|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 3984474个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]基板输送移动系统-CN201621452341.3有效
-
林忠和;李建宏
-
孙建忠
-
2016-12-28
-
2017-08-15
-
H01L21/677
- 本实用新型关于一种基板输送移动系统，包括一卡匣框，内部具有一容室，该卡匣框一侧具有开口与该容室相通，该容室内部设有一隔层部，该隔层部的周边设有复数间隔元件，以令中央为中空，该隔层部下方设有一输送操作室，以及设一可供伸入该输送操作室的移动设备，藉以供移动设备因应与配合该隔层部的间隔元件内的基板输送移动。因此，使用者可以有更多基板输送移动的方式选择与基板制程或IC封装设备操作的运用。
- 输送移动系统
- [发明专利]外观检查装置-CN200810107831.3有效
-
辻治之
-
奥林巴斯株式会社
-
2008-05-14
-
2008-11-19
-
G01N21/956
- 本发明提供外观检查装置，该外观检查装置具有：第1基板保持部，其以能够观察基板表面的方式对基板进行保持；第2基板保持部，其以能够观察基板背面的方式对基板进行保持；第1基板保持部移动机构，其使第1基板保持部移动；第2基板保持部移动机构，其使第2基板保持部移动；以及控制装置，其控制第1基板保持部移动机构和第2基板保持部移动机构，以使利用第1基板保持部观察基板表面时基板的位置和利用第2基板保持部观察基板背面时基板的位置大致一致
- 外观检查装置
|
