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[发明专利]离子源安装结构及离子源装置-CN202010850672.7在审
发明人：刘伟基;吴秋生;冀鸣;易洪波;赵刚 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源安装结构和离子源装置，应用于离子源装置上，所述离子源装置包括至少一个霍尔离子源和至少一个中空阴极；所述中空阴极设于距离所述霍尔离子源一设定位置处，为所述霍尔离子源提供中和电子；该安装结构包括：离子源底座、角度调节机构和基座；所述霍尔离子源安装在离子源底座上，所述离子源底座通过角度调节机构安装在基座上，所述离子源底座通过角度调节机构进行转动，以调整霍尔离子源的发射角度。通过本申请的技术方案，可以根据镀膜需求来调整霍尔离子源的角度，从而可以提升离子源覆盖效果，提高使用效率。
离子源安装结构装置

[实用新型]离子源安装结构及离子源装置-CN202021770259.1有效
发明人：刘伟基;吴秋生;冀鸣;易洪波;赵刚 -专利权人：中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种离子源安装结构和离子源装置，应用于离子源装置上，所述离子源装置包括至少一个霍尔离子源和至少一个中空阴极；所述中空阴极设于距离所述霍尔离子源一设定位置处，为所述霍尔离子源提供中和电子；该安装结构包括：离子源底座、角度调节机构和基座；所述霍尔离子源安装在离子源底座上，所述离子源底座通过角度调节机构安装在基座上，所述离子源底座通过角度调节机构进行转动，以调整霍尔离子源的发射角度。通过本申请的技术方案，可以根据镀膜需求来调整霍尔离子源的角度，从而可以提升离子源覆盖效果，提高使用效率。
离子源安装结构装置

[发明专利]一种离子注入装置及其使用方法-CN201710507343.0在审
发明人：王玉添 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-06-28 - 公布日： 2017-11-17 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入装置及其使用方法，其中装置包括主离子源、至少一个备用离子源、用于改变接入的离子源种类的离子源切换装置及用于使所述备用离子源和/或主离子源发射的离子进入筛选装置的离子通道。通过上述方式，本发明能够通过设置至少一个备用离子源的方式，在某一离子源需要停机维修时通过切换离子源使得其它离子源与筛选装置相连，保证离子注入装置可以连续工作，实现产品制造过程中的连续性。此外，该方法不需要将整个离子注入装置全部停机，也不需要重新建立真空环境，操作方便。
一种离子注入装置及其使用方法

[发明专利]复合型质谱离子源装置-CN201910674782.X在审
发明人：史志强 -专利权人：广州汇弘科技有限公司
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2019-12-03 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种复合型质谱离子源装置，包括：离子源、辅助加热装置、离子源支架、调节装置及腔体；离子源支架安装于腔体上；离子源包括有电喷雾离子源及大气压化学电离源，电喷雾离子源及大气压化学电离源之间通过离子源支架相互替换安装于所述腔体上，辅助加热装置以及调节装置被安装于所述腔体上；腔体的内部中空，腔体的内部具有电离区域，离子源支架、辅助加热装置的朝向方向均朝向电离区域。本发明要解决的技术问题是，电喷雾离子源及大气压化学电离源能够同时兼容并相互替换安装在同一个腔体上，企业在设备采购过程中，只需采购一种设备，便能拥有电喷雾离子源及大气压化学电离源这两种功能，极大地减少了企业的购置成本
腔体离子源大气压化学电离源电喷雾离子源辅助加热装置支架电离区域调节装置替换质谱离子源装置内部中空设备采购支架安装兼容采购

[发明专利]离子生成装置及离子生成装置的控制方法-CN201610894385.X有效
发明人：川口宏 -专利权人：住友重机械离子技术有限公司
申请日： 2016-10-13 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种离子生成装置及离子生成装置的控制方法，其有助于提高离子照射装置的生产率。本发明的离子生成装置具备：离子源控制部(102)，构成为按照现离子源条件及现离子源条件之后运用的新离子源条件来控制气体供给部(70)及等离子体激发源(72)；保持时间获取部(104)，获取现离子源条件的保持时间；及预处理条件设定部(106)，构成为根据现离子源条件、保持时间、及新离子源条件来设定确定预处理的预处理条件，所述预处理用于在等离子体室内壁形成适合于新离子源条件的表层区域。离子源控制部(102)构成为，从现离子源条件变更为新离子源条件时，通过预处理条件控制气体供给部(70)及等离子体激发源(72)。
离子生成装置控制方法

