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[发明专利]一种多极磁阱等离子体磁约束装置的时序控制方法-CN201510455578.0有效
发明人：金显吉;林景波;陶宝泉;佟为明;李辰;赵志衡;刘勇 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2015-07-30 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种多极磁阱等离子体磁约束装置的时序控制方法，所述的多极磁阱等离子体磁约束装置包括等离子体枪系统、全等离子体通道系统和多极磁阱系统。该方法由多极磁阱等离子体磁约束装置各个子系统工作时序的数学模型，得出多极磁阱磁约束装置各个子系统之间的时序控制模型。本发明所述的方法实现了多极磁阱等离子体磁约束装置中各个子系统工作时序的精确控制，保证了整个等离子体磁约束装置完成磁约束工作的同步性和实时性。
一种多极等离子体约束装置时序控制方法

[发明专利]一种磁控波束可变的等离子体天线阵列-CN201110236094.9无效
发明人：胡斌杰;周双 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2011-08-17 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： H01Q1/36 文献下载
摘要：本发明公开一种磁控波束可变的等离子体天线阵列，由多个磁控等离子体天线单元组成。多个磁控等离子体天线单元可以排列成圆形阵列，直线阵列，矩形阵列或半圆形阵列。所述磁控等离子体天线单元包括介质管、惰性气体、激励馈电环、信号馈电环、电磁铁和接地板；在各个磁控等离子体天线单元的激励馈电环上施加相同的射频激励功率对惰性气体进行单端激励产生等离子体柱；在各个磁控等离子体天线单元的信号馈电环上施加相同幅度和相位的通信信号磁控波束可变的等离子体天线阵列通过控制器调节各个磁控等离子体天线单元的电磁铁的磁场强度，进而控制各个磁控等离子体天线单元的辐射性能，实现对整个天线阵列的辐射波束的动态控制。
一种波束可变等离子体天线阵列

[发明专利]具有成形工件夹具的环形等离子体处理装置-CN201680036668.9在审
发明人： W·霍尔伯;R·J·巴斯内特 -专利权人：普拉斯玛比利提有限责任公司
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理装置包括环形形状的等离子体容器，环形形状的等离子体容器包括处理室。磁芯围绕环形形状的等离子体容器的一部分。具有电连接到的磁芯的输出的RF电源向磁芯通电，由此在等离子体室中形成环形等离子体回路放电。工件夹具放置于环形形状的等离子体容器中并且包括至少一个面。形成等离子体引导结构的形状和尺寸以便将等离子体的一段约束在环形等离子体回路中，以基本上垂直于至少一个面的法向而行进。
具有成形工件夹具环形等离子体处理装置

[发明专利]模拟三维非对称磁重联的等离子体模拟装置及其实现方法-CN201910069337.0有效
发明人：肖青梅;鄂鹏;王晓钢 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B64G7/00 文献下载
摘要：模拟三维非对称磁重联的等离子体模拟装置及其实现方法，属于空间环境地面模拟技术领域，本发明为解决现有磁层空间等离子体研究模拟装置只能提供近似的三维重联结构，且通常所采用的用于重联的等离子体呈对称结构，并不能真实反映非对称磁层顶重联的结构特点的问题本发明偶极磁场线圈通电后产生模拟地球磁场位形的磁场，上磁镜场线圈和下磁镜场线圈产生模拟磁镜场位形的磁场；电子回旋共振等离子体源在模拟地球磁场位形侧产生电子回旋共振等离子体；六硼化镧等离子体源在磁镜场磁场位形侧产生磁层顶磁鞘侧等离子体；等离子体枪驱动磁层顶磁鞘侧等离子体，使其与电子回旋共振等离子体在磁零点处发生三维非对称磁重联。
模拟三维对称磁重联等离子体装置及其实现方法

[发明专利]结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器-CN200710086254.X无效
发明人：崔大圭 -专利权人：新动力等离子体株式会社
申请日： 2007-03-09 - 公布日： 2007-10-31 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
结合多重电感耦合等离子体反应器

[发明专利]一种等离子体处理腔室-CN201711481145.8有效
发明人：王凯麟;左涛涛 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2017-12-29 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种等离子体处理腔室，该等离子体腔室内设置有磁屏蔽部件，该磁屏蔽部件包括包围等离子体处理空间的内衬以及位于内衬外围且包围所述内衬侧壁的磁屏蔽套筒。如此，内衬能够防止反应气体和等离子体腐蚀，避免金属污染，磁屏蔽套筒能够屏蔽掉外界磁场，防止外界磁场进入到等离子体处理空间，影响分布在其内的等离子体，外界磁场就不会影响等离子体处理腔室内的温度，从而使得等离子体处理腔室内的温度均匀性得到改善
一种等离子体处理

