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[实用新型]一种硅微针基板-CN201621393213.6有效
发明人：郭文平;赵科研;许南发 -专利权人：山东元旭光电股份有限公司
申请日： 2016-12-19 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅微针基板，包括硅基板，硅基板上设有硅微针，硅微针是利用湿法腐蚀腐蚀硅基板得到的硅微针图形制成，并且本实用新型的硅微针呈两段式分布，硅微针下段呈多角锥状，硅微针上段为棱锥状结构。本实用新型的硅微针基板制备工艺简单，仅需湿法刻蚀便可制得所需硅微针，避免了干法刻蚀带来的环境污染和大量资金使用，经济实惠，所制硅微针耐用性好，特别适合用于美容、医疗器械和生物医疗领域，尤其是透皮给药的异平面硅微针基板的制备
一种硅微针基板

[发明专利]一种单晶硅高通量微针结构-CN201910277913.0在审
发明人：蔡晓雨 -专利权人：苏州泽矽能电子科技有限公司
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2019-06-18 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种单晶硅高通量微针结构，包括单晶硅衬底、单晶硅微针针体阵列和通量孔，所述单晶硅微针针体阵列均匀分布在所述单晶硅衬底上表面，所述通量孔为单个或多个，贯穿设置于所述单晶硅衬底上，所述通量孔和所述单晶硅微针针体阵列互不干涉，所述单晶硅微针针体阵列中的微针针体为实心针体，所述实心针体轴线与单晶硅衬底表面垂直，所述实心针体为圆锥状或多棱锥状，所述单晶硅微针针体阵列排布形式为蜂窝型、方型或三角型中的一种。具有结构强度大、加工成本低、成品率高、一致性好的优点，并且在微针周围分布有多个贯通孔，用于持续提供药液进行皮下渗透，具有不断针、高通量的优点。
单晶硅微针针体阵列高通量实心针通量微针结构衬底衬底上表面衬底表面持续提供互不干涉排布形式一致性好成品率多棱锥蜂窝型贯通孔体轴线圆锥状方型皮下针体垂直贯穿加工

[实用新型]一种单晶硅高通量微针结构-CN201920463684.7有效
发明人：蔡晓雨 -专利权人：苏州泽矽能电子科技有限公司
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种单晶硅高通量微针结构，包括单晶硅衬底、单晶硅微针针体阵列和通量孔，所述单晶硅微针针体阵列均匀分布在所述单晶硅衬底上表面，所述通量孔为单个或多个，贯穿设置于所述单晶硅衬底上，所述通量孔和所述单晶硅微针针体阵列互不干涉，所述单晶硅微针针体阵列中的微针针体为实心针体，所述实心针体轴线与单晶硅衬底表面垂直，所述实心针体为圆锥状或多棱锥状，所述单晶硅微针针体阵列排布形式为蜂窝型、方型或三角型中的一种。具有结构强度大、加工成本低、成品率高、一致性好的优点，并且在微针周围分布有多个贯通孔，用于持续提供药液进行皮下渗透，具有不断针、高通量的优点。
单晶硅微针针体阵列实心针通量高通量衬底本实用新型衬底上表面衬底表面持续提供互不干涉排布形式微针结构一致性好成品率多棱锥蜂窝型贯通孔体轴线圆锥状方型皮下针体垂直贯穿加工

[发明专利]具有硬质涂层保护的晶硅微针及其制备方法-CN202011531613.X在审
发明人：辛煜;朱红飞 -专利权人：苏州恒之清生物科技有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有硬质涂层保护的晶硅微针及其制备方法。本发明的具有硬质涂层保护的晶硅微针，包括微针本体和设置在微针本体表面的硬质涂层。本发明的加固晶硅微针的加工方法简单高效，不仅可以强化微针的强度防止微针的断裂，同时涂覆有硬质涂层的微针可以很轻松的实现皮肤的穿刺，促进药物的吸收。
具有硬质涂层保护晶硅微针及其制备方法

[发明专利]硅基冰微针及其制备方法-CN202210356606.3在审
发明人：苏晓东;程微;邹帅;倪孟飞;代龙飞 -专利权人：苏州大学
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种硅基冰微针及其制备方法，所述硅基冰微针包括硅片、形成于硅片上且阵列分布的若干微米针状结构，微米针状结构及硅片中形成有贯穿微米针状结构顶部至硅片底部的中空结构，中空结构中形成有冰质可溶针尖本发明的基底采用中空硅基微针，其制备工艺简单，成本较低，适合大批量产业化生产；在中空硅基微针中形成冰质可溶针尖，简便了给药步骤，提高了载药量；硅基冰微针提高了原中空硅基微针及可溶微针的力学性能，解决了现有技术中容易出现的微针断裂和不易穿透皮肤的问题
硅基冰微针及其制备方法