[发明专利]一种改进的回旋加速器离子源系统-CN201110226095.5有效
发明人：徐建波 -专利权人：上海原子科兴药业有限公司
申请日： 2011-08-08 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： H05H13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种改进的回旋加速器离子源系统，由离子源顶盖、灯丝、离子源腔体、磁过滤器、吸极装置及吸极补偿装置构成，离子源顶盖设置在离子源腔体的顶部，顶盖下方设置两排永久磁铁，灯丝设在离子源腔体内，连接在离子源顶盖的下方，磁过滤器设在离子源腔体下方，吸极装置有两个，设在离子源腔体的底部，吸极补偿装置设在离子源腔体的束流路径上。
一种改进回旋加速器离子源系统

[实用新型]一种用于回旋加速器的改进型离子源系统-CN201120286194.8有效
发明人：徐建波 -专利权人：上海原子科兴药业有限公司
申请日： 2011-08-08 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： H05H13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于回旋加速器的改进型离子源系统，由离子源顶盖、灯丝、离子源腔体、磁过滤器、吸极装置及吸极补偿装置构成，离子源顶盖设置在离子源腔体的顶部，顶盖下方设置两排永久磁铁，灯丝设在离子源腔体内，连接在离子源顶盖的下方，磁过滤器设在离子源腔体下方，吸极装置有两个，设在离子源腔体的底部，吸极补偿装置设在离子源腔体的束流路径上。
一种用于回旋加速器改进型离子源系统

[发明专利]离子源成像装置-CN201910515317.1在审
发明人：朱星高;代新;喻佳俊;刘平;刘今朝;黄凯斌;黄利勇 -专利权人：广州禾信康源医疗科技有限公司
申请日： 2019-06-14 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： H01J49/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子源成像装置。该离子源成像装置包括离子源腔体、离子源加电模块、反射镜、透光密封件、成像镜头、镜头支撑件以及图像获取机构，离子源腔体具有样品窗口以及光反射窗口，离子源加电模块设在离子源腔体内且靠近于样品窗口，透光密封件密封光反射窗口，镜头支撑件位于离子源腔体的外部且连接离子源腔体，镜头支撑件具有反射通道，反射通道的一端与样品窗口相对，成像镜头与镜头支撑件可转动连接且与反射通道的另一端相通，图像获取机构与成像镜头连接，离子源腔体内以及反射通道内均设有反射镜，离子源腔体内的反射镜、反射通道内的反射镜能够将靶板的图像发射至成像镜头内。该离子源成像装置结构简单、易于操作。
离子源成像装置

[实用新型]离子源成像装置-CN201920895259.5有效
发明人：朱星高;代新;喻佳俊;刘平;刘今朝;黄凯斌;黄利勇 -专利权人：广州禾信康源医疗科技有限公司
申请日： 2019-06-14 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： H01J49/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子源成像装置。该离子源成像装置包括离子源腔体、离子源加电模块、反射镜、透光密封件、成像镜头、镜头支撑件以及图像获取机构，离子源腔体具有样品窗口以及光反射窗口，离子源加电模块设在离子源腔体内且靠近于样品窗口，透光密封件密封光反射窗口，镜头支撑件位于离子源腔体的外部且连接离子源腔体，镜头支撑件具有反射通道，反射通道的一端与样品窗口相对，成像镜头与镜头支撑件可转动连接且与反射通道的另一端相通，图像获取机构与成像镜头连接，离子源腔体内以及反射通道内均设有反射镜，离子源腔体内的反射镜、反射通道内的反射镜能够将靶板的图像发射至成像镜头内。该离子源成像装置结构简单、易于操作。
离子源反射离子源腔体成像镜头反射镜支撑件离子源腔镜头图像获取机构成像装置透光密封体内光反射加电成像装置结构本实用新型可转动连接图像发射靶板密封相通外部

[实用新型]复合型质谱离子源装置-CN201921185982.0有效
发明人：史志强 -专利权人：广州汇弘科技有限公司
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种复合型质谱离子源装置，包括：离子源、辅助加热装置、离子源支架、调节装置及腔体；离子源支架安装于腔体上；离子源包括有电喷雾离子源及大气压化学电离源，电喷雾离子源及大气压化学电离源之间通过离子源支架相互替换安装于所述腔体上，辅助加热装置以及调节装置被安装于所述腔体上；腔体的内部中空，腔体的内部具有电离区域，离子源支架、辅助加热装置的朝向方向均朝向电离区域。本实用新型要解决的技术问题是，电喷雾离子源及大气压化学电离源能够同时兼容并相互替换安装在同一个腔体上，企业在设备采购过程中，只需采购一种设备，便能拥有电喷雾离子源及大气压化学电离源这两种功能，极大地减少了企业的购置成本
腔体离子源大气压化学电离源电喷雾离子源辅助加热装置支架本实用新型电离区域调节装置替换质谱离子源装置内部中空设备采购支架安装兼容采购