[发明专利]一种模拟地球磁尾三维磁重联的地面模拟装置及方法-CN201910068513.9有效
发明人：肖青梅;鄂鹏;王晓钢 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： G09B23/18 文献下载
摘要：一种模拟地球磁尾三维磁重联的地面模拟装置及方法，涉及低温等离子体应用领域。本发明是为了解决磁尾等离子体不能模拟真实三维磁尾重联结构的问题。一种模拟地球磁尾三维磁重联的地面模拟装置，两个磁镜场线圈镜像对称，偶极磁场线圈位于两个磁镜场线圈的对称轴上，使得偶极磁场线圈和两个磁镜场线圈产生磁场时能够模拟出地球磁尾磁场，两个磁镜场线圈的外侧分别设有LaB6等离子体源，两个磁镜场线圈之间的对称轴上设有等离子体枪，当两个LaB6等离子体源注入等离子体时，能够模拟出地球磁尾南北两侧等离子体，等离子体枪开启，能够驱动所述地球磁尾南北侧等离子体在磁零点线位置发生三维磁尾磁重联。
一种模拟地球三维磁重联地面装置方法

[发明专利]一种驱动磁重联的等离子体装置-CN201910068511.X有效
发明人：肖青梅;鄂鹏;王晓钢 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： B64G7/00 文献下载
摘要：一种驱动磁重联的等离子体装置，属于低温等离子体的应用技术领域。解决了现有的空间等离子体地面模拟装置无法真实研究空间中三维磁重联过程的问题。本发明可实现磁层顶磁重联和磁尾磁重联；实现磁层顶磁重联时，通过偶极磁场线圈模拟地球磁场位形，通过磁镜场线圈模拟行星际磁场位形，通过等离子体枪喷射的等离子束流使地球磁场位形上形成的磁层侧等离子体和星际磁场位形上形成的磁层顶磁鞘侧等离子体在磁零点位置实现重联；实现磁尾磁重联时，偶极磁场线圈通电后模拟地球磁场位形，磁镜场线圈均用于模拟地球磁尾磁场位形，通过等离子体枪喷射的等离子束流使地球磁尾南、北侧等离子体在磁零点位置实现重联。本发明主要用于驱动磁重联过程发生。
一种驱动磁重联等离子体装置

[发明专利]一种表面放电等离子体磁控系统-CN202210498307.3在审
发明人：徐晗;谢楷;权磊;李博 -专利权人：西安电子科技大学
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明公开一种表面放电等离子体磁控系统，包括：等离子体发生模块，用于产生等离子体；导向磁场发生模块，设于等离子体发生模块一侧，用于形成按设定周期循环变化的行波磁场，行波磁场包括至少一个行波子磁场，行波子磁场被配置为使在其磁控范围内的等离子体形成感应电流、并对等离子体施加磁推力以使其产生横向移动。整个行波磁场可以划分为至少一个行波子磁场，每个行波子磁场都可以在对应磁控范围内的等离子体形成感应电流，感应电流与时空变化的行波子磁场相互耦合产生磁推力，使得等离子体按设定磁场变化的方向移动，将刚由初始击穿电压放电产生的等离子体定向扩散，通过磁场控制等离子体均匀分布，降低放电电压。
一种表面放电等离子体系统

[实用新型]一种等离子体发生装置及镀膜设备-CN202221007639.9有效
发明人：靳伟;何云鹏;戴秀海 -专利权人：光驰科技（上海）有限公司
申请日： 2022-04-27 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种等离子体发生装置及镀膜设备。该等离子体发生装置包括等离子体发生机构和磁约束组件。其中，等离子体发生机构用于产生等离子体，且等离子体发生机构包括用于容纳等离子体的壳体，磁约束组件沿垂直于等离子体的出口方向设置在壳体的外周，磁约束组件通过磁场调节等离子体中的带电粒子的运动，从而降低作用在基片上的等离子体的能量该镀膜设备，通过上述等离子体发生装置，有利于提高基片的镀膜质量，避免基片高温下受到损坏。
一种等离子体发生装置镀膜设备

