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- [发明专利]KDP晶体水溶解微纳加工系统及加工方法-CN201710180473.8有效
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高航;刘子源;郭东明
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大连理工大学
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2017-03-23
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2019-02-12
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B24B57/00
- 本发明公开了一种KDP晶体水溶解微纳加工系统及加工方法,所述的系统包括抛光液性能连续实时调控装置、抛光装置和夹持装置,所述的夹持装置将KDP晶体工件压在夹持装置上,所述的抛光液性能连续实时调控装置位于抛光装置的一侧本发明利用材料本身所具备的水溶解特性这一客观自然规律,创造性的采用一系列具备不同温度和质量百分比浓度的磷酸二氢钾溶液实现KDP晶体的超光滑表面高效创成。本发明使用的磷酸二氢钾溶液不含有任何类似于酒精的易挥发组分,显著减小了抛光液各组分比例随时间的变化,保证了抛光液性能的长期稳定,进而提高了水溶解微纳加工材料去除及表面平坦化行为的稳定性。
- kdp晶体溶解加工系统方法
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