[发明专利]离子源装卸装置-CN200910049285.7有效
发明人：许鹖 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-04-14 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子源装卸装置，用于在电弧反应室装卸离子源，包括：半圆柱形承托架，与离子源形状匹配，以承托所述离子源；卡套，设置在所述半圆柱形承托架一端，与所述电弧反应室的钢套形状匹配，用于卡合在所述钢套上，其中所述卡套具有一开口，与所述离子源形状匹配，以供所述离子源进出；以及把手，设置在所述卡套上部。利用该离子源装卸装置，可以在装卸离子源时，实现准确定位，使离子源精确的插入钢套中。在频繁的对离子注入机周期保养中，可以保证离子源的质量，同时会提高安装效率。确保维护的成功率，避免重复劳动。
离子源装卸装置

[实用新型]一种电子束蒸发镀膜设备离子源刻蚀装置-CN202221542041.X有效
发明人：杜鸿基;陈亮 -专利权人：北京维开科技有限公司
申请日： 2022-06-20 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子束蒸发镀膜设备离子源刻蚀装置，所述离子源刻蚀装置包括主刻蚀离子源和补偿刻蚀离子源，所述主刻蚀离子源设置于电子束蒸发镀膜设备的镀膜材料蒸发舱体内，补偿刻蚀离子源设置于电子束蒸发镀膜设备的工件装载舱体内；所述主刻蚀离子源设置于镀膜材料蒸发舱体的底平面上一侧，且朝向工件装载固定盘，所述补偿刻蚀离子源设置于工件装载舱体的底平面上一侧，且朝向工件装载固定盘，补偿刻蚀离子源下方设有角度调节机构，其相对水平面的角度调节范围为本装置能提供更精准的刻蚀工艺，双离子源的刻蚀精度在单离子源的刻蚀精度的均匀性基础上能提高2％左右。
一种电子束蒸发镀膜设备离子源刻蚀装置

[发明专利]大气压下软电离离子源装置及方法-CN201410849805.3在审
发明人：俞建成;闻路红;赵鹏;胡舜迪;孙明超;吴勇;宁录胜 -专利权人：宁波大学
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： H01J49/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种大气压下软电离离子源装置及方法，所述离子源装置包括：放电腔，所述放电腔的输入端接收载气，输出端连接离子源模块；溶剂提供模块，所述溶剂提供模块用于提供含量稳定的溶剂并送入所述离子源模块；离子源模块，所述离子源模块用于离子化待测物质。
大气压下电离离子源装置方法

[发明专利]一种离子源安装支架-CN201810645342.7有效
发明人：杨圆明;宋韵洋;赵鑫;王汉清;杨恩武;刘兰超;杨林月;刘敏胜 -专利权人：新奥科技发展有限公司
申请日： 2018-06-21 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01J1/92 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种离子源安装支架，涉及离子源安装技术领域，用于提高离子源安装支架的空间利用率及其通用性。所述离子源安装支架包括：用于安装在真空腔室上的法兰安装盘，通过间隙可调组件与法兰安装盘连接的离子源固定套，以及与离子源匹配设置的紧定件；其中，离子源固定套上设置有离子源容置孔、以及至少一个沿离子源容置孔的径向设置的离子源限位孔；离子源限位孔与离子源容置孔连通，紧定件穿过离子源限位孔与设在离子源容置孔内的离子源固定连接。本发明实施例提供的离子源安装支架用于实现离子源在真空腔室内的安装。
一种离子源安装支架

[实用新型]阳离子源装置-CN201020668536.8有效
发明人：苏新虹;朱兴华 -专利权人：北大方正集团有限公司
申请日： 2010-12-09 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及离子束蚀刻技术领域，公开了一种阳离子源装置。本实用新型的阳离子源装置，包括多个永磁体以及至少两个布气通道，所述多个永磁体沿所述布气通道分布，且至少一对相邻的布气通道之间连通。采用本实用新型的离子源装置，将现有阳离子源腔体内的上、下布气通道连通，相对现有的阳离子源装置，使得离子源腔体内的气体分布均匀，提高离子源的蚀刻均匀性。
阳离子装置

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