[发明专利]用于生成等离子体的方法和装置-CN202080087540.1在审
发明人： S.高特 -专利权人：戴森技术有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供了一种等离子体反应器，包括：处理室；等离子体天线组件，被配置为在处理室中生成等离子体；以及一个或多个磁体，被配置为将等离子体限制在处理室中远离等离子体天线组件的位置；其中等离子体天线组件包括：射频(RF)天线，被布置为由电流驱动，从而在等离子体生成区域中生成等离子体；壳体，被布置为将天线与在等离子体生成区域中生成的等离子体分离；以及铁磁或亚铁磁聚焦构件，被布置为部分地围绕天线的长度。
用于生成等离子体方法装置

[发明专利]一种便携式等离子分流器-CN201910966639.8在审
发明人：游帆;张信华;朱邓;贺华;刘威;杜建建 -专利权人：嘉兴恩奇医疗器械有限公司
申请日： 2019-10-12 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种便携式等离子分流器，涉及等离子体发生装置领域，包括等离子体发生组件，用于产生均匀的等离子体，包括电源、电极、变压器和介质管，介质管为空心管体，介质管的径向截面为圆形，电极设置在介质管的内部，变压器的一端连接有电极接口，电极接口的另一端与电极连接；等离子体筛选组件，对等离子体进行筛选，包括轴流风机和磁环，磁环套设在介质管外部且与介质管设有一定间隙，变压器远离电极接口的一端设有轴流风机；绝缘壳体，用于支撑并固定等离子体发生组件和等离子体筛选组件，本发明利用轴流风机和磁环作为等离子筛选组件，轴流风机加速等离子体流通，磁环再对等离子体进行筛选，具有更好的喷射效果。
介质管等离子体轴流风机电极接口筛选组件磁环变压器等离子体发生等离子等离子体发生装置加速等离子体筛选电极连接电极设置径向截面绝缘壳体空心管体一端连接磁环套分流器电极喷射电源外部流通支撑

[发明专利]磁控等离子体在圆筒内的流动及压力分布研究方法-CN201910559095.3有效
发明人：毛保全;白向华;李程;徐振辉;刘宏祥;李华;李元超;王之千 -专利权人：中国人民解放军陆军装甲兵学院
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G06F30/28 文献下载
摘要：本发明公开了磁控等离子体在圆筒内的流动及压力分布研究方法，属于磁约束等离子体领域，包括以下步骤：S1：计算等离子体流动数值，S2：磁约束等离子体流动程序的验证与分析，S3：研究磁场对圆筒内等离子体流动与压力的分布，S4：研究气体导电率对圆筒内磁约束等离子体流动与压力的分布，S5：得出结论。本发明的研究方法更加的科学合理，建立了圆筒模型，利用FLUENT MHD程序数值模拟了等离子体在圆筒内的流动过程以及压力场的变化，快速分析和讨论了不同磁感应强度和气体电导率对磁约束等离子体在圆筒流动时的速度分布
等离子体圆筒流动压力分布研究方法

[发明专利]磁控等离子体鞘层特性研究方法-CN201910559102.X有效
发明人：毛保全;白向华;李程;杨雨迎;宋瑞亮;王之千;朱锐;张天意 -专利权人：中国人民解放军陆军装甲兵学院
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H05H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了磁控等离子体鞘层特性研究方法，属于磁约束等离子体鞘层领域，包括以下步骤：S1：产生等离子体，温度高达3000～4000k；S2：电磁线圈电流的加载；S3：产生感应电场，外加磁场产生激励电场，电场对粒子的加速效应可使高温燃气中初始的电子形成雪崩电离效应；S4:形成磁约束等离子体鞘层；S5：磁约束等离子体鞘层的隔热效应；S6：磁约束等离子体鞘层抑制动力学热流密度。该磁控等离子体鞘层特性研究方法，施加平行磁场后带电粒子的运动将变成绕磁力线的回旋运动，降低了等离子体横越磁场传递的热流密度，由于燃气传递的热流密度下降，内壁面的温升也随之下降，从而提高身管抗热烧蚀的能力
等离子体特性研究方法

[发明专利]直接出口环状等离子体源-CN201580066237.2有效
发明人： D·卢博米尔斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-11-18 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于供应等离子体产物的装置，包括等离子体生成阻件，该等离子体生成阻件在其中定义了环状等离子体腔。该等离子体腔关于环轴基本对称，且该环轴定义该等离子体生成阻件的第一及第二轴向侧。磁构件，相对于该环轴以一个方位位置至少部分地围绕该等离子体生成阻件，使得该磁构件内的磁通量将相对应电场诱发进该等离子体腔，以从一个或更多个源气体生成等离子体，该等离子体形成等离子体产物。该等离子体生成阻件通过多个输出孔供应该等离子体产物，该多个输出孔是在该第一轴向侧上由该等离子体生成阻件所定义。
直接出口环状等离子体

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