[发明专利]用于制造带有孔洞的硅微针阵列的方法以及微针阵列-CN201210560534.0在审
发明人： M.斯图伯 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2012-12-21 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：用于制造带有孔洞的硅微针阵列的方法以及微针阵列。本发明涉及一种制造具有孔洞的硅微针阵列的方法，由以下方法步骤开始：a）制造硅微针阵列。下面的方法步骤重复用于多个微针：b）相对于微针阵列的微针定位激光器借助于激光打孔在微针阵列中打孔形成孔洞。可以在针中、针的侧面上或者在针旁边打孔形成孔洞。具有由微机械的半导体材料制成的基底的微针阵列，具有微针以及孔洞，所述微针从基底中伸出。所述微针阵列具有由多孔的微机械的半导体材料制成的微针。
用于制造带有孔洞硅微针阵列方法以及

[实用新型]柔性便携式硅基微针脑电极-CN202220413221.1有效
发明人：冯雪;张晓佳;马寅佶 -专利权人：清华大学
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： A61B5/293 文献下载
摘要：本申请提供了一种柔性便携式硅基微针脑电极。该柔性便携式硅基微针脑电极包括多块电极片(1)，所述电极片(1)包括微针电极(2)和固定所述微针电极(2)的衬底(3)。所述微针电极(2)呈锥状，所述微针电极(2)的底部固定于所述衬底(3)，所述微针电极(2)包括硅微针基底、设置于所述硅微针基底的外侧的导电金属层和设置于所述导电金属层的外侧的接触阻抗调控层，单个所述衬底(3)上集成有多个所述微针电极(2)，可以实现低阻抗精准采集脑电信号的功能。
柔性便携式硅基微针脑电极

[发明专利]空心医用金属微针的制备方法-CN200910055956.0有效
发明人：刘景全;闫肖肖;杨春生;唐刚;芮岳峰 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2009-08-06 - 公布日： 2010-01-13 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：一种生物医学工程技术领域的空心医用金属微针的制备方法，首先通过光刻在双抛氧化硅片上开出硅刻蚀窗口；湿法刻蚀窗口中的硅得到四棱锥空腔；接着在硅片上甩负胶填充四棱锥空腔，通过负胶厚度来调整微针的高度；然后选择特定的掩膜版曝光去除倒四棱锥内的负胶，得到不同形状的微针空腔；在微针空腔内溅射金属薄膜作为导电层，并在导电层上电镀金属层；最后开出微针内微针通孔，并去除硅和负胶，以得到不同形状的空心金属微针。本发明采用硅与非硅复合方法制备空心金属微针，加工成本低。通过曝光可控制微针针尖的形状，改善微针刺入皮肤的效果；还能有效的控制微针的高度，改善微针的强度。
空心医用金属制备方法

[发明专利]棱形硅微针及其制备方法-CN201910628146.3有效
发明人：邓敏;郭仁凤;李丁;崔大祥 -专利权人：上海揽微医学科技有限公司
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：一种棱形硅微针的制备方法，包括：步骤1，制备单晶硅基片保护层；步骤2，接收制取的微针的微针形态指令，若为实心微针时，则进行步骤3.1；若为空心微针时，则进行步骤3.3；步骤4，硅基片保护层的去除和步骤5，硅微针的形成。本发明的制备方法制得的微针，具有多棱构造，耐用性好，减小了微针刺透皮肤的障碍，透皮性好，更有利于介质通过毛细驱动导入皮肤，特别适用于生物和医药大分子介质的透皮释放。
棱形硅微针及其制备方法

[发明专利]高密度硅微针阵列的制备方法及器件-CN202211704123.4在审
发明人：王云翔;李燕;李瑾 -专利权人：苏州研材微纳科技有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高密度硅微针阵列的制备方法及器件。其包括：提供硅衬底，并在所述硅衬底上制备负性光刻胶层；对负性光刻胶层进行图形化；在图形化后的负性光刻胶层上制备正对应的正性光刻胶层；对上述制备的正性光刻胶层进行加热回流，以得到正性回流光刻胶层；利用上述正性回流光刻胶层以及图形化后的负性光刻胶层对硅衬底进行干法刻蚀，以在刻蚀后形成所需的硅微针阵列，其中，所述硅微针阵列包括分布于硅衬底上的微针体，微针体包括分布于硅衬底上的针体部以及位于针体部上的针头部；去除上述正性回流光刻胶层以及图形化后的负性光刻胶层。本发明能有效制备得到高密度硅微针阵列，提高硅微针阵列的深宽比，与现有工艺兼容，安全可靠。
高密度硅微针阵列制备方法器件

