喷洒防病装置。喷雾枪通过水管与主机相连；主机内，蓄电池分别与高压电源、空气泵和水泵相连，高压电源与等离子体发生器相连，空气泵与气体流量计相连，水泵与液体流量计相连，毫安电流表与等离子体发生器相连；水泵分别与储水箱和喷雾枪相连，空气泵与等离子体发生器相连，等离子体发生器伸入到储水箱内部。本发明能够减少农作物染病几率，应用于农田，减少农药的使用量，同时活性水中的杀菌活性成分一段时间内会分解不会残留；不需要介质阻挡放电，降低放电电压，结构较为简单和可靠，而且可随身携带使用。
一种低温常压等离子体活性农作物喷洒防病装置