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- [实用新型]一种单晶硅棒拉制装置-CN202222214385.4有效
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陈永康;朱永刚;董升;李侨;任伟康;刘阳;杜婷婷
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隆基绿能科技股份有限公司
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2022-08-22
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2023-03-10
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C30B15/00
- 本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制装置,所述单晶硅棒拉制装置包括:炉体;坩埚,所述坩埚设置于所述炉体内,用于容纳硅液,以从所述硅液中生长单晶硅棒;换热器,所述换热器设置在所述炉体内,且位于所述坩埚的上方;热屏,所述热屏套设在所述换热器外,且与所述换热器之间形成间隙;以及,环状的磁控装置,所述磁控装置嵌设于所述换热器与所述热屏之间的间隙内,且靠近所述硅液设置,以在所述硅液内形成磁场。本申请实施例中,所述磁控装置可以在所述硅液内形成磁场,抑制所述硅液内部的热对流,降低所述硅液中的杂质含量,提高所述单晶硅棒的拉晶品质。而且,无需改变现有的单晶硅棒装置的原有部件即可实施,通用性较好,实施成本较低。
- 一种单晶硅拉制装置
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