[发明专利]一种局部多孔硅微针阵列及其制备方法-CN202111430361.6在审
发明人：张立强;朱晨曦;葛道晗;周卓然;曾洲 -专利权人：江苏大学
申请日： 2021-11-29 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种局部多孔硅微针阵列及其制备方法，所述制备方法包括：S1、在硅片表面制备双层薄膜；S2、转移掩模版的图案，在硅片上制备电化学刻蚀的掩膜；S3、电化学刻蚀，在硅片上制备局部多孔硅；S4、在硅片上制备干法刻蚀的图案化铝掩膜；S5、在硅片上制备局部多孔硅微针阵列。本发明相较于普通的固体微针，在微针针尖上制备了局部的多孔硅层，此结构能够利用较大的表面积增大微针的载药量，通过调节多孔硅的性质增强微针对药物释放的控制能力，提供了两种载药方式，且利用高深宽比的宏孔阵列能够提取组织液；相较于全多孔硅微针，此结构显著增强了微针的机械性能和穿刺能力。
一种局部多孔硅微针阵列及其制备方法

[发明专利]可溶性微针及其制备方法-CN202310035608.7在审
发明人：苏洁;邹帅;程微;倪孟飞;代龙飞;刘亮 -专利权人：苏州大学;相邦（苏州）生物材料科技有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明揭示了一种可溶性微针的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：S1、在硅片表面制备硅微针阵列；S2、将可溶性微针材料溶液平铺在硅微针阵列及硅片表面，固化后得到可溶性微针膜片；S3、通过酸洗将可溶性微针膜片从硅微针阵列及硅片表面上剥离，所述可溶性微针膜片背面具有微槽阵列；S4、在可溶性微针膜片的微槽阵列中浇筑可溶性微针材料溶液和/或支撑材料溶液，固化后得到可溶性微针。本发明可溶性微针的制备方法较为简单，硅片模板使用寿命长，工艺成本低，可实现大面积制备，适合大批量产业化生产，且制备的微针机械强度较高。
可溶性及其制备方法

[实用新型]表皮给药的硅基微针阵列疫苗贴片-CN201520021444.3有效
发明人：何远薇;陈其昌 -专利权人：陈其昌;何远薇
申请日： 2015-01-13 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种通过表皮给药的疫苗贴片，特别是通过表皮给药的高密度硅基微针阵列疫苗贴片。本实用新型包括硅基基底⑴、硅材料微针⑵、树脂底板⑶、目标药物⑷。包括疫苗在内的目标药物⑷附着在硅材料微针⑵上，其中所述目标药物⑷是附着于纳米颗粒上的，纳米颗粒均匀分于所述硅材料微针⑵的前端。所述硅材料微针⑵拥有足够的强度刺破人体表皮角质层并进入皮肤棘层，随后附着于硅材料微针⑵前段的目标药物⑷被快速释放，与包括朗格汉斯细胞在内的皮肤棘层内的多种免疫细胞交换抗原信息，从而高效地激发人体免疫反应
表皮硅基微针阵列疫苗

[发明专利]一种硅微针基板及其制备方法-CN201611176719.6在审
发明人：郭文平;赵科研;许南发 -专利权人：山东元旭光电股份有限公司
申请日： 2016-12-19 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅微针基板及其制备方法，硅微针制备方法包括硅基板清洗，硅基板保护膜，光刻，图形转移和湿法刻蚀硅基板步骤。硅基板净化后，在硅基板的两面生长二氧化硅膜，然后在二氧化硅膜上面遮盖上带有实体图形的掩膜板，经过光刻、曝光等将掩膜板上的实体图形转移到二氧化硅膜上，再利用湿法刻蚀硅基板制得针尖和针体，然后用BOE腐蚀去掉多余的二氧化硅膜得到硅微针基板本发明工艺简单，仅需湿法刻蚀便可制得所需硅微针，避免了干法刻蚀带来的环境污染和大量资金使用，经济实惠，所制硅微针耐用性好，特别适合用于美容、医疗器械和生物医疗领域，尤其是透皮给药的异平面硅微针基板的制备
一种硅微针基板及其制备方法

[实用新型]一种滚轴式硅基精准微针-CN202021884589.3有效
发明人：刘莎;马维宁;王逸仙 -专利权人：灏曦（天津）生物技术有限公司
申请日： 2020-09-02 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种滚轴式硅基精准微针，其包括：滚轮，单晶硅微针芯片，以及滚轮支架，其中，所述的滚轮为类圆形，表面为多个平面。本实用新型取得的有益效果是：能够将多片平面的单晶硅微针芯片组合，并粘合于滚轮的表面上，制造出滚轴式硅基精准微针。
一种滚轴式硅基